本申請涉及樣品支撐設(shè)備的領(lǐng)域，尤其是涉及一種具有真空吸附功能的樣品臺支撐治具。

背景技術(shù)：

1、二次離子質(zhì)譜（?secondary?ion?mass?spectrometry?，sims）是通過高能量的一次離子束轟擊樣品表面，使樣品表面的原子或原子團(tuán)吸收能量而從表面發(fā)生濺射產(chǎn)生二次粒子,這些帶電粒子經(jīng)過質(zhì)量分析器后就可以得到關(guān)于樣品表面信息的圖譜。

2、利用二次質(zhì)譜分析儀對樣品進(jìn)行分析以前需要先將樣品裝載到樣品臺上，但由于樣品臺體積較小且重量輕，在將樣品裝載到樣品臺的過程中，樣品臺很容易在桌面上不?；瑒?，影響樣品的裝載過程。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、為了提高樣品臺在裝載樣品時的穩(wěn)定性，本申請?zhí)峁┮环N具有真空吸附功能的樣品臺支撐治具，具有穩(wěn)定吸附、結(jié)構(gòu)簡單及使用便捷的優(yōu)點(diǎn)。

2、本申請?zhí)峁┑囊环N具有真空吸附功能的樣品臺支撐治具采用如下的技術(shù)方案：

3、一種具有真空吸附功能的樣品臺支撐治具，包括真空座、微孔板和真空泵，所述真空座為頂部開口的盒狀結(jié)構(gòu)，所述真空座位于頂部開口的內(nèi)側(cè)壁開設(shè)有安裝口，所述微孔板嵌入在安裝口內(nèi)，所述真空座側(cè)壁開設(shè)有抽氣孔，所述真空座位于抽氣孔處連接有抽氣管，所述抽氣管連通于真空泵。

4、通過采用上述技術(shù)方案，利用真空泵通過抽氣管對真空座進(jìn)行抽氣，氣流從微孔板的孔隙向真空座內(nèi)涌入，進(jìn)而在微孔板表面形成吸附效果，將樣品臺放置于微孔板上，即可使樣品臺被吸附于微孔板，能夠有效避免裝載樣品時樣品臺發(fā)生移動，提高裝載樣品的便捷性以及效率；且由于微孔板孔隙細(xì)小且均勻，微孔板表面形成的吸附效果比較均勻，樣品臺放置于微孔板的任何一處均可穩(wěn)定吸附；此外，關(guān)閉真空泵即可將樣品臺從微孔板上取下，使用方便。

5、可選的，所述微孔板為微孔陶瓷板。

6、通過采用上述技術(shù)方案，微孔陶瓷板強(qiáng)度大、耐磨且化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定、耐腐蝕，能夠滿足長期使用的需要；同時，陶瓷屬于絕緣材料，能夠有效消散靜電。

7、可選的，所述微孔板頂部與真空座頂部齊平，所述真空座頂部安裝有安裝框，所述微孔板邊緣被夾持于安裝框和真空座之間。

8、通過采用上述技術(shù)方案，利用安裝框與真空座的夾持配合，可以提高微孔板位于真空座頂部的穩(wěn)定性，避免微孔板發(fā)生晃動，進(jìn)一步提高樣品裝載時的便捷性和精度；同時，安裝框與真空座在微孔板周側(cè)形成密封效果，避免空氣從微孔板與真空座之間的間隙進(jìn)入，提高對于樣品臺的吸附效果。

9、可選的，所述微孔板頂部設(shè)置有透氣薄膜，所述透氣薄膜被夾持于安裝框與微孔板之間。

10、通過采用上述技術(shù)方案，利用透氣薄膜分散微孔板表面的吸附壓力，避免長時間使用后微孔板的孔隙發(fā)生形變而導(dǎo)致吸附不均勻；同時能夠降低真空泄露量，進(jìn)一步提高吸附效果。

11、可選的，所述安裝框與真空座通過螺栓連接。

12、通過采用上述技術(shù)方案，通過螺栓連接提高了安裝框安裝及拆卸的便捷性，便于更新維護(hù)透氣薄膜以及微孔板。

13、可選的，所述真空座底部固定有定位板，所述定位板用于將真空座固定于桌面。

14、通過采用上述技術(shù)方案，利用定位板提高真空座位于桌面上的穩(wěn)定性，避免真空泵工作時發(fā)生振動，而影響真空座的穩(wěn)定性。

15、可選的，所述定位板開設(shè)有螺接孔，所述螺接孔穿設(shè)有螺栓并螺入桌面。

16、通過采用上述技術(shù)方案，螺栓連接的固定方式穩(wěn)定且可拆卸，而且設(shè)置成本低。

17、可選的，所述定位板采用磁性材料，并用于吸附在桌面上。

18、通過采用上述技術(shù)方案，采用磁吸方式更便于調(diào)節(jié)真空座的位置，在確保真空座穩(wěn)定性的同時，提高移動的便捷性。

19、可選的，所述抽氣孔內(nèi)壁設(shè)置有內(nèi)螺紋，所述抽氣管與抽氣孔螺紋配合。

20、通過采用上述技術(shù)方案，利用抽氣管與抽氣孔的螺紋配合，能夠提高兩者的密封性，提高微孔板的表面的吸附效果。

21、綜上所述，本申請包括以下至少一種有益技術(shù)效果：

22、1.利用真空泵通過抽氣管對真空座進(jìn)行抽氣，氣流從微孔板的孔隙向真空座內(nèi)涌入，進(jìn)而在微孔板表面形成吸附效果，將樣品臺放置于微孔板上，即可使樣品臺被吸附于微孔板，能夠有效避免裝載樣品時樣品臺發(fā)生移動，提高裝載樣品的便捷性以及效率；且由于微孔板孔隙細(xì)小且均勻，微孔板表面形成的吸附效果比較均勻，樣品臺放置于微孔板的任何一處均可穩(wěn)定吸附；此外，關(guān)閉真空泵即可將樣品臺從微孔板上取下，使用方便；

23、2.利用安裝框與真空座的夾持配合，可以提高微孔板位于真空座頂部的穩(wěn)定性，避免微孔板發(fā)生晃動，進(jìn)一步提高樣品裝載時的便捷性和精度；同時，安裝框與真空座在微孔板周側(cè)形成密封效果，避免空氣從微孔板與真空座之間的間隙進(jìn)入，提高對于樣品臺的吸附效果；

24、3.利用透氣薄膜分散微孔板表面的吸附壓力，避免長時間使用后微孔板的孔隙發(fā)生形變而導(dǎo)致吸附不均勻；同時能夠降低真空泄露量，進(jìn)一步提高吸附效果。

技術(shù)特征：

1.一種具有真空吸附功能的樣品臺支撐治具，其特征在于：包括真空座（1）、微孔板（2）和真空泵（3），所述真空座（1）為頂部開口的盒狀結(jié)構(gòu)，所述真空座（1）位于頂部開口的內(nèi)側(cè)壁開設(shè)有安裝口（4），所述微孔板（2）嵌入在安裝口（4）內(nèi)，所述微孔板（2）內(nèi)部形成有若干均勻的微小孔隙，所述真空座（1）側(cè)壁開設(shè)有抽氣孔（5），所述真空座（1）位于抽氣孔（5）處連接有抽氣管（6），所述抽氣管（6）連通于真空泵（3）。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有真空吸附功能的樣品臺支撐治具，其特征在于：所述微孔板（2）為微孔陶瓷板。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有真空吸附功能的樣品臺支撐治具，其特征在于：所述微孔板（2）頂部與真空座（1）頂部齊平，所述真空座（1）頂部安裝有安裝框（7），所述微孔板（2）邊緣被夾持于安裝框（7）和真空座（1）之間。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種具有真空吸附功能的樣品臺支撐治具，其特征在于：所述微孔板（2）頂部設(shè)置有透氣薄膜（8），所述透氣薄膜（8）被夾持于安裝框（7）與微孔板（2）之間。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種具有真空吸附功能的樣品臺支撐治具，其特征在于：所述安裝框（7）與真空座（1）通過螺栓連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有真空吸附功能的樣品臺支撐治具，其特征在于：所述真空座（1）底部固定有定位板（9），所述定位板（9）用于將真空座（1）固定于桌面。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種具有真空吸附功能的樣品臺支撐治具，其特征在于：所述定位板（9）開設(shè)有螺接孔（10），所述螺接孔（10）穿設(shè)有螺栓并螺入桌面。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種具有真空吸附功能的樣品臺支撐治具，其特征在于：所述定位板（9）采用磁性材料，并用于吸附在桌面上。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有真空吸附功能的樣品臺支撐治具，其特征在于：所述抽氣孔（5）內(nèi)壁設(shè)置有內(nèi)螺紋，所述抽氣管（6）與抽氣孔（5）螺紋配合。

技術(shù)總結(jié)
本申請涉及樣品支撐設(shè)備的領(lǐng)域，具體公開了一種具有真空吸附功能的樣品臺支撐治具，其包括真空座、微孔板和真空泵，真空座呈頂部開口的盒狀結(jié)構(gòu)，微孔板內(nèi)部形成有若干均勻分布的微小孔隙，微孔板嵌在真空座的頂部開口處，真空泵與真空座內(nèi)部相連通，驅(qū)動真空泵對真空座內(nèi)部進(jìn)行抽氣，空氣從微孔板的孔隙向真空座內(nèi)部涌入，以形成吸附效果，使得樣品臺被吸附于微孔板表面，提高樣品臺的穩(wěn)定性。本申請具有穩(wěn)定吸附、結(jié)構(gòu)簡單及使用便捷的優(yōu)點(diǎn)。

技術(shù)研發(fā)人員：湯潔,楊政霖,謝子建,郭縈妤
受保護(hù)的技術(shù)使用者：閎康技術(shù)檢測（上海）有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240106
技術(shù)公布日：2024/12/30