一種實時檢測潔凈設備內顆粒含量的系統(tǒng)的制作方法
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及一種顆粒含量檢測技術領域，尤其涉及一種實時檢測潔凈設備內顆粒含量的系統(tǒng)。
【背景技術】
[0002]眾所周知，在半導體行業(yè)中，產品及設備均會受到所處的氣體環(huán)境中顆粒含量的影響，因此除了要檢測制造大環(huán)境中的顆粒含量值，還需對設備內的顆粒含量值進行檢測?，F有技術中，在檢測設備內的顆粒含量值時，通常需要將設備進行停機檢測，或打開設備安全門，將聯鎖解除以及將粒子計數器的取樣頭放入設備內進行檢測，如此就會使得在操作過程中的顆粒含量值不準確、具有一定的風險，且影響產品的產能及良率。

【發(fā)明內容】

[0003]本發(fā)明的目的在于提供一種實時檢測潔凈設備內顆粒含量的系統(tǒng)，以保證既能實現將所述測量儀置于所述潔凈設備外進行檢測，又能實現在潔凈設備不需停機的情況下實時檢測所述潔凈設備內的顆粒含量。
[0004]為解決上述技術問題，本發(fā)明采用的一個技術方案是:一種實時檢測潔凈設備內顆粒含量的系統(tǒng)，包括:
[0005]潔凈設備；
[0006]取樣件，其設置在所述潔凈設備的內部，用于采集所述潔凈設備內的氣體樣品；
[0007]測量儀，其設置在所述潔凈設備的外部，用于對所述取樣件30采集的所述氣體樣品進行檢測，以得知所述潔凈設備內的顆粒含量；
[0008]導管，其一端連接所述取樣件，另一端連接所述測量儀，用于將所述取樣件采集的所述氣體樣品導出至所述測量儀內。
[0009]其中，所述潔凈設備設置有第一開孔，所述導管貫穿所述第一開孔，以連接所述潔凈設備內部的所述取樣件和所述潔凈設備外部的所述測量儀。
[0010]其中，所述第一開孔進一步配備有第一孔塞，所述導管包括:
[0011 ]第一部分導管，其一端連接所述取樣件，另一端連接所述第一開孔的一端，以將所述取樣件采集的所述氣體樣品導出所述潔凈設備；
[0012]第二部分導管，其一端連接所述第一開孔的另一端，另一端連接所述測量儀，以將所述第一部分導管導出的所述氣體樣品導入所述測量儀內。
[0013]其中，所述測量儀設置有第二開孔，所述導管通過所述第二開孔將所述取樣件采集的所述氣體樣品導出至所述測量儀內。
[0014]其中，所述導管連接至所述測量儀的一端設置有第二孔塞，所述導管通過所述第二孔塞塞入所述第二開孔內。
[0015]其中，所述系統(tǒng)進一步包括:
[0016]閥門，其設置在所述導管上，用于控制所述氣體樣品的流向為單向，以使得所述氣體樣品從所述潔凈設備內部流向所述潔凈設備外部的所述測量儀。
[0017]其中，所述閥門設置在所述導管與所述取樣件連接的位置。
[0018]其中，所述取樣件設置的高度與所述潔凈設備的乳制線高度一致。
[0019]其中，所述取樣件的數量為偶數，且所述取樣件間隔設置在所述潔凈設備內。
[0020]其中，所述取樣件的數量為四個。
[0021]本發(fā)明的有益效果是:區(qū)別于現有技術的情況，本發(fā)明將所述測量儀放置于所述潔凈設備外，通過導管將所述取樣件所采集的氣體樣品輸送至所述測量儀中，如此，所述潔凈設備無需停機就可以實時檢測所述潔凈設備的顆粒含量，操作簡單，提高生產效率。
【附圖說明】
[0022]圖1是本發(fā)明實時檢測潔凈設備內顆粒含量的系統(tǒng)的結構示意圖。
【具體實施方式】
[0023]請參閱圖1，本發(fā)明一種實時檢測潔凈設備內顆粒含量的系統(tǒng)100，包括:潔凈設備
10、取樣件30、測量儀50及導管70。
[0024]所述潔凈設備10用于放置待加工的產品。
[0025]可以理解，所述潔凈設備10為可整體移動的小型潔凈室，以滿足制造工藝中對氣體中顆粒含量值的需求。
[0026]所述取樣件30設置在所述潔凈設備10的內部，用于采集所述潔凈設備10內的氣體樣品。
[0027]在一實施方式中，所述取樣件30為量杯，即標準取樣頭。當然，所述取樣件30還可以是其它形式或形狀，例如，可以是漏斗形，等等。
[0028]可以理解，所述取樣件30設置的高度與所述潔凈設備10的乳制線高度一致，以使得所述取樣件30所采集的氣體樣品的顆粒含量值更加接近于所述待加工的產品所處的氣體環(huán)境的顆粒含量值。
[0029]可以理解，所述取樣件30的數量為偶數，且所述取樣件30間隔設置在所述潔凈設備10內。通過這種方式，可以使得取樣均勻。
[0030]在本實施方式中，所述取樣件30的數量為四個。
[0031]在滿足能夠均勻取樣的情況下，取樣件30的數量并不限定為偶數，例如，將奇數數量的取樣件30均勻布置于潔凈設備內，也是可以的。
[0032]可以理解，所述取樣件30的數量可根據需求進行設置。
[0033]可以理解，所述取樣件30的設置位置可根據需求進行調整。
[0034]所述測量儀50設置在所述潔凈設備10的外部，用于對所述取樣件30采集的所述氣體樣品進行檢測，以得知所述潔凈設備10內的顆粒含量。
[0035]可以理解，所述測量儀50測量得到的數據將進行保存，以便于工作人員在發(fā)現異常的情況下，以查找相關數據。
[0036]所述導管70的一端連接所述取樣件30，另一端連接所述測量儀50，用于將所述取樣件30采集的所述氣體樣品導出至所述測量儀50內。
[0037]可以理解，所述潔凈設備10設置有第一開孔11，所述導管70貫穿所述第一開孔11，以連接所述潔凈設備10內部的所述取樣件30和所述潔凈設備10外部的所述測量儀50。
[0038]其中，所述第一開孔11進一步配備有第一孔塞13，所述第一開孔11將所述導管70分為:
[0039]第一部分導管71，其一端連接所述取樣件30，另一端連接所述第一開孔11的一端，以將所述取樣件30采集的所述氣體樣品導出所述潔凈設備10;
[0040]第二部分導管73，其一端連接所述第一開孔11的另一端，另一端連接所述測量儀50，以將所述第一部分導管71導出的所述氣體樣品導入所述測量儀50內。
[0041]可以理解，所述測量儀50設置有第二開孔51，所述導管70通過所述第二開孔51將所述取樣件30采集的所述氣體樣品導出至所述測量儀50內。
[0042]其中，所述導管70連接至所述測量儀50的一端設置有第二孔塞53，所述導管70通過所述第二孔塞53塞入所述第二開孔51內。
[0043]可以理解，當需要對所述潔凈設備10進行檢測時，則將所述第一開孔11和所述第二開孔51打開，以保證氣體樣品流動暢通;當不需要對所述潔凈設備10進行檢測時，則將所述第一開孔11和所述第二開孔51中的至少一個進行關閉即可。
[0044]可以理解，所述系統(tǒng)100進一步包括:
[0045]閥門80，其設置在所述導管70上，用于控制所述氣體樣品的流向為單向，以使得所述氣體樣品從所述潔凈設備10內部流向所述潔凈設備10外部的所述測量儀50。
[0046]其中，所述閥門80設置在所述導管70與所述取樣件30連接的位置。
[0047]區(qū)別于現有技術的情況，本發(fā)明將所述測量儀50放置于所述潔凈設備10外，通過導管70將所述取樣件30所采集的氣體樣品輸送至所述測量儀50中，如此，所述潔凈設備10無需停機就可以實時檢測所述潔凈設備10的顆粒含量，操作簡單，提高生產效率。
[0048]以上僅為本發(fā)明的實施方式，并非因此限制本發(fā)明的專利范圍，凡是利用本發(fā)明說明書及附圖內容所作的等效結構或等效流程變換，或直接或間接運用在其他相關的技術領域，均同理包括在本發(fā)明的專利保護范圍內。
【主權項】
1.一種實時檢測潔凈設備內顆粒含量的系統(tǒng)，其特征在于，包括: 潔凈設備； 取樣件，其設置在所述潔凈設備的內部，用于采集所述潔凈設備內的氣體樣品； 測量儀，其設置在所述潔凈設備的外部，用于對所述取樣件采集的所述氣體樣品進行檢測，以得知所述潔凈設備內的顆粒含量； 導管，其一端連接所述取樣件，另一端連接所述測量儀，用于將所述取樣件采集的所述氣體樣品導出至所述測量儀內。2.根據權利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述潔凈設備設置有第一開孔，所述導管貫穿所述第一開孔，以連接所述潔凈設備內部的所述取樣件和所述潔凈設備外部的所述測量儀。3.根據權利要求2所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述第一開孔進一步配備有第一孔塞，所述導管包括: 第一部分導管，其一端連接所述取樣件，另一端連接所述第一開孔的一端，以將所述取樣件采集的所述氣體樣品導出所述潔凈設備； 第二部分導管，其一端連接所述第一開孔的另一端，另一端連接所述測量儀，以將所述第一部分導管導出的所述氣體樣品導入所述測量儀內。4.根據權利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于， 所述測量儀設置有第二開孔，所述導管通過所述第二開孔將所述取樣件采集的所述氣體樣品導出至所述測量儀內。5.根據權利要求4所述的系統(tǒng)，其特征在于， 所述導管連接至所述測量儀的一端設置有第二孔塞，所述導管通過所述第二孔塞塞入所述第二開孔內。6.根據權利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于， 所述系統(tǒng)進一步包括: 閥門，其設置在所述導管上，用于控制所述氣體樣品的流向為單向，以使得所述氣體樣品從所述潔凈設備內部流向所述潔凈設備外部的所述測量儀。7.根據權利要求6所述的系統(tǒng)，其特征在于， 所述閥門設置在所述導管與所述取樣件連接的位置。8.根據權利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于， 所述取樣件設置的高度與所述潔凈設備的乳制線高度一致。9.根據權利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于， 所述取樣件的數量為偶數，且所述取樣件間隔設置在所述潔凈設備內。10.根據權利要求9所述的系統(tǒng)，其特征在于， 所述取樣件的數量為四個。
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種實時檢測潔凈設備內顆粒含量的系統(tǒng)，包括：潔凈設備；取樣件，其設置在所述潔凈設備的內部，用于采集所述潔凈設備內的氣體樣品；測量儀，其設置在所述潔凈設備的外部，用于對所述取樣件采集的所述氣體樣品進行檢測，以得知所述潔凈設備內的顆粒含量；導管，其一端連接所述取樣件，另一端連接所述測量儀，用于將所述取樣件采集的所述氣體樣品導出至所述測量儀內。本發(fā)明將所述測量儀放置于所述潔凈設備外，通過導管將所述取樣件所采集的氣體樣品輸送至所述測量儀中，如此，所述潔凈設備無需停機就可以實時檢測所述潔凈設備的顆粒含量，操作簡單，提高生產效率。
【IPC分類】G01N15/06
【公開號】CN105466827
【申請?zhí)枴緾N201610044105
【發(fā)明人】錢灣灣
【申請人】武漢華星光電技術有限公司
【公開日】2016年4月6日
【申請日】2016年1月22日