篩選轉(zhuǎn)移特性曲線具有雙線缺陷的場(chǎng)效應(yīng)管的方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及晶體管測(cè)試技術(shù)，特別是涉及一種篩選轉(zhuǎn)移特性曲線具有雙線缺陷的場(chǎng)效應(yīng)管的方法。
【背景技術(shù)】
[0002]場(chǎng)效應(yīng)晶體管在制造過(guò)程由于沾污等原因，會(huì)導(dǎo)致柵存在缺陷，表現(xiàn)為其轉(zhuǎn)移特性曲線出現(xiàn)雙線，也即其轉(zhuǎn)移特性曲線并不穩(wěn)定。此類(lèi)產(chǎn)品在應(yīng)用時(shí)易引起失效。
[0003]對(duì)此類(lèi)產(chǎn)品進(jìn)行測(cè)試時(shí)，傳統(tǒng)采用圖示儀手動(dòng)測(cè)試，并通過(guò)在圖示儀上觀測(cè)該產(chǎn)品的轉(zhuǎn)移特性曲線，來(lái)判斷其轉(zhuǎn)移特性曲線是否存在雙線。由于人眼觀測(cè)曲線容易誤判、難以測(cè)出定量值且效率低下，因此不適合批量生產(chǎn)。
[0004]另外，傳統(tǒng)的自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)測(cè)試，并不能判斷場(chǎng)效應(yīng)晶體管轉(zhuǎn)移特性曲線是否存在雙線，不能剔除有這類(lèi)缺陷的產(chǎn)品。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]基于此，有必要提供一種篩選轉(zhuǎn)移特性曲線具有雙線缺陷的場(chǎng)效應(yīng)管的方法。
[0006]一種篩選轉(zhuǎn)移特性曲線具有雙線缺陷的場(chǎng)效應(yīng)管的方法，包括如下步驟:設(shè)定用于判斷場(chǎng)效應(yīng)管是否開(kāi)啟的漏端電流閾值，當(dāng)檢測(cè)到漏端電流大于所述漏端電流閾值時(shí)，表示場(chǎng)效應(yīng)管開(kāi)啟；所述漏端電流閾值為10?200微安；在第一測(cè)試時(shí)長(zhǎng)內(nèi)，測(cè)試得到第一開(kāi)啟電壓；在第二測(cè)試時(shí)長(zhǎng)內(nèi)，測(cè)試得到第二開(kāi)啟電壓；所述第一測(cè)試時(shí)長(zhǎng)小于第二測(cè)試時(shí)長(zhǎng)；判斷所述第一開(kāi)啟電壓與第二開(kāi)啟電壓的差值是否小于正常誤差值，若是，則判定所述場(chǎng)效應(yīng)管不具有所述雙線缺陷，否則判定所述場(chǎng)效應(yīng)管具有所述雙線缺陷。
[0007]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述第一測(cè)試時(shí)長(zhǎng)為100?800微秒。
[0008]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述第二測(cè)試時(shí)長(zhǎng)為2?20毫秒。
[0009]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述正常誤差值為0.005?0.05伏。
[0010]在其中一個(gè)實(shí)施例中，測(cè)試所述第一開(kāi)啟電壓和第二開(kāi)啟電壓米用自動(dòng)分選機(jī)。
[0011]上述測(cè)試方法，采用不同的測(cè)試時(shí)長(zhǎng)所得到的開(kāi)啟電壓能夠反映出場(chǎng)效應(yīng)管的雙線缺陷，因而能夠篩選具有雙線缺陷的場(chǎng)效應(yīng)管。
[0012]另外，由于測(cè)試開(kāi)啟電壓是自動(dòng)分選機(jī)的基本功能，因此可以用自動(dòng)分選機(jī)具體執(zhí)行，故也可以提高測(cè)試效率。
【附圖說(shuō)明】
[0013]圖1為一實(shí)施例的篩選轉(zhuǎn)移特性曲線具有雙線缺陷的場(chǎng)效應(yīng)管的方法流程圖。
【具體實(shí)施方式】
[0014]由于制造過(guò)程由于沾污等原因，導(dǎo)致柵引入非預(yù)期的寄生電容，由于密勒效應(yīng)，等效輸入電容增大，導(dǎo)致頻率特性降低，體現(xiàn)為在不同測(cè)試時(shí)長(zhǎng)內(nèi)，所測(cè)出的開(kāi)啟電壓值不同，因此在對(duì)具有雙線缺陷的場(chǎng)效應(yīng)管進(jìn)行測(cè)試時(shí)，若采用較小的漏端電流閾值，并且測(cè)試不同的時(shí)間，會(huì)測(cè)試到場(chǎng)效應(yīng)管具有不同的開(kāi)啟電壓，以下實(shí)施例的測(cè)試方法利用此種特性篩選轉(zhuǎn)移特性曲線具有雙線缺陷的場(chǎng)效應(yīng)管。
[0015]如圖1所示，為一實(shí)施例的篩選轉(zhuǎn)移特性曲線具有雙線缺陷的場(chǎng)效應(yīng)管的方法流程圖。該方法可以采用自動(dòng)分選機(jī)具體執(zhí)行，以提高測(cè)試效率，包括如下步驟。
[0016]步驟SlOl:設(shè)定用于判斷場(chǎng)效應(yīng)管是否開(kāi)啟的漏端電流閾值。當(dāng)檢測(cè)到漏端電流大于所述漏端電流閾值時(shí)，表示場(chǎng)效應(yīng)管開(kāi)啟。所述漏端電流閾值為小電流，本實(shí)施例優(yōu)選為在10?200微安的范圍內(nèi)取值。
[0017]步驟S102:在第一測(cè)試時(shí)長(zhǎng)內(nèi)，測(cè)試得到第一開(kāi)啟電壓。本實(shí)施例優(yōu)選的第一測(cè)試時(shí)長(zhǎng)為100?800微秒。
[0018]步驟S103:在第二測(cè)試時(shí)長(zhǎng)內(nèi)，測(cè)試得到第二開(kāi)啟電壓。所述第一測(cè)試時(shí)長(zhǎng)小于第二測(cè)試時(shí)長(zhǎng)，并且通常相差20倍左右。本實(shí)施例優(yōu)選的第二測(cè)試時(shí)長(zhǎng)為2?20毫秒。
[0019]步驟S104:判斷所述第一開(kāi)啟電壓與第二開(kāi)啟電壓的差值是否小于正常誤差值，若是，則執(zhí)行步驟S105，否則執(zhí)行步驟S106。本實(shí)施例的正常誤差值在0.005?0.05伏之間。假設(shè)第一開(kāi)啟電壓為VI，第二開(kāi)啟電壓為V2，正常誤差值為V0，則本步驟即判斷
V1-V2 < VO是否成立。
[0020]步驟S105:判定所述場(chǎng)效應(yīng)管不具有所述雙線缺陷。
[0021]步驟S106:判定所述場(chǎng)效應(yīng)管具有所述雙線缺陷。
[0022]上述方法能夠采用已有的自動(dòng)分選機(jī)進(jìn)行測(cè)試，不僅能夠篩選具有雙線缺陷的場(chǎng)效應(yīng)管，測(cè)試效率也很高。
[0023]以上所述實(shí)施例僅表達(dá)了本發(fā)明的幾種實(shí)施方式，其描述較為具體和詳細(xì)，但并不能因此而理解為對(duì)本發(fā)明專(zhuān)利范圍的限制。應(yīng)當(dāng)指出的是，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本發(fā)明構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進(jìn)，這些都屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。因此，本發(fā)明專(zhuān)利的保護(hù)范圍應(yīng)以所附權(quán)利要求為準(zhǔn)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種篩選轉(zhuǎn)移特性曲線具有雙線缺陷的場(chǎng)效應(yīng)管的方法，包括如下步驟: 設(shè)定用于判斷場(chǎng)效應(yīng)管是否開(kāi)啟的漏端電流閾值，當(dāng)檢測(cè)到漏端電流大于所述漏端電流閾值時(shí)，表不場(chǎng)效應(yīng)管開(kāi)啟；所述漏端電流閾值為10?200微安； 在第一測(cè)試時(shí)長(zhǎng)內(nèi)，測(cè)試得到第一開(kāi)啟電壓； 在第二測(cè)試時(shí)長(zhǎng)內(nèi)，測(cè)試得到第二開(kāi)啟電壓；所述第一測(cè)試時(shí)長(zhǎng)小于第二測(cè)試時(shí)長(zhǎng)； 判斷所述第一開(kāi)啟電壓與第二開(kāi)啟電壓的差值是否小于正常誤差值，若是，則判定所述場(chǎng)效應(yīng)管不具有所述雙線缺陷，否則判定所述場(chǎng)效應(yīng)管具有所述雙線缺陷。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的篩選轉(zhuǎn)移特性曲線具有雙線缺陷的場(chǎng)效應(yīng)管的方法，其特征在于，所述第一測(cè)試時(shí)長(zhǎng)為100?800微秒。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的篩選轉(zhuǎn)移特性曲線具有雙線缺陷的場(chǎng)效應(yīng)管的方法，其特征在于，所述第二測(cè)試時(shí)長(zhǎng)為2?20毫秒。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的篩選轉(zhuǎn)移特性曲線具有雙線缺陷的場(chǎng)效應(yīng)管的方法，其特征在于，所述正常誤差值為0.005?0.05伏。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的篩選轉(zhuǎn)移特性曲線具有雙線缺陷的場(chǎng)效應(yīng)管的方法，其特征在于，測(cè)試所述第一開(kāi)啟電壓和第二開(kāi)啟電壓采用自動(dòng)分選機(jī)。
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明公開(kāi)一種篩選轉(zhuǎn)移特性曲線具有雙線缺陷的場(chǎng)效應(yīng)管的方法，包括如下步驟：設(shè)定用于判斷場(chǎng)效應(yīng)管是否開(kāi)啟的漏端電流閾值，當(dāng)檢測(cè)到漏端電流大于所述漏端電流閾值時(shí)，表示場(chǎng)效應(yīng)管開(kāi)啟；所述漏端電流閾值為10～200微安；在第一測(cè)試時(shí)長(zhǎng)內(nèi)，測(cè)試得到第一開(kāi)啟電壓；在第二測(cè)試時(shí)長(zhǎng)內(nèi)，測(cè)試得到第二開(kāi)啟電壓；所述第一測(cè)試時(shí)長(zhǎng)小于第二測(cè)試時(shí)長(zhǎng)；判斷所述第一開(kāi)啟電壓與第二開(kāi)啟電壓的差值是否小于正常誤差值，若是，則判定所述場(chǎng)效應(yīng)管不具有所述雙線缺陷，否則判定所述場(chǎng)效應(yīng)管具有所述雙線缺陷。上述測(cè)試方法，采用不同的測(cè)試時(shí)長(zhǎng)所得到的開(kāi)啟電壓能夠反映出場(chǎng)效應(yīng)管的雙線缺陷，因而能夠篩選具有雙線缺陷的場(chǎng)效應(yīng)管。
【IPC分類(lèi)】G01R31-26
【公開(kāi)號(hào)】CN104820178
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510166878
【發(fā)明人】謝文華
【申請(qǐng)人】深圳深?lèi)?ài)半導(dǎo)體股份有限公司
【公開(kāi)日】2015年8月5日
【申請(qǐng)日】2015年4月9日