激光精密振鏡校正準(zhǔn)確度檢測(cè)方法及系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及激光精密加工技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種激光精密振鏡校正準(zhǔn)確度檢測(cè)方法及系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]在激光精密切割領(lǐng)域中，通常采用振鏡掃描的加工方式來(lái)保證激光精密系統(tǒng)的加工精度。在采用振鏡的激光精密系統(tǒng)中，需要通過(guò)振鏡自帶的軟體控制系統(tǒng)間隔對(duì)振鏡掃描系統(tǒng)進(jìn)行校準(zhǔn)，該過(guò)程被稱為振鏡的校正。當(dāng)振鏡完成校正后，需要通過(guò)對(duì)校正的準(zhǔn)確度進(jìn)行檢測(cè)評(píng)估，以判斷激光加工精度是否達(dá)到要求。
[0003]現(xiàn)有的振鏡校正準(zhǔn)確度檢測(cè)方法是通過(guò)軟體直接讀取校正后補(bǔ)償坐標(biāo)，并進(jìn)行矩陣坐標(biāo)二次元計(jì)算，得到偏差數(shù)值是否滿足精度要求。而由于振鏡校正準(zhǔn)確度往往都是通過(guò)振鏡掃描區(qū)域的銜接來(lái)反映，但由于直接讀取校正坐標(biāo)需要比較繁瑣的計(jì)算及流程，因此，該方法的檢測(cè)過(guò)程較復(fù)雜，且效率不高。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的目的是提出一種激光精密振鏡校正準(zhǔn)確度檢測(cè)方法及系統(tǒng)，其能快速準(zhǔn)確地對(duì)振鏡校正準(zhǔn)確度檢測(cè)驗(yàn)證。
[0005]為達(dá)到上述目的，本發(fā)明提出了一種激光精密振鏡校正準(zhǔn)確度檢測(cè)方法，包括:在至少一振鏡掃描區(qū)域的邊界上放置驗(yàn)證素材，且所述驗(yàn)證素材是至少放置在所述邊界相互垂直的兩個(gè)方向上，在所述驗(yàn)證素材上分別激光加工多個(gè)部分標(biāo)準(zhǔn)圖形，使得所述部分標(biāo)準(zhǔn)圖形進(jìn)行拼接得到至少一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)圖案，檢測(cè)拼接后的所述標(biāo)準(zhǔn)圖案的完整度是否達(dá)到預(yù)設(shè)值，從而判斷振鏡校正的準(zhǔn)確度。
[0006]進(jìn)一步，在上述激光精密振鏡校正準(zhǔn)確度檢測(cè)方法中，包括以下步驟:
[0007]步驟S1:通過(guò)激光控制裝置輸入具有接口銜接圖形的接口文件，所述接口銜接圖形由至少一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)圖案組成，所述標(biāo)準(zhǔn)圖案的中心位于至少一振鏡掃描區(qū)域的邊界上；
[0008]步驟S2:選擇一用于激光加工且線寬均勻的驗(yàn)證素材，并將所述驗(yàn)證素材放置于所述至少一振鏡掃描區(qū)域邊界上；
[0009]步驟S3:通過(guò)激光裝置產(chǎn)生激光，根據(jù)所述接口銜接圖形通過(guò)激光在所述驗(yàn)證素材上進(jìn)行加工，且于所述至少一振鏡掃描區(qū)域內(nèi)加工得到多個(gè)部分標(biāo)準(zhǔn)圖形；以及
[0010]步驟S4:將所述多個(gè)部分標(biāo)準(zhǔn)圖形進(jìn)行拼接形成至少一個(gè)所述標(biāo)準(zhǔn)圖案，檢測(cè)拼接后該標(biāo)準(zhǔn)圖案的完整度并判斷該完整度是否達(dá)到預(yù)設(shè)值，若是，則表示所述振鏡校正準(zhǔn)確；若否，則表示需要重新對(duì)振鏡進(jìn)行校正。
[0011]進(jìn)一步，在上述激光精密振鏡校正準(zhǔn)確度檢測(cè)方法中，所述至少一振鏡掃描區(qū)域?yàn)橐粋€(gè)，所述步驟S3具體包括:
[0012]通過(guò)激光裝置產(chǎn)生激光，根據(jù)所述接口銜接圖形通過(guò)激光在所述驗(yàn)證素材上進(jìn)行加工，且于所述一個(gè)振鏡掃描區(qū)域的橫向邊界與縱向邊界相交處加工得到四個(gè)具有1/4標(biāo)準(zhǔn)圖案的加工圖形。
[0013]進(jìn)一步，在上述激光精密振鏡校正準(zhǔn)確度檢測(cè)方法中，所述至少一振鏡掃描區(qū)域?yàn)閮蓚€(gè)，所述步驟S3具體包括:
[0014]通過(guò)激光裝置產(chǎn)生激光，根據(jù)所述接口銜接圖形通過(guò)激光在所述驗(yàn)證素材上進(jìn)行加工，且于所述兩個(gè)振鏡掃描區(qū)域的橫向邊界及縱向邊界加工得到各一組具有1/2標(biāo)準(zhǔn)圖案的加工圖形。
[0015]進(jìn)一步，在上述激光精密振鏡校正準(zhǔn)確度檢測(cè)方法中，所述至少一振鏡掃描區(qū)域?yàn)樗膫€(gè)，所述步驟S3具體包括:
[0016]通過(guò)激光裝置產(chǎn)生激光，根據(jù)所述接口銜接圖形通過(guò)激光在所述驗(yàn)證素材上進(jìn)行加工，且于所述四個(gè)振鏡掃描區(qū)域的橫向邊界及縱向邊界加工得到至少一組具有1/4標(biāo)準(zhǔn)圖案的加工圖形。
[0017]進(jìn)一步，在上述激光精密振鏡校正準(zhǔn)確度檢測(cè)方法中，所述標(biāo)準(zhǔn)圖案為圓形或方形。
[0018]進(jìn)一步，在上述激光精密振鏡校正準(zhǔn)確度檢測(cè)方法中，所述標(biāo)準(zhǔn)圖案為圓形的情況下，所述步驟S4具體包括:
[0019]所述部分標(biāo)準(zhǔn)圖形為1/4或1/2圓形，將所述多個(gè)1/4或1/2圓形拼接成圓形，檢測(cè)拼接圓形的圓度并判斷該圓度是否達(dá)到預(yù)設(shè)值，若是，則表示所述振鏡校正準(zhǔn)確；若否，則表示需要重新對(duì)振鏡進(jìn)行校正。
[0020]進(jìn)一步，在上述激光精密振鏡校正準(zhǔn)確度檢測(cè)方法中，所述檢測(cè)拼接圓形的圓度的步驟具體包括:
[0021]通過(guò)圓度檢測(cè)裝置分別測(cè)定所述拼接圓形的短軸直徑及長(zhǎng)軸直徑的長(zhǎng)度，所述圓形的圓度=(短軸直徑/長(zhǎng)軸直徑)X 100%，所述短軸直徑與長(zhǎng)軸直徑相互垂直，所述短軸直徑為圓形中長(zhǎng)度最小的直徑，所述長(zhǎng)軸直徑為圓形內(nèi)長(zhǎng)度最大的直徑。
[0022]本發(fā)明還提供一種激光精密振鏡校正準(zhǔn)確度檢測(cè)系統(tǒng)，包括:激光加工裝置、振鏡掃描裝置、激光控制裝置、用于激光加工且線寬均勻的驗(yàn)證素材、完整度檢測(cè)裝置及具有接口銜接圖形的接口文件；
[0023]所述激光控制裝置包括:
[0024]輸入模塊，用于輸入具有接口銜接圖形的接口文件；所述接口銜接圖形由至少一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)圖案組成，所述標(biāo)準(zhǔn)圖案的中心位于至少一振鏡掃描區(qū)域邊界上，所述驗(yàn)證素材放置于所述至少一振鏡掃描區(qū)域邊界上；
[0025]掃描加工模塊，用于根據(jù)所述輸入模塊中的接口銜接圖形控制所述激光加工裝置及振鏡掃描裝置在所述驗(yàn)證素材上進(jìn)行加工，且于所述至少一振鏡掃描區(qū)域內(nèi)加工得到多個(gè)具有部分標(biāo)準(zhǔn)圖案的加工圖形；
[0026]拼接模塊，用于將所述多個(gè)具有部分標(biāo)準(zhǔn)圖案的加工圖形進(jìn)行拼接形成至少一個(gè)所述標(biāo)準(zhǔn)圖案；以及
[0027]所述完整度檢測(cè)裝置用于檢測(cè)拼接后的標(biāo)準(zhǔn)圖案的完整度。
[0028]進(jìn)一步，在上述激光精密振鏡校正準(zhǔn)確度檢測(cè)系統(tǒng)中，還包括:
[0029]比較判斷模塊，用于比較判斷該標(biāo)準(zhǔn)圖案的完整度是否達(dá)到預(yù)設(shè)值；以及
[0030]校正模塊，用于在該標(biāo)準(zhǔn)圖案的完整度未達(dá)到預(yù)設(shè)值的情況下重新對(duì)所述振鏡掃描裝置進(jìn)行校正。
[0031]本發(fā)明激光精密振鏡校正準(zhǔn)確度檢測(cè)方法及系統(tǒng)簡(jiǎn)化了振鏡校正后檢測(cè)驗(yàn)證的過(guò)程，提高了檢測(cè)效率，實(shí)現(xiàn)了快速準(zhǔn)確地對(duì)振鏡校正準(zhǔn)確度檢測(cè)驗(yàn)證。
【附圖說(shuō)明】
[0032]圖1為本發(fā)明激光精密振鏡校正準(zhǔn)確度檢測(cè)方法的流程示意圖；
[0033]圖2為圖1中接口文件一實(shí)施例的示意圖；
[0034]圖3為圖1中接口文件另一實(shí)施例的示意圖；
[0035]圖4a為圖3中拼接標(biāo)準(zhǔn)圖案一實(shí)施例的示意圖；
[0036]圖4b為圖3中另一拼接圓形一實(shí)施例的示意圖；
[0037]圖5為本發(fā)明激光精密振鏡校正準(zhǔn)確度檢測(cè)系統(tǒng)的示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0038]為了便于理解本發(fā)明，下面將參照相關(guān)附圖對(duì)本發(fā)明進(jìn)行更全面的描述。附圖中給出了本發(fā)明的較佳實(shí)施例。但是，本發(fā)明可以以許多不同的形式來(lái)實(shí)現(xiàn)，并不限于本文所描述的實(shí)施例。相反地，提供這些實(shí)施例的目的是使對(duì)本發(fā)明的公開(kāi)內(nèi)容的理解更加透徹全面。
[0039]本發(fā)明的激光精密振鏡校正準(zhǔn)確度檢測(cè)方法，是在至少一振鏡掃描區(qū)域的邊界上放置驗(yàn)證素材，且所述驗(yàn)證素材是放置在至少邊界相互垂直的兩個(gè)方向上，在所述驗(yàn)證素材上分別激光加工多個(gè)部分標(biāo)準(zhǔn)圖形，使得所述部分標(biāo)準(zhǔn)圖形進(jìn)行拼接得到至少一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)圖案，檢測(cè)拼接后的所述標(biāo)準(zhǔn)圖案的完整度是否達(dá)到預(yù)設(shè)值，從而判斷振鏡校正的準(zhǔn)確度。
[0040]下面結(jié)合附圖詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例。
[0041]請(qǐng)參閱圖1，本發(fā)明激光精密振鏡校正準(zhǔn)確度檢測(cè)方法是一種通過(guò)材料加工間接的驗(yàn)證方式，其包括以下步驟:
[0042]步驟S1:通過(guò)激光控制裝置輸入具有接口銜接圖形的接口文件，所述接口銜接圖形由至少一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)圖案組成，所述標(biāo)準(zhǔn)圖案的中心位于至少一振鏡掃描區(qū)域的邊界上；在本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例中，所述接口銜接圖形由多個(gè)依次排列的標(biāo)準(zhǔn)圖案組成，所述多個(gè)依次排列的標(biāo)準(zhǔn)圖案的中心位于至少一振鏡掃描區(qū)域相鄰邊界上；
[0043]步驟S2:選擇一用于激光切割且線寬均勻的驗(yàn)證素材，并將所述驗(yàn)證素材放置于所述至