用于校準(zhǔn)制動(dòng)輪的坐標(biāo)的方法及用于處理襯底的設(shè)備的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及用于校準(zhǔn)制動(dòng)輪（headblock)的坐標(biāo)的方法及用于處理襯底的設(shè)備， 且更確切地說，涉及用于校準(zhǔn)制動(dòng)輪的坐標(biāo)的方法及能夠在滴液設(shè)備（liquiddropping apparatus)的所述制動(dòng)輪移動(dòng)時(shí)校準(zhǔn)坐標(biāo)的用于處理襯底的設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002] 通過使用密封分配器設(shè)備（sealdispenserequipment)來接合一對平面型襯底 制造平面顯示面板。作為實(shí)例描述液晶顯示面板的制造，首先制造其上形成有多個(gè)薄膜晶 體管及像素電極的下部襯底及其上形成有濾色器及共同電極的上部電極。接下來，液晶滴 落到下部襯底，且將密封劑涂覆于下部襯底的邊緣區(qū)。接下來，其上形成有像素電極的下部 襯底的表面及其上形成有共同電極的上部襯底的表面經(jīng)安置成彼此相對，且接著密封兩個(gè) 襯底，使其彼此接合，從而制造液晶面板。本文中，例如密封分配器等滴液設(shè)備用以涂覆密 封劑。通過這樣做，沿著襯底的邊緣外周涂覆密封劑。
[0003] 同時(shí)，在涂覆密封劑的制動(dòng)輪在密封分配器中移動(dòng)時(shí)，制動(dòng)輪可能并不準(zhǔn)確地移 動(dòng)到實(shí)際目標(biāo)位置。原因在于制動(dòng)輪歸因于經(jīng)編碼的誤差、相機(jī)測量的誤差、儀器的變形等 而移動(dòng)到實(shí)際目標(biāo)位置之外。因此，密封分配器設(shè)備具有被稱作位置偏移的功能。所述功 能給出了到設(shè)備的軸桿的多達(dá)設(shè)定量（必要時(shí)）的位置偏移以便校準(zhǔn)誤差。
[0004] 然而，相關(guān)技術(shù)允許操作密封分配器設(shè)備以將值直接輸入到指定軸桿。然而，在操 作者直接輸入偏移值時(shí)，難以實(shí)時(shí)反映實(shí)時(shí)設(shè)備條件，且因此不可能輸入準(zhǔn)確的偏移值。舉 例來說，可能并未反映由比例尺在測量時(shí)歸因于溫度及濕度的變形而造成的誤差。此外，無 論操作者如何直接輸入偏移值，可僅在設(shè)備的設(shè)置及維護(hù)期間輸入偏移值。結(jié)果，存在可能 在設(shè)備的操作期間并未實(shí)時(shí)反映偏移值的問題。
[0005] [相關(guān)技術(shù)文獻(xiàn)]
[0006] [專利文獻(xiàn)]
[0007] (專利文獻(xiàn)1)韓國專利特許公開公布第10-2013-0051881號。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008] 本發(fā)明提供一種用于將滴液設(shè)備的制動(dòng)輪傳送到準(zhǔn)確坐標(biāo)的襯底處理設(shè)備。本發(fā) 明還提供一種用于計(jì)算滴液設(shè)備的每一制動(dòng)輪的單獨(dú)偏移及用于在設(shè)備的操作期間實(shí)時(shí) 反映偏移的襯底處理設(shè)備。
[0009] 根據(jù)本發(fā)明的示范性實(shí)施例，一種用于校準(zhǔn)制動(dòng)輪的坐標(biāo)以校準(zhǔn)設(shè)置于臺架 (gantry)中的多個(gè)制動(dòng)輪的過程開始坐標(biāo)的方法包含：在辨識襯底上的對準(zhǔn)標(biāo)記時(shí)理解 個(gè)別系統(tǒng)坐標(biāo)，所述個(gè)別系統(tǒng)坐標(biāo)為制動(dòng)輪移動(dòng)構(gòu)件的坐標(biāo)；通過從所述個(gè)別系統(tǒng)坐標(biāo)減 去對準(zhǔn)襯底坐標(biāo)而計(jì)算個(gè)別偏移，所述對準(zhǔn)襯底坐標(biāo)為所述對準(zhǔn)標(biāo)記的所述襯底上的坐 標(biāo)；以及對所述個(gè)別偏移及對于每一制動(dòng)輪所請求的移動(dòng)請求坐標(biāo)求和以計(jì)算每一制動(dòng)輪 的移動(dòng)校準(zhǔn)坐標(biāo)。
[0010] 每一制動(dòng)輪的所述個(gè)別系統(tǒng)坐標(biāo)的計(jì)算可包含：在視覺相機(jī)（visioncamera)辨 識所述襯底的拐角時(shí)將所述制動(dòng)輪移動(dòng)構(gòu)件的坐標(biāo)值設(shè)定為參考坐標(biāo)；在所述視覺相機(jī)辨 識所述襯底上的所述對準(zhǔn)標(biāo)記時(shí)將所述制動(dòng)輪移動(dòng)構(gòu)件的所述坐標(biāo)值設(shè)定為對準(zhǔn)系統(tǒng)坐 標(biāo)；將所述視覺相機(jī)與設(shè)定的參考相機(jī)之間的間隔距離計(jì)算為相機(jī)坐標(biāo)；以及使用所述參 考坐標(biāo)、所述對準(zhǔn)系統(tǒng)坐標(biāo)及所述相機(jī)坐標(biāo)計(jì)算每一制動(dòng)輪的所述個(gè)別系統(tǒng)坐標(biāo)。
[0011] 在所述個(gè)別系統(tǒng)坐標(biāo)的所述計(jì)算中，可通過從所述對準(zhǔn)系統(tǒng)坐標(biāo)減去所述參考坐 標(biāo)及所述相機(jī)坐標(biāo)來計(jì)算所述個(gè)別系統(tǒng)坐標(biāo)。
[0012] 所述參考相機(jī)可為設(shè)置于首先定位于所述臺架的軸上的所述制動(dòng)輪處的視覺相 機(jī)。
[0013] 在所述移動(dòng)校準(zhǔn)坐標(biāo)的所述計(jì)算中，可分別對所述個(gè)別偏移及設(shè)定的過程開始坐 標(biāo)求和以計(jì)算每一制動(dòng)輪的過程開始校準(zhǔn)坐標(biāo)，且使每一制動(dòng)輪移動(dòng)到所述過程開始校準(zhǔn) 坐標(biāo)。
[0014] 可使所述襯底對準(zhǔn)以使所述襯底的邊緣的表面與所述臺架的縱軸彼此平行，且接 著可計(jì)算每一制動(dòng)輪的所述個(gè)別系統(tǒng)坐標(biāo)。
[0015] 對于所述襯底上的象限，可以交叉形式逐個(gè)地形成所述對準(zhǔn)標(biāo)記。
[0016] 根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)示范性實(shí)施例，一種用于處理襯底的設(shè)備包含：其上安放所 述襯底的平臺（stage);安置在所述平臺上的臺架；固定地安裝在所述臺架上且經(jīng)安置成 彼此間隔開的多個(gè)制動(dòng)輪，所述多個(gè)制動(dòng)輪是在一個(gè)方向上列出；多個(gè)排放單元，其安置 于所述多個(gè)制動(dòng)輪之下且在一個(gè)方向上彼此間隔開以將液體排放到所述襯底；臺架移動(dòng)單 元，其安置于所述平臺上以使所述臺架在Y軸方向上水平地移動(dòng)；以及制動(dòng)輪移動(dòng)單元，其 在辨識所述襯底上的所述對準(zhǔn)標(biāo)記時(shí)算出每一制動(dòng)輪的為所述制動(dòng)輪移動(dòng)單元的坐標(biāo)的 個(gè)別系統(tǒng)坐標(biāo)，以從所述個(gè)別系統(tǒng)坐標(biāo)減去為其上形成有所述對準(zhǔn)標(biāo)記的襯底坐標(biāo)的對準(zhǔn) 襯底坐標(biāo)以便計(jì)算個(gè)別偏移，且接著分別對所述個(gè)別偏移與對于每一制動(dòng)輪所請求的移動(dòng) 坐標(biāo)求和以計(jì)算每一制動(dòng)輪的移動(dòng)校準(zhǔn)坐標(biāo)，從而使所述多個(gè)制動(dòng)輪在X軸方向上水平地 移動(dòng)。
[0017] 根據(jù)本發(fā)明的示范性實(shí)施例，有可能通過個(gè)別地計(jì)算滴液設(shè)備的每一制動(dòng)輪的偏 移以便個(gè)別地應(yīng)用所述偏移來將每一制動(dòng)輪傳送到準(zhǔn)確坐標(biāo)。此外，根據(jù)本發(fā)明的示范性 實(shí)施例，有可能通過計(jì)算用于傳送每一制動(dòng)輪的偏移在移動(dòng)制動(dòng)輪時(shí)實(shí)時(shí)反映偏移。
【附圖說明】
[0018]圖1為說明根據(jù)本發(fā)明的示范性實(shí)施例的滴液設(shè)備的圖。
[0019]圖2為說明根據(jù)本發(fā)明的示范性實(shí)施例的制動(dòng)輪的校準(zhǔn)移動(dòng)坐標(biāo)的過程的流程 圖。
[0020] 圖3為說明其中對準(zhǔn)標(biāo)記形成于襯底上的外觀的圖。
[0021]圖4為說明根據(jù)本發(fā)明的示范性實(shí)施例的對準(zhǔn)標(biāo)記及多個(gè)制動(dòng)輪的圖。
[0022]圖5為說明根據(jù)本發(fā)明的示范性實(shí)施例的在安置襯底時(shí)制動(dòng)輪移動(dòng)構(gòu)件的坐標(biāo) 圖的圖。
[0023] 附圖標(biāo)記說明：
[0024]100 :平臺；
[0025] 200:臺架；
[0026] 300 :制動(dòng)輪；
[0027] 300a:第一制動(dòng)輪；
[0028] 300b:第二制動(dòng)輪；
[0029] 300c:第三制動(dòng)輪；
[0030] 300n:第 n制動(dòng)輪；
[0031] 310 :視覺相機(jī)；
[0032] 310a:第一視覺相機(jī)；
[0033] 310b:第二視覺相機(jī)；
[0034] 310c:第三視覺相機(jī)；
[0035] 31On:第n視覺相機(jī)；
[0036] 400 :注射器；
[0037] 400a:第一注射器；
[0038]400b:第二注射器；
[0039]400c:第三注射器；
[0040] 410 :排放單元；
[0041] 410a:第一排放單元；
[0042] 410b:第二排放單元；
[0043] 410c:第三排放單元；
[0044]500 :制動(dòng)輪移動(dòng)單元/導(dǎo)軌；
[0045]600 :臺架移動(dòng)單元；
[0046]610:臺架導(dǎo)軌；
[0047] 620 :臺架驅(qū)動(dòng)單元；
[0048] M :對準(zhǔn)標(biāo)記；
[0049]S:襯底。
【具體實(shí)施方式】
[0050] 下文中參考附圖詳細(xì)描述本發(fā)明的示范性實(shí)施例