擴(kuò)展ate測試儀電壓量測范圍的方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體測試領(lǐng)域，更具體地說，本發(fā)明涉及一種擴(kuò)展ATE (automatictest equipment)測試儀電壓量測范圍的方法。
【背景技術(shù)】
[0002]ATE測試儀是一種通過計算機(jī)控制進(jìn)行器件、電路板和子系統(tǒng)等測試的設(shè)備。其中，ATE測試儀可以通過計算機(jī)編程取代人工勞動，自動化的完成測試序列。
[0003]隨著90nm的閃存存儲器及電子設(shè)備的發(fā)展，基于絕緣性能優(yōu)異的氮化硅的S0N0S(Polysilicon-Oxide-Nitride-Oxide-Silicon,娃 / 二氧化娃 / 氮化娃 / 二氧化娃 / 娃)的存儲器新產(chǎn)品在測試時，向測試方導(dǎo)入的越來越多的產(chǎn)品需要進(jìn)行負(fù)電壓測試(例如，小于-5V)。
[0004]而另一方面，現(xiàn)有的很多測試儀的電壓量測范圍有限，如Kalos支持的范圍是-1V?13.5V，無法滿足測試要求。
[0005]由此，需要一種能夠擴(kuò)展ATE測試儀電壓量測范圍的方法。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是針對現(xiàn)有技術(shù)中存在上述缺陷，提供一種能夠擴(kuò)展ATE測試儀電壓量測范圍的方法。
[0007]為了實(shí)現(xiàn)上述技術(shù)目的，根據(jù)本發(fā)明，提供了一種擴(kuò)展ATE測試儀電壓量測范圍的方法，包括:
[0008]第一步驟:判斷待測試的電壓的范圍；
[0009]第二步驟:在待測試的電壓的范圍大于第一閾值電壓且小于第二閾值電壓時，將ATE測試儀的輸入端口切換成直接連接模擬測試管腳，并且執(zhí)行ATE測試；
[0010]第三步驟:在待測試的電壓的范圍小于第一閾值電壓或者大于第二閾值電壓時，將ATE測試儀的輸入端口切換到電阻的一端，其中電阻的另一端連接模擬測試管腳，并且通過施加電壓測量流經(jīng)電阻的電流。
[0011]優(yōu)選地，在執(zhí)行第三步驟之后，根據(jù)電阻的電阻值以及流經(jīng)電阻的電流值計算出模擬測試管腳上的電壓。
[0012]優(yōu)選地，根據(jù)電阻的電阻值以及流經(jīng)電阻的電流值的乘積來計算模擬測試管腳上的電壓。
[0013]優(yōu)選地，施加電壓的電壓值是0V。
[0014]優(yōu)選地，電阻的電阻值介于10K Ohm至1000K Ohm的范圍內(nèi)。
[0015]優(yōu)選地，電阻的電阻值是100K 0hm(電阻值需結(jié)合模擬測試管腳電流輸出能力適當(dāng)選擇)。
[0016]優(yōu)選地，利用繼電器對ATE測試儀的輸入端口進(jìn)行切換。
[0017]優(yōu)選地，第一閾值為0V(此處僅僅是一個參考，不同測試儀的量測范圍不同視具體而定)。
[0018]優(yōu)選地，第二閾值電壓為13.5V(此處僅僅是一個參考，不同測試儀的量測范圍不同視具體而定)。
[0019]根據(jù)本發(fā)明的擴(kuò)展ATE測試儀電壓量測范圍的方法有效地擴(kuò)大了測試儀電壓量測范圍，解決了一般測試儀不能量測負(fù)壓的問題；而且根據(jù)本發(fā)明的擴(kuò)展ATE測試儀電壓量測范圍的方法對常規(guī)電壓測量和電流測量用的一般方法沒有影響。
【附圖說明】
[0020]結(jié)合附圖，并通過參考下面的詳細(xì)描述，將會更容易地對本發(fā)明有更完整的理解并且更容易地理解其伴隨的優(yōu)點(diǎn)和特征，其中:
[0021]圖1示意性地示出了根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的擴(kuò)展ATE測試儀電壓量測范圍的方法的示意圖。
[0022]圖2示意性地示出了根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的擴(kuò)展ATE測試儀電壓量測范圍的方法的流程圖。
[0023]需要說明的是，附圖用于說明本發(fā)明，而非限制本發(fā)明。注意，表示結(jié)構(gòu)的附圖可能并非按比例繪制。并且，附圖中，相同或者類似的元件標(biāo)有相同或者類似的標(biāo)號。
【具體實(shí)施方式】
[0024]為了使本發(fā)明的內(nèi)容更加清楚和易懂，下面結(jié)合具體實(shí)施例和附圖對本發(fā)明的內(nèi)容進(jìn)行詳細(xì)描述。
[0025]圖1示意性地示出了根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的擴(kuò)展ATE測試儀電壓量測范圍的方法的示意圖，圖2示意性地示出了根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的擴(kuò)展ATE測試儀電壓量測范圍的方法的流程圖。
[0026]如圖1和圖2所示，根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的擴(kuò)展ATE測試儀電壓量測范圍的方法包括:
[0027]第一步驟S1:判斷待測試的電壓的范圍；
[0028]第二步驟S2:在待測試的電壓的范圍大于第一閾值電壓(例如，第一閾值為0V)且小于第二閾值電壓(例如，第二閾值為13.5V)時，即在測試電流或常規(guī)低電壓時，利用繼電器(或者其他切換元件)將ATE測試儀的輸入端口 10切換成直接連接模擬測試管腳20 ;此時可以使用測試儀的常規(guī)方法測試。
[0029]第三步驟S3:在待測試的電壓的范圍小于第一閾值電壓或者大于第二閾值電壓時，即在測試高壓或負(fù)壓時，利用繼電器將ATE測試儀的輸入端口 10切換到電阻30的一端，其中電阻30的另一端連接模擬測試管腳20，并且通過施加電壓測量流經(jīng)電阻30的電流；優(yōu)選地，施加電壓的電壓值是0V。而且，優(yōu)選地，電阻30的電阻值介于10K Ohm至1000KOhm的范圍內(nèi)。例如，電阻30的電阻值是100K Ohm。
[0030]第四步驟S4:在執(zhí)行第三步驟S3之后，根據(jù)電阻30的電阻值以及流經(jīng)電阻30的電流值計算出模擬測試管腳20上的電壓。
[0031]更具體地說，根據(jù)電阻30的電阻值以及流經(jīng)電阻30的電流值的乘積來計算模擬測試管腳20上的電壓。
[0032]例如，電阻30的電阻值是100K Ohm，測量出的流經(jīng)電阻30的電流值是_70uA ;則模擬測試管腳20上的電壓是100K 0hm*-70uA = -7V
[0033]可以看出，根據(jù)本發(fā)明的擴(kuò)展ATE測試儀電壓量測范圍的方法有效地擴(kuò)大了測試儀電壓量測范圍，解決了一般測試儀不能量測負(fù)壓的問題；而且根據(jù)本發(fā)明的擴(kuò)展ATE測試儀電壓量測范圍的方法對常規(guī)電壓測量和電流測量用的一般方法沒有影響。
[0034]此外，需要說明的是，除非特別說明或者指出，否則說明書中的術(shù)語“第一”、“第二”、“第三”等描述僅僅用于區(qū)分說明書中的各個組件、元素、步驟等，而不是用于表示各個組件、元素、步驟之間的邏輯關(guān)系或者順序關(guān)系等。
[0035]可以理解的是，雖然本發(fā)明已以較佳實(shí)施例披露如上，然而上述實(shí)施例并非用以限定本發(fā)明。對于任何熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員而言，在不脫離本發(fā)明技術(shù)方案范圍情況下，都可利用上述揭示的技術(shù)內(nèi)容對本發(fā)明技術(shù)方案作出許多可能的變動和修飾，或修改為等同變化的等效實(shí)施例。因此，凡是未脫離本發(fā)明技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實(shí)質(zhì)對以上實(shí)施例所做的任何簡單修改、等同變化及修飾，均仍屬于本發(fā)明技術(shù)方案保護(hù)的范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種擴(kuò)展ATE測試儀電壓量測范圍的方法，其特征在于包括: 第一步驟:判斷待測試的電壓的范圍； 第二步驟:在待測試的電壓的范圍大于第一閾值電壓且小于第二閾值電壓時，將ATE測試儀的輸入端口切換成直接連接模擬測試管腳，并且執(zhí)行ATE測試。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的擴(kuò)展ATE測試儀電壓量測范圍的方法，其特征在于還包括: 第三步驟:在待測試的電壓的范圍小于第一閾值電壓或者大于第二閾值電壓時，將ATE測試儀的輸入端口切換到電阻的一端，其中電阻的另一端連接模擬測試管腳，并且通過施加電壓測量流經(jīng)電阻的電流。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的擴(kuò)展ATE測試儀電壓量測范圍的方法，其特征在于還包括: 在執(zhí)行第三步驟之后，根據(jù)電阻的電阻值以及流經(jīng)電阻的電流值計算出模擬測試管腳上的電壓。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的擴(kuò)展ATE測試儀電壓量測范圍的方法，其特征在于，根據(jù)電阻的電阻值以及流經(jīng)電阻的電流值的乘積來計算模擬測試管腳上的電壓。5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的擴(kuò)展ATE測試儀電壓量測范圍的方法，其特征在于，施加電壓的電壓值是0V。6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的擴(kuò)展ATE測試儀電壓量測范圍的方法，其特征在于，電阻的電阻值介于10K Ohm至1000K Ohm的范圍內(nèi)。7.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的擴(kuò)展ATE測試儀電壓量測范圍的方法，其特征在于，電阻的電阻值是100K Ohm。8.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的擴(kuò)展ATE測試儀電壓量測范圍的方法，其特征在于，利用繼電器對ATE測試儀的輸入端口進(jìn)行切換。9.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的擴(kuò)展ATE測試儀電壓量測范圍的方法，其特征在于，第一閾值為0V。10.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的擴(kuò)展ATE測試儀電壓量測范圍的方法，其特征在于，第二閾值電壓為13.5V。
【專利摘要】本發(fā)明提供了一種擴(kuò)展ATE測試儀電壓量測范圍的方法，包括：判斷待測試的電壓的范圍；在待測試的電壓的范圍大于第一閾值電壓且小于第二閾值電壓時，將ATE測試儀的輸入端口切換成直接連接模擬測試管腳，并且執(zhí)行ATE測試。在待測試的電壓的范圍小于第一閾值電壓或者大于第二閾值電壓時，將ATE測試儀的輸入端口切換到電阻的一端，其中電阻的另一端連接模擬測試管腳，并且通過施加電壓測量流經(jīng)電阻的電流。根據(jù)電阻的電阻值以及流經(jīng)電阻的電流值計算出模擬測試管腳上的電壓。
【IPC分類】G01R31/00
【公開號】CN105301392
【申請?zhí)枴緾N201510690562
【發(fā)明人】索鑫
【申請人】上海華虹宏力半導(dǎo)體制造有限公司
【公開日】2016年2月3日
【申請日】2015年10月22日