壓力傳感器測試裝置及其測試方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體器件測試領(lǐng)域，特別涉及一種壓力傳感器測試裝置及其測試方法。
【背景技術(shù)】
[0002]MEMS(Micro Electro Mechanical Systems,微電子機(jī)械系統(tǒng))是利用集成電路制造技術(shù)和微加工技術(shù)把微結(jié)構(gòu)、微傳感器、微執(zhí)行器、控制處理電路甚至接口、通信和電源等制造在一塊或多塊芯片上的微型集成系統(tǒng)。
[0003]壓力傳感器是將壓力信號(hào)轉(zhuǎn)換為電學(xué)信號(hào)的換能器，是商業(yè)化的傳感器中的重要組成部分。與傳統(tǒng)壓力傳感器相比，采用MEMS技術(shù)制備的壓力傳感器在體積、功耗、重量以及價(jià)格等方面有十分明顯的優(yōu)勢。目前，利用MEMS技術(shù)制作的壓力傳感器已廣泛用于汽車工業(yè)、生物醫(yī)學(xué)、工業(yè)控制、能源、以及半導(dǎo)體工業(yè)等眾多領(lǐng)域。
[0004]在研發(fā)和生產(chǎn)過程中對壓力傳感器進(jìn)行溫度壓力特性參數(shù)測試十分重要，目前市場上壓力傳感器的測試裝置十分少見，在對壓力傳感器進(jìn)行溫度壓力特性參數(shù)測試時(shí)，一般廠家會(huì)自行制作簡便的測試工具和測試裝置，從而使得測試數(shù)據(jù)不夠精準(zhǔn)和穩(wěn)定，影響對產(chǎn)品的調(diào)整和改進(jìn)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]鑒于此，有必要提供一種測試數(shù)據(jù)精準(zhǔn)和穩(wěn)定的壓力傳感器測試裝置及其測試方法。
[0006]一種壓力傳感器測試裝置，包括多針連接器、測試容器和氣路模塊，所述多針連接器與所述測試容器形成可拆卸密封連接，所述氣路模塊與所述測試容器形成氣路密封連接；所述多針連接器包括本體和多根設(shè)置在所述本體上相互絕緣的金屬插針，所述多針連接器的金屬插針用于使所述測試容器內(nèi)的傳感器與所述測試容器外的測試電路形成電連接。
[0007]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述多針連接器包含航空插頭。
[0008]在其中一個(gè)實(shí)施例中，還包括多針插座，所述測試電路能夠與所述多針插座形成電連接，所述多針連接器和所述多針插座配合連接。
[0009]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述多針插座為航空插座。
[0010]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述多針連接器經(jīng)過密封處理以保證氣密性。
[0011]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述密封處理為加膠密封ο
[0012]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述金屬插針的數(shù)量不少于4根。
[0013]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述多針連接器與所述測試容器形成螺紋連接、插拔連接或卡扣連接。
[0014]在其中一個(gè)實(shí)施例中，還包括位于所述測試容器中的傳感器芯片座，所述傳感器芯片座與所述多針連接器形成電連接，傳感器和所述傳感器芯片座形成可拆卸電連接。
[0015]一種壓力傳感器測試方法，包括步驟:
[0016]傳感器置于測試容器內(nèi)；傳感器按管腳定義連接到多針連接器上；所述多針連接器和所述測試容器密封連接；測試電路和所述多針連接器電連接；安裝氣路模塊。
[0017]上述壓力傳感器測試裝置及其測試方法，測試時(shí)測試容器里的壓力傳感器通過金屬插針和測試容器外界的電路連接，既保證了氣密性，也保證了信號(hào)傳輸?shù)奈锢矸€(wěn)定性，使得測試數(shù)據(jù)精確和穩(wěn)定，為產(chǎn)品的改進(jìn)提供更精確的一線數(shù)據(jù)。
【附圖說明】
[0018]圖1為一個(gè)實(shí)施例壓力傳感器測試裝置的立體示意圖；
[0019]圖2為一個(gè)實(shí)施例壓力傳感器測試裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020]圖3為一個(gè)實(shí)施例壓力傳感器測試裝置測試方法的流程圖。
【具體實(shí)施方式】
[0021]下面結(jié)合附圖，對本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】進(jìn)行詳細(xì)描述。
[0022]圖1為一個(gè)實(shí)施例壓力傳感器測試裝置的立體示意圖。
[0023]一種壓力傳感器測試裝置，包括多針連接器100、測試容器200和氣路模塊300，多針連接器100與測試容器200形成可拆卸密封連接，氣路模塊300與測試容器200形成氣路密封連接；多針連接器100包括本體和多根設(shè)置在本體上相互絕緣的金屬插針120，多針連接器100的金屬插針120用于使測試容器100內(nèi)的傳感器與測試容器100外的測試電路形成電連接。
[0024]上述壓力傳感器測試裝置，測試時(shí)測試容器200里的壓力傳感器通過金屬插針120和測試容器200外界的電路連接，既保證了氣密性，也保證了信號(hào)傳輸?shù)奈锢矸€(wěn)定性，使得測試數(shù)據(jù)精確和穩(wěn)定，為產(chǎn)品的改進(jìn)提供更精確的一線數(shù)據(jù)。
[0025]圖2為一個(gè)實(shí)施例壓力傳感器測試裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0026]一種壓力傳感器測試裝置，包括多針連接器100、測試容器200、氣路模塊300和多針插座400，多針連接器100與測試容器200形成可拆卸密封連接，氣路模塊300與測試容器200形成氣路密封連接，多針連接器100和多針插座400配合連接，外界測試電路10與多針插座400通過導(dǎo)線形成電連接。氣路模塊300用于提供測試所需氣壓。
[0027]多針連接器100包括本體和多根設(shè)置在本體上相互絕緣的金屬插針120，多針連接器100的金屬插針120用于使測試容器100內(nèi)的傳感器20與測試容器100外的測試電路10形成電連接。金屬插針120的數(shù)量不少于4根，通常4根金屬插針連接測試一個(gè)傳感器，所以金屬插針120的數(shù)量最好多于12根，甚至更多，以保證能一次性測試更多的傳感器。多針連接器100可以是航空插頭，也可以是包含了航空插頭的密封蓋，其可以通過螺紋連接、插拔連接或卡扣連接等連接方式和測試容器100連接，還可以在連接處增加密封圈增強(qiáng)氣密性。當(dāng)多針連接器100是航空插頭時(shí)，多針插座400則是航空插座。
[0028]多針連接器100還可以經(jīng)過密封處理以保證氣密性，例如對金屬插針120與多針連接器100本體的連接處加涂密封膠來加膠密封。為避免多針連接器100漏氣，對其做全面的密封處理，可以滿足高達(dá)7MPa氣壓的密封能力。
[0029]測試容器200內(nèi)安裝有傳感器芯片座500，傳感器芯片座500與多針連接器100可以通過插拔、卡扣方式形成電連接,傳感器20和傳感器芯片座500通過插拔、卡扣方式可拆卸的電連接。通過傳感器芯片座500能快速將多針連接器100和傳感器20連接起來。傳感器芯片座500在本實(shí)施例中可設(shè)計(jì)成業(yè)界普遍使用的芯片座方式，以降低成本。
[0030]本實(shí)施例中還公開了一種壓力傳感器測試方法，見圖3，包括步驟:
[0031]步驟S100:傳感器20置于測試容器200內(nèi)。具體為將傳感器20按管腳定義安接于傳感器芯片座500上。
[0032]步驟S200:傳感器20按管腳定義連接到多針連接器100上。由于傳感器20按管腳定義安接于傳感器芯片座500上，所以此時(shí)將傳感器芯片座500和多針連接器100連接好即可。
[0033]步驟S300:多針連接器100和測試容器200密封連接。將測試容器200通過螺紋連接、插拔連接或卡扣連接等連接方式和測試容器100連接，保證兩者之間的氣密性。
[0034]步驟S400:測試電路10和多針連接器100電連接。通過導(dǎo)線等連接器材將測試電路10和多針插座400連接好，然后再將多針插座400和多針連接器100配合連接。
[0035]步驟S500:安裝氣路模塊。接著就可以進(jìn)行傳感器溫度壓力特性測試。
[0036]上述壓力傳感器測試裝置及其測試方法，測試時(shí)測試容器里的壓力傳感器通過金屬插針和測試容器外界的電路連接，既保證了氣密性，也保證了信號(hào)傳輸?shù)奈锢矸€(wěn)定性，使得測試數(shù)據(jù)精確和穩(wěn)定，為產(chǎn)品的改進(jìn)提供更精確的一線數(shù)據(jù)。
[0037]以上所述實(shí)施例僅表達(dá)了本發(fā)明的幾種實(shí)施方式，其描述較為具體和詳細(xì)，但并不能因此而理解為對本發(fā)明專利范圍的限制。應(yīng)當(dāng)指出的是，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進(jìn)，這些都屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。因此，本發(fā)明專利的保護(hù)范圍應(yīng)以所附權(quán)利要求為準(zhǔn)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種壓力傳感器測試裝置，其特征在于，包括多針連接器、測試容器和氣路模塊，所述多針連接器與所述測試容器形成可拆卸密封連接，所述氣路模塊與所述測試容器形成氣路密封連接；所述多針連接器包括本體和多根設(shè)置在所述本體上相互絕緣的金屬插針，所述多針連接器的金屬插針用于使所述測試容器內(nèi)的傳感器與所述測試容器外的測試電路形成電連接。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力傳感器測試裝置，其特征在于，所述多針連接器包含航空插頭。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力傳感器測試裝置，其特征在于，還包括多針插座，所述測試電路能夠與所述多針插座形成電連接，所述多針連接器和所述多針插座配合連接。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的壓力傳感器測試裝置，其特征在于，所述多針插座為航空插座。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力傳感器測試裝置，其特征在于，所述多針連接器經(jīng)過密封處理以保證氣密性。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的壓力傳感器測試裝置，其特征在于，所述密封處理為加膠密封。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力傳感器測試裝置，其特征在于，所述金屬插針的數(shù)量不少于4根。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力傳感器測試裝置，其特征在于，所述多針連接器與所述測試容器形成螺紋連接、插拔連接或卡扣連接。9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力傳感器測試裝置，其特征在于，還包括位于所述測試容器中的傳感器芯片座，所述傳感器芯片座與所述多針連接器形成電連接，傳感器和所述傳感器芯片座形成可拆卸電連接。10.一種壓力傳感器測試方法，其特征在于，包括步驟: 傳感器置于測試容器內(nèi)；傳感器按管腳定義連接到多針連接器上；所述多針連接器和所述測試容器密封連接；測試電路和所述多針連接器電連接；安裝氣路模塊。
【專利摘要】本發(fā)明公開一種壓力傳感器測試裝置，測試時(shí)測試容器里的壓力傳感器通過金屬插針和測試容器外界的電路連接，既保證了氣密性，也保證了信號(hào)傳輸?shù)奈锢矸€(wěn)定性，使得測試數(shù)據(jù)精確和穩(wěn)定，為產(chǎn)品的改進(jìn)提供更精確的一線數(shù)據(jù)。本發(fā)明還公開了一種壓力傳感器測試方法。
【IPC分類】G01L25/00
【公開號(hào)】CN105352656
【申請?zhí)枴緾N201410371305
【發(fā)明人】徐伯強(qiáng), 顧堅(jiān)儉, 張新偉, 蘇佳樂
【申請人】無錫華潤上華半導(dǎo)體有限公司
【公開日】2016年2月24日
【申請日】2014年7月30日
【公告號(hào)】WO2016015537A1