本技術(shù)涉及射頻，尤其涉及一種傳感器模塊和阻抗匹配器。

背景技術(shù)：

1、射頻(radio?frequency，rf)電源匹配器，也稱為射頻負載匹配器或是射頻匹配網(wǎng)絡，是一種用于匹配射頻電源和負載之間的阻抗的設備。能夠基于阻抗匹配的概念，根據(jù)電源和負載的阻抗特性來調(diào)整匹配網(wǎng)絡的參數(shù)，使其能夠?qū)崿F(xiàn)功率傳輸和反射損耗的改善。

2、當射頻電源發(fā)出功率經(jīng)過耦合線定向耦合器時，射頻通道線和信號感應線之間會有耦合電容，同時，根據(jù)電磁感應定律，信號感應線會有感應電流?，F(xiàn)有技術(shù)中的匹配器由于工藝規(guī)格的限制，信號感應線和射頻通道線的安全距離不夠。為了確保匹配器在低功率時信號強度足夠，且在高功率時采樣值不超過后級電路的數(shù)模轉(zhuǎn)換模塊能夠處理的最大值，需要保證信號線安全距離足夠的情況下，找出最佳的感應距離，以保證隔離度和匹配參數(shù)在合適的范圍。

3、上述內(nèi)容僅用于輔助理解本實用新型的技術(shù)方案，并不代表承認上述內(nèi)容是現(xiàn)有技術(shù)。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本實用新型的主要目的在于提供一種傳感器模塊和阻抗匹配器，旨在解決現(xiàn)有技術(shù)中匹配器傳感器模塊的信號感應線和射頻通道線之間的安全距離不夠的技術(shù)問題。

2、為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供了一種傳感器模塊，所述傳感器模塊包括：射頻通道線、信號感應線和雙面pcba板；

3、所述射頻通道線設置在所述pcba板的一面，所述信號感應線設置在所述pcba板的另一面。

4、可選地，所述信號感應線為單線，所述信號感應線與所述射頻通道線平行設置。

5、可選地，所述信號感應線為多段階梯線，所述多段階梯線包括：第一耦合段、第二耦合段和第三耦合段；

6、所述第一耦合段和所述第三耦合段與所述信號感應線的距離相同，均大于所述第二耦合段與所述信號感應線的距離；

7、所述第一耦合段、所述第二耦合段以及所述第三耦合段互相平行，所述第二耦合段的兩端分別還有兩條垂直于所述第二耦合段的連接段，用于連接所述第一耦合段與所述第二耦合段，以及連接所述第二耦合段與所述第三耦合段。

8、可選地，所述雙面pcba板設置所述射頻通道線以及信號感應線的面形狀為矩形。

9、可選地，所述射頻通道線與所述雙面pcba板的第一邊垂直設置，延伸至平行于所述第一邊的所述雙面pcba板的第二邊，所述射頻通道線與垂直于所述第一邊的所述雙面pcba板的第三邊以及第四邊的間距相同。

10、可選地，所述第一耦合段、所述第二耦合段和所述第三耦合段具備相同的線寬。

11、可選地，所述第二耦合段的中點與所述射頻通道線的中點的連線垂直于所述第二耦合段以及所述射頻通道線。

12、可選地，所述第一耦合段靠近所述雙面pcba板的短邊的一端設置有第一引線，所述第一引線的另一端垂直于所述雙面pcba板的兩個長邊中較近一邊向外延伸與外部設備連接；所述第三耦合段靠近所述雙面pcba板的短邊的一端設置有第二引線，所述第二引線的另一端垂直于所述雙面pcba板的兩個長邊中較近一邊向外延伸與外部設備連接；

13、所述第一引線、所述第二引線的線寬與所述第一耦合段的線寬相同。

14、可選地，所述雙面pcba板上還設置有多個定位孔，用于將所述雙面pcba板固定在所述傳感器模塊的預設位置。

15、此外，為實現(xiàn)上述目的，本實用新型還提供了一種阻抗匹配器，所述阻抗匹配器包括真空電容、fpga板和如上所述的傳感器模塊；所述傳感器模塊的輸入端與外部的射頻電源連接，所述傳感器模塊的輸出端與所述真空電容連接，所述傳感器模塊的采樣信號輸出端與fpga板連接。

16、本實用新型技術(shù)方案通過提出一種傳感器模塊和阻抗匹配器。所述傳感器模塊包括：射頻通道線、信號感應線和雙面pcba板；所述射頻通道線設置在所述pcba板的一面，所述信號感應線設置在所述pcba板的另一面，所述射頻通道線與所述信號感應線平行設置。通過將信號感應線設置在pcba板背面的方式，使得射頻通道線和信號感應線之間具備足夠的安全距離，確保傳感器在低功率的時候信號強度足夠，且在高功率的時候傳感器的采樣值不會超出后級處理電路能夠處理的最大值。

技術(shù)特征：

1.一種傳感器模塊，其特征在于，所述傳感器模塊包括：射頻通道線、信號感應線和雙面pcba板；

2.如權(quán)利要求1所述的傳感器模塊，其特征在于，所述信號感應線為單線，所述信號感應線與所述射頻通道線平行設置。

3.如權(quán)利要求1所述的傳感器模塊，其特征在于，所述信號感應線為多段階梯線，所述多段階梯線包括：第一耦合段、第二耦合段和第三耦合段；

4.如權(quán)利要求3所述的傳感器模塊，其特征在于，所述雙面pcba板設置所述射頻通道線以及信號感應線的面形狀為矩形。

5.如權(quán)利要求4所述的傳感器模塊，其特征在于，所述射頻通道線與所述雙面pcba板的第一邊垂直設置，延伸至平行于所述第一邊的所述雙面pcba板的第二邊，所述射頻通道線與垂直于所述第一邊的所述雙面pcba板的第三邊以及第四邊的間距相同。

6.如權(quán)利要求5所述的傳感器模塊，其特征在于，所述第一耦合段、所述第二耦合段和所述第三耦合段具備相同的線寬。

7.如權(quán)利要求6所述的傳感器模塊，其特征在于，所述第二耦合段的中點與所述射頻通道線的中點的連線垂直于所述第二耦合段以及所述射頻通道線。

8.如權(quán)利要求7所述的傳感器模塊，其特征在于，所述第一耦合段靠近所述雙面pcba板的短邊的一端設置有第一引線，所述第一引線的另一端垂直于所述雙面pcba板的兩個長邊中較近一邊向外延伸與外部設備連接；所述第三耦合段靠近所述雙面pcba板的短邊的一端設置有第二引線，所述第二引線的另一端垂直于所述雙面pcba板的兩個長邊中較近一邊向外延伸與外部設備連接；

9.如權(quán)利要求1所述的傳感器模塊，其特征在于，所述雙面pcba板上還設置有多個定位孔，用于將所述雙面pcba板固定在所述傳感器模塊的預設位置。

10.一種阻抗匹配器，其特征在于，所述阻抗匹配器包括真空電容、fpga板和如權(quán)利要求1-9任一項所述的傳感器模塊；

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及射頻技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種傳感器模塊和阻抗匹配器。所述傳感器模塊包括：射頻通道線、信號感應線和雙面PCBA板；所述射頻通道線設置在所述PCBA板的一面，所述信號感應線設置在所述PCBA板的另一面，所述射頻通道線與所述信號感應線平行設置。通過將信號感應線設置在PCBA板背面的方式，使得射頻通道線和信號感應線之間具備足夠的安全距離，確保傳感器在低功率的時候信號強度足夠，且在高功率的時候傳感器的采樣值不會超出后級處理電路能夠處理的最大值。

技術(shù)研發(fā)人員：林偉群,郭啟亮
受保護的技術(shù)使用者：深圳市恒運昌真空技術(shù)股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240509
技術(shù)公布日：2025/1/9