本技術(shù)涉及晶圓生產(chǎn)，尤其涉及一種晶圓生產(chǎn)用的表面質(zhì)量檢查裝置。

背景技術(shù)：

1、晶圓是指制作硅半導(dǎo)體電路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高純度的多晶硅溶解后摻入硅晶體晶種，然后慢慢拉出，形成圓柱形的單晶硅，硅晶棒在經(jīng)過(guò)研磨，拋光，切片后，形成硅晶圓片，也就是晶圓。在晶圓初步加工完成后，需要對(duì)其表面進(jìn)行缺陷檢測(cè)，以確保晶圓質(zhì)量。

2、對(duì)比文件cn217033690u公開(kāi)了一種晶圓表面檢測(cè)機(jī)，通過(guò)負(fù)壓機(jī)構(gòu)將晶圓牢固的吸附在平臺(tái)上，并且輔助設(shè)置有夾板來(lái)對(duì)晶圓進(jìn)一步固定，避免在檢測(cè)的過(guò)程中晶圓產(chǎn)生挪動(dòng)位移現(xiàn)象，而且在檢測(cè)的過(guò)程中，清理機(jī)構(gòu)能夠持續(xù)不斷的向晶圓表面吹送氣體，通過(guò)氣流的作用將晶圓表面的附著物吹散，以達(dá)到清理的目的，但上述裝置中將晶圓固定在平臺(tái)上，晶圓的位置固定，且檢測(cè)機(jī)的角度也是固定的，無(wú)法從多角度對(duì)晶圓的表面進(jìn)行檢測(cè)，檢測(cè)范圍受限。

3、因此，有必要提供一種新的晶圓生產(chǎn)用的表面質(zhì)量檢查裝置解決上述技術(shù)問(wèn)題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供一種可調(diào)節(jié)檢測(cè)位置的晶圓生產(chǎn)用的表面質(zhì)量檢查裝置。

2、本實(shí)用新型提供的晶圓生產(chǎn)用的表面質(zhì)量檢查裝置，包括底座，所述底座的頂部固定連接有固定桿，所述固定桿的外側(cè)設(shè)置有調(diào)節(jié)件，所述調(diào)節(jié)件的外側(cè)設(shè)置有卡套，所述底座的頂部設(shè)置有移動(dòng)板，所述移動(dòng)板的外側(cè)設(shè)置有調(diào)節(jié)移動(dòng)板位置的第一移動(dòng)件，所述移動(dòng)板的頂部設(shè)置有轉(zhuǎn)動(dòng)件，所述轉(zhuǎn)動(dòng)件的外側(cè)設(shè)置有支撐盤(pán)，所述支撐盤(pán)的外側(cè)設(shè)置有第二移動(dòng)件。

3、作為本實(shí)用新型提供的一種晶圓生產(chǎn)用的表面質(zhì)量檢查裝置，優(yōu)選的，所述調(diào)節(jié)件包括固定連接在固定桿外側(cè)的固定板，所述固定板的外側(cè)滑動(dòng)連接有滑套，所述滑套的外側(cè)螺紋連接有固定螺栓，所述卡套固定連接在滑套的外側(cè)。

4、作為本實(shí)用新型提供的一種晶圓生產(chǎn)用的表面質(zhì)量檢查裝置，優(yōu)選的，所述第一移動(dòng)件包括固定連接在底座外側(cè)的限位套，所述底座的外側(cè)固定連接有第一電機(jī)，所述第一電機(jī)的輸出端固定連接有螺桿，所述移動(dòng)板的底部固定有滑塊，所述滑塊的外側(cè)固定連接有螺套。

5、作為本實(shí)用新型提供的一種晶圓生產(chǎn)用的表面質(zhì)量檢查裝置，優(yōu)選的，轉(zhuǎn)動(dòng)件包括滑動(dòng)連接在移動(dòng)板頂部的連接塊，所述連接塊的底部固定連接有卡板，所述移動(dòng)板的外側(cè)開(kāi)設(shè)有滑槽，所述卡板在滑槽內(nèi)部滑動(dòng)。

6、作為本實(shí)用新型提供的一種晶圓生產(chǎn)用的表面質(zhì)量檢查裝置，優(yōu)選的，轉(zhuǎn)動(dòng)件還包括固定連接在連接塊內(nèi)部的第二電機(jī)，所述第二電機(jī)的輸出端與支撐盤(pán)的底部固定連接。

7、作為本實(shí)用新型提供的一種晶圓生產(chǎn)用的表面質(zhì)量檢查裝置，優(yōu)選的，所述第二移動(dòng)件包括固定連接在連接塊外側(cè)的第三電機(jī)，所述第三電機(jī)的輸出端固定連接有齒輪，所述移動(dòng)板的頂部固定連接有齒板，所述齒輪和齒板嚙合連接。

8、作為本實(shí)用新型提供的一種晶圓生產(chǎn)用的表面質(zhì)量檢查裝置，優(yōu)選的，所述支撐盤(pán)的內(nèi)部插接有限位桿，所述限位桿的內(nèi)部插接有螺栓。

9、作為本實(shí)用新型提供的一種晶圓生產(chǎn)用的表面質(zhì)量檢查裝置，優(yōu)選的，所述支撐盤(pán)的頂部固定連接有保護(hù)墊。

10、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是：

11、該晶圓生產(chǎn)用的表面質(zhì)量檢查裝置，將檢查燈卡接在卡套內(nèi)部，利用調(diào)節(jié)件調(diào)節(jié)檢查燈的高度，將晶圓放置在支撐盤(pán)上，利用第一移動(dòng)件帶動(dòng)移動(dòng)板移動(dòng)，對(duì)晶圓的位置進(jìn)行橫向調(diào)節(jié)，利用第二移動(dòng)件帶動(dòng)支撐盤(pán)在移動(dòng)板上移動(dòng)，對(duì)晶圓的位置進(jìn)行豎向調(diào)節(jié)，利用轉(zhuǎn)動(dòng)件帶動(dòng)支撐盤(pán)轉(zhuǎn)動(dòng)，帶動(dòng)晶圓轉(zhuǎn)動(dòng)，調(diào)節(jié)檢測(cè)位置，提高檢查效率。

技術(shù)特征：

1.一種晶圓生產(chǎn)用的表面質(zhì)量檢查裝置，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓生產(chǎn)用的表面質(zhì)量檢查裝置，其特征在于，所述調(diào)節(jié)件(3)包括固定連接在固定桿(2)外側(cè)的固定板(301)，所述固定板(301)的外側(cè)滑動(dòng)連接有滑套(302)，所述滑套(302)的外側(cè)螺紋連接有固定螺栓(303)，所述卡套(4)固定連接在滑套(302)的外側(cè)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓生產(chǎn)用的表面質(zhì)量檢查裝置，其特征在于，所述第一移動(dòng)件(6)包括固定連接在底座(1)外側(cè)的限位套(601)，所述底座(1)的外側(cè)固定連接有第一電機(jī)(602)，所述第一電機(jī)(602)的輸出端固定連接有螺桿(603)，所述移動(dòng)板(5)的底部固定有滑塊(604)，所述滑塊(604)的外側(cè)固定連接有螺套(605)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓生產(chǎn)用的表面質(zhì)量檢查裝置，其特征在于，轉(zhuǎn)動(dòng)件(7)包括滑動(dòng)連接在移動(dòng)板(5)頂部的連接塊(701)，所述連接塊(701)的底部固定連接有卡板(702)，所述移動(dòng)板(5)的外側(cè)開(kāi)設(shè)有滑槽，所述卡板(702)在滑槽內(nèi)部滑動(dòng)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的晶圓生產(chǎn)用的表面質(zhì)量檢查裝置，其特征在于，轉(zhuǎn)動(dòng)件(7)還包括固定連接在連接塊(701)內(nèi)部的第二電機(jī)(703)，所述第二電機(jī)(703)的輸出端與支撐盤(pán)(8)的底部固定連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓生產(chǎn)用的表面質(zhì)量檢查裝置，其特征在于，所述第二移動(dòng)件(9)包括固定連接在連接塊(701)外側(cè)的第三電機(jī)(901)，所述第三電機(jī)(901)的輸出端固定連接有齒輪(902)，所述移動(dòng)板(5)的頂部固定連接有齒板(903)，所述齒輪(902)和齒板(903)嚙合連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓生產(chǎn)用的表面質(zhì)量檢查裝置，其特征在于，所述支撐盤(pán)(8)的內(nèi)部插接有限位桿(10)，所述限位桿(10)的內(nèi)部插接有螺栓(12)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓生產(chǎn)用的表面質(zhì)量檢查裝置，其特征在于，所述支撐盤(pán)(8)的頂部固定連接有保護(hù)墊(11)。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)提供一種晶圓生產(chǎn)用的表面質(zhì)量檢查裝置，該晶圓生產(chǎn)用的表面質(zhì)量檢查裝置，包括底座，所述底座的頂部固定連接有固定桿，所述固定桿的外側(cè)設(shè)置有調(diào)節(jié)件，所述調(diào)節(jié)件的外側(cè)設(shè)置有卡套，所述底座的頂部設(shè)置有移動(dòng)板，所述移動(dòng)板的外側(cè)設(shè)置有調(diào)節(jié)移動(dòng)板位置的第一移動(dòng)件。本技術(shù)提供的晶圓生產(chǎn)用的表面質(zhì)量檢查裝置通過(guò)將檢查燈卡接在卡套內(nèi)部，利用調(diào)節(jié)件調(diào)節(jié)檢查燈的高度，將晶圓放置在支撐盤(pán)上，利用第一移動(dòng)件帶動(dòng)移動(dòng)板移動(dòng)，對(duì)晶圓的位置進(jìn)行橫向調(diào)節(jié)，利用第二移動(dòng)件帶動(dòng)支撐盤(pán)在移動(dòng)板上移動(dòng)，對(duì)晶圓的位置進(jìn)行豎向調(diào)節(jié)，利用轉(zhuǎn)動(dòng)件帶動(dòng)支撐盤(pán)轉(zhuǎn)動(dòng)，帶動(dòng)晶圓轉(zhuǎn)動(dòng)，調(diào)節(jié)檢測(cè)位置，提高檢查效率。

技術(shù)研發(fā)人員：李春財(cái),張永勝
受保護(hù)的技術(shù)使用者：江蘇晶利恒半導(dǎo)體科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240412
技術(shù)公布日：2025/1/6