基于多點(diǎn)離焦探測(cè)的平板傾斜測(cè)量裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及平板傾斜測(cè)量裝置，更具體地說是一種基于多點(diǎn)離焦探測(cè)的平板傾斜測(cè)量裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在大型TFT-1XD玻璃基板與彩色濾光片缺陷檢測(cè)中，需要采用顯微成像來實(shí)現(xiàn)對(duì)液晶基板的成像檢測(cè)。檢測(cè)過程中，顯微鏡采用高分辨率成像，景深范圍小，被測(cè)基板的振動(dòng)、定位高度的變化，使得平板在高度方向上很小的位移就會(huì)造成失焦現(xiàn)象。雖然采用了自動(dòng)聚焦鏡頭系統(tǒng)，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)被測(cè)平板面的聚焦成像，但都是針對(duì)平板某個(gè)點(diǎn)聚焦的。如果被測(cè)平板發(fā)生傾斜，就會(huì)造成顯微成像面部分聚焦，部分失焦的現(xiàn)象，嚴(yán)重影響平板的成像質(zhì)量。因此需要測(cè)量被測(cè)平板的傾斜狀態(tài)，并提供信號(hào)給調(diào)整機(jī)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)對(duì)被測(cè)平板面的傾斜調(diào)整。
[0003]目前常用的對(duì)于平板傾斜程度的檢測(cè)是采用反射光探測(cè)的方式，一種是采用面陣探測(cè)器件，如CCD相機(jī)，檢測(cè)反射光點(diǎn)在像面的位置進(jìn)而判定傾斜方向，這種方式需要進(jìn)行圖像處理，并對(duì)數(shù)字信號(hào)進(jìn)行轉(zhuǎn)換后才能提供給調(diào)整機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)傾斜度的調(diào)整，存在的問題是信號(hào)處理有一時(shí)間過程，進(jìn)而帶來調(diào)整滯后，也可能因成像的清晰程度致使測(cè)量過程不能順利進(jìn)行；另一種是采用線陣探測(cè)器，如線陣CCD，檢測(cè)反射光點(diǎn)位置，這種方法雖然速度快，只能探測(cè)單方向傾斜，對(duì)于X和Y的不同方向上的檢測(cè)需要兩套檢測(cè)裝置才能實(shí)現(xiàn)；也有采用反射光斑在多象限探測(cè)器上的位置變化來判定傾斜，但是這種方式受到探測(cè)器的敏感面積的限制，并因此限制了檢測(cè)范圍。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明是為避免上述現(xiàn)有技術(shù)所存在的不足之處，提供一種基于多點(diǎn)離焦探測(cè)的平板傾斜測(cè)量裝置，以期能夠利用檢測(cè)信號(hào)直接進(jìn)行判斷并實(shí)現(xiàn)快速調(diào)整，同時(shí)能夠?qū)崿F(xiàn)多方向的傾斜測(cè)量，使檢測(cè)范圍不受探測(cè)器的面積的限制，并簡(jiǎn)化結(jié)構(gòu)。
[0005]本發(fā)明實(shí)現(xiàn)發(fā)明目的采用如下技術(shù)方案:
[0006]本發(fā)明基于多點(diǎn)離焦探測(cè)的平板傾斜測(cè)量裝置的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)是:
[0007]設(shè)置檢測(cè)光路，是以點(diǎn)光源作為照明光源，所述點(diǎn)光源經(jīng)半透半反鏡和物鏡照射在被測(cè)平板的待測(cè)點(diǎn)上，并在所述被測(cè)平板的待測(cè)點(diǎn)的表面形成反射光；所述反射光經(jīng)物鏡反射至半透半反鏡，在所述半透半反鏡中按5: 5進(jìn)行分束，形成光軸互成90°的第一光束和第二光束；所述第二光束經(jīng)反射鏡后通過針孔板中針孔投照在四象限探測(cè)器的某一象限的中心位置上；
[0008]設(shè)置所述檢測(cè)光路共有四路，四路檢測(cè)光路具有相同的結(jié)構(gòu)形式，并且是以四象限探測(cè)器的中心呈旋轉(zhuǎn)對(duì)稱，使四路檢測(cè)光路形成的四個(gè)待測(cè)點(diǎn)呈“十”字分布在被測(cè)平板上；同樣呈“十”分布的四只針孔共處在同一針孔板上，所述呈“十”字分布的四只針孔與四象限探測(cè)器中四個(gè)象限的中心在位置上一一對(duì)應(yīng)，針孔板與四象限探測(cè)器緊貼放置，構(gòu)成針孔探測(cè)單元，使得在所述四象限探測(cè)器中分別獲得與所述四個(gè)待測(cè)點(diǎn)位置信息一一對(duì)應(yīng)的檢測(cè)信號(hào) IXl、Ix2、IyjP Iy2;
[0009]其中，1&和Ix 2是共處在X軸線上的兩個(gè)輸出檢測(cè)信號(hào)；IyJP Iy 2是共處在Y軸線上的兩個(gè)輸出檢測(cè)信號(hào)；
[0010]若IXl# Ix 2則判斷為被測(cè)平板在X方向存在有傾斜；
[0011]若Iy1* Iy 2則判斷為被測(cè)平板在Y方向存在有傾斜。
[0012]本發(fā)明基于多點(diǎn)離焦探測(cè)的平板傾斜測(cè)量裝置的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)也在于:將所述針孔板和四象限探測(cè)器置于像面的離焦平面上，則有:
[0013]依據(jù)Ix1-1x2的值為正值或?yàn)樨?fù)值判斷被測(cè)平板在X方向上的傾斜方向；
[0014]依據(jù)Iy1-1yj^值為正值或?yàn)樨?fù)值判斷被測(cè)平板在Y方向上的傾斜方向。
[0015]本發(fā)明基于多點(diǎn)離焦探測(cè)的平板傾斜測(cè)量裝置的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)也在于:將所述測(cè)量裝置以過四象限探測(cè)器的中軸線為轉(zhuǎn)動(dòng)中心線進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)對(duì)所述被測(cè)平板在不同方位上的傾斜狀況的檢測(cè)。
[0016]與已有技術(shù)相比，本發(fā)明有益效果體現(xiàn)在:
[0017]1、本發(fā)明利用四象限探測(cè)器獲得檢測(cè)信號(hào)，通過比較輸出的電信號(hào)，可直接對(duì)被測(cè)平板提供調(diào)整信號(hào)，調(diào)整過程快速及時(shí)；同時(shí)采用單個(gè)四象限探測(cè)器實(shí)現(xiàn)了四路光信號(hào)同步檢測(cè)，簡(jiǎn)化了結(jié)構(gòu)；
[0018]2、本發(fā)明將針孔板和四象限探測(cè)器構(gòu)成的針孔探測(cè)單元置于聚焦像面的離焦平面上，可以直接檢測(cè)并判斷被測(cè)平板的傾斜方向；
[0019]3、本發(fā)明將測(cè)量裝置進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)被測(cè)平板在不同方向上的傾斜測(cè)量；
[0020]4、本發(fā)明利用針孔板和四象限探測(cè)器構(gòu)成的針孔探測(cè)單元進(jìn)行光強(qiáng)信號(hào)的檢測(cè)，檢測(cè)范圍不受探測(cè)器的面積的限制，極大地提高了測(cè)量裝置的實(shí)用程度。
【附圖說明】
[0021]圖1為本發(fā)明中同處在X軸線上的一對(duì)檢測(cè)光路原理示意圖；
[0022]圖2為本發(fā)明整體結(jié)構(gòu)示意圖；
[0023]圖3為本發(fā)明中針孔板上針孔分布示意圖；
[0024]圖4為本發(fā)明中四象限探測(cè)器探測(cè)原理示意圖；
[0025]圖中標(biāo)號(hào):1點(diǎn)光源，2半透半反鏡，3物鏡，4被測(cè)平板，5反射鏡，6針孔板，7四象限探測(cè)器，
【具體實(shí)施方式】
[0026]參見圖1，本實(shí)施例中設(shè)置檢測(cè)光路為:以點(diǎn)光源I作為照明光源，所述點(diǎn)光源I經(jīng)半透半反鏡2和物鏡3照射在被測(cè)平板4的待測(cè)點(diǎn)上，并在所述被測(cè)平板4的待測(cè)點(diǎn)的表面形成反射光；所述反射光經(jīng)物鏡3反射至半透半反鏡2，在所述半透半反鏡2中按5: 5進(jìn)行分束，形成光軸互成90°的第一光束和第二光束；所述第二光束經(jīng)反射鏡5后通過針孔板6中針孔投照在四象限探測(cè)器7的某一象限的中心位置上；
[0027]參見圖2、圖3和圖4，本實(shí)施例中基于多點(diǎn)離焦探測(cè)的平板傾斜測(cè)量裝置設(shè)置檢測(cè)光路共有四路，四路檢測(cè)光路具有相同的結(jié)構(gòu)形式，并且是以四象限探測(cè)器7的中心呈旋轉(zhuǎn)對(duì)稱，使四路檢測(cè)光路形成的四個(gè)待測(cè)點(diǎn)呈“十”字分布在被測(cè)平板4上；同樣呈“十”字分布的四只針孔共處在同一針孔板6上，所述呈“十