本技術涉及單晶電池制程,具體涉及一種槽式機提籃檢測結構。
背景技術:
1、目前在對硅片生產(chǎn)過程中,需要將其放在提籃中,然后通過機械臂將提籃浸入充滿堿溶液的槽式機中,并且在槽式機底部設置提籃檢測桿和套筒,并在套筒內(nèi)設置感應器,使得提籃下移對提籃檢測桿向套筒內(nèi)擠壓,從而感應器對提籃檢測桿感應,實現(xiàn)對提籃的自檢測。
2、但是在機械臂進行正常提放籃動作時,由于提籃檢測桿在長期處于堿溶液環(huán)境下,堿液晶體附著在提籃檢測桿上,增大提籃檢測桿與套筒之間的摩擦力,對提籃檢測桿的下滑造成堵塞及卡頓,使感應器信號感應延時,傳導出錯誤信息,機臺報警停止運行,影響機械臂的下一步動作,造成槽體硅片超時,減重異常需要隔離返工,嚴重影響車間良率指標。
技術實現(xiàn)思路
1、本實用新型的目的是為了解決現(xiàn)有技術中存在的缺點,而提出的一種槽式機提籃檢測結構。
2、為了實現(xiàn)上述目的,本實用新型采用了如下技術方案:
3、一種槽式機提籃檢測結構,包括:
4、機械臂和槽式機,所述槽式機內(nèi)設有堿溶液;
5、多個提籃,所述提籃上端固定連接有掛桿;
6、所述機械臂末端固定連接有與多個提籃一一對應的多個連接板,所述連接板側壁固定連接有掛鉤,所述掛桿套設在掛鉤上;
7、檢測機構,所述檢測機構包括固定連接在掛鉤上端的固定筒,所述固定筒內(nèi)壁滑動連接有檢測桿,所述檢測桿下端固定連接有底座,所述檢測桿上端通過彈簧與固定筒頂部彈性連接,所述固定筒內(nèi)壁嵌設有傳感器,所述檢測桿側壁嵌設有與傳感器正對的檢測塊。
8、優(yōu)選地,所述傳感器將檢測結果傳導信號至外界plc轉換信號后通過網(wǎng)線傳輸給外界人機界面。
9、優(yōu)選地,所述固定筒下端固定連接有彈性環(huán),所述彈性環(huán)下端與底座上端固定連接。
10、本實用新型具有以下有益效果:
11、1、檢測機構設置在掛鉤上,使得檢測桿不會浸泡在堿溶液中,從而避免現(xiàn)有技術中提籃檢測桿在長期處于堿溶液環(huán)境下,堿液晶體附著在提籃檢測桿上,增大提籃檢測桿與套筒之間的摩擦力,對提籃檢測桿的下滑造成堵塞及卡頓,使感應器信號感應延時,傳導出錯誤信息,機臺報警停止運行,影響機械臂的下一步動作,造成槽體硅片超時,減重異常需要隔離返工,嚴重影響車間良率指標。
12、2、設置彈性環(huán),可以對檢測桿側壁進行保護,避免檢測桿側壁附著堿液晶體,從而影響其正常上下滑動。
1.一種槽式機提籃檢測結構,其特征在于,包括:
2.根據(jù)權利要求1所述的一種槽式機提籃檢測結構,其特征在于,所述傳感器(11)將檢測結果傳導信號至外界plc轉換信號后通過網(wǎng)線傳輸給外界人機界面。
3.根據(jù)權利要求1所述的一種槽式機提籃檢測結構,其特征在于,所述固定筒(7)下端固定連接有彈性環(huán)(13),所述彈性環(huán)(13)下端與底座(9)上端固定連接。