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離子檢測器和質(zhì)量分析裝置的制作方法

文檔序號:40535541發(fā)布日期:2025-01-03 10:54閱讀:9來源:國知局
離子檢測器和質(zhì)量分析裝置的制作方法

本發(fā)明涉及離子檢測器和質(zhì)量分析裝置。


背景技術(shù):

1、作為用于檢測正離子的離子檢測器,已知有包括:通過離子入射而釋放電子的轉(zhuǎn)換打拿極;將從轉(zhuǎn)換打拿極釋放的電子倍增的電子倍增部;和箱式電極,其收納轉(zhuǎn)換打拿極,具有使向轉(zhuǎn)換打拿極行進的離子通過的第1開口和使從轉(zhuǎn)換打拿極向第1級打拿極行進的電子通過的第2開口的結(jié)構(gòu)(例如,參照日本特開2011-086403號公報)。在這樣的離子檢測器中,存在為了抑制可能成為噪聲的雜光向轉(zhuǎn)換打拿極入射而使用箱式電極的情況。


技術(shù)實現(xiàn)思路

1、在上述那樣的離子檢測器中,為了不僅能夠進行正離子的檢測而且也能夠進行負離子的檢測,考慮使得能夠?qū)x予轉(zhuǎn)換打拿極的電位進行切換。具體而言,考慮以對轉(zhuǎn)換打拿極賦予正的電位,使通過負離子入射而從轉(zhuǎn)換打拿極釋放的正離子向第1級打拿極入射。在這種情況下,由于從負離子到正離子的轉(zhuǎn)換效率低,作為結(jié)果,存在負離子的檢測效率可能下降的問題。

2、本發(fā)明的目的在于,提供能夠分別對正離子和負離子實現(xiàn)離子的檢測效率的提高的離子檢測器和質(zhì)量分析裝置。

3、本發(fā)明的一個方面的離子檢測器包括:轉(zhuǎn)換打拿極,其具有通過離子入射而釋放電子的轉(zhuǎn)換區(qū)域;電子倍增部,其具有上述電子入射的第1級打拿極;箱式電極,其收納上述轉(zhuǎn)換打拿極,具有使向上述轉(zhuǎn)換區(qū)域行進的上述離子通過的第1開口和使從上述轉(zhuǎn)換區(qū)域向上述第1級打拿極行進的上述電子通過的第2開口;導(dǎo)電性的屏蔽部,其配置在上述第1開口,具有使向上述轉(zhuǎn)換區(qū)域行進的上述離子通過的間隙;和電位賦予部,其對上述轉(zhuǎn)換打拿極賦予第1電位,對上述第1級打拿極賦予第2電位,對上述箱式電極賦予第3電位,對上述屏蔽部賦予第4電位,上述第1電位和上述第3電位是與上述離子的極性相反的極性,上述第2電位高于上述第1電位,上述第3電位與上述第4電位為實質(zhì)上同電位。

4、本發(fā)明的一個方面的質(zhì)量分析裝置包括離子化部、質(zhì)量分離部和離子檢測器,上述離子檢測器包括:轉(zhuǎn)換打拿極,其具有通過離子入射而釋放電子的轉(zhuǎn)換區(qū)域;電子倍增部,其具有上述電子入射的第1級打拿極;箱式電極,其收納上述轉(zhuǎn)換打拿極,具有使向上述轉(zhuǎn)換區(qū)域行進的上述離子通過的第1開口和使從上述轉(zhuǎn)換區(qū)域向上述第1級打拿極行進的上述電子通過的第2開口;導(dǎo)電性的屏蔽部,其配置在上述第1開口,具有使向上述轉(zhuǎn)換區(qū)域行進的上述離子通過的間隙;和電位賦予部,其對上述轉(zhuǎn)換打拿極賦予第1電位,對上述第1級打拿極賦予第2電位,對上述箱式電極賦予第3電位,對上述屏蔽部賦予第4電位,上述第1電位和上述第3電位是與上述離子的極性相反的極性,上述第2電位高于上述第1電位,上述第3電位與上述第4電位為實質(zhì)上同電位。



技術(shù)特征:

1.一種離子檢測器,其特征在于,包括:

2.如權(quán)利要求1所述的離子檢測器,其特征在于,

3.如權(quán)利要求1或2所述的離子檢測器,其特征在于,

4.如權(quán)利要求1~3中的任一項所述的離子檢測器,其特征在于,

5.如權(quán)利要求1~4中的任一項所述的離子檢測器,其特征在于,

6.如權(quán)利要求1~5中的任一項所述的離子檢測器,其特征在于,

7.如權(quán)利要求6所述的離子檢測器,其特征在于,

8.如權(quán)利要求6或7所述的離子檢測器,其特征在于,

9.一種質(zhì)量分析裝置,其特征在于,包括:

10.如權(quán)利要求9所述的質(zhì)量分析裝置,其特征在于,


技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供離子檢測器和質(zhì)量分析裝置,離子檢測器包括:具有轉(zhuǎn)換區(qū)域的轉(zhuǎn)換打拿極;具有第1級打拿極的電子倍增部;箱式電極,其具有使向轉(zhuǎn)換區(qū)域行進的離子通過的第1開口和使從轉(zhuǎn)換區(qū)域向第1級打拿極行進的電子通過的第2開口;導(dǎo)電性的屏蔽部,其配置在第1開口,具有使向轉(zhuǎn)換區(qū)域行進的離子通過的間隙;和電位賦予部,其對轉(zhuǎn)換打拿極賦予第1電位,對第1級打拿極賦予第2電位,對箱式電極賦予第3電位,對屏蔽部賦予第4電位,第1電位和第3電位是與離子的極性相反的極性,第2電位高于第1電位,第3電位與第4電位為實質(zhì)上同電位。

技術(shù)研發(fā)人員:近藤淳一,遠藤剛志,藤田慎二郎
受保護的技術(shù)使用者:浜松光子學(xué)株式會社
技術(shù)研發(fā)日:
技術(shù)公布日:2025/1/2
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