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太赫茲材料的偏振光譜特性測(cè)量裝置的制作方法

文檔序號(hào):11381608閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種太赫茲材料的偏振光譜特性測(cè)量裝置,其特征在于,所述裝置包括:

旋光晶體,用于使入射的太赫茲脈沖產(chǎn)生旋光色散,已產(chǎn)生旋光色散的太赫茲脈沖透射過(guò)待測(cè)樣本而生成攜帶待測(cè)樣本光譜信息的太赫茲脈沖,所述攜帶待測(cè)樣本光譜信息的太赫茲脈沖入射至聚焦鏡;

所述聚焦鏡,用于將所述攜帶待測(cè)樣本光譜信息的太赫茲脈沖經(jīng)硅片后聚焦至閃鋅礦晶體;

脈沖延時(shí)器,用于使入射的探測(cè)脈沖產(chǎn)生延時(shí),已延時(shí)的探測(cè)脈沖入射至寬帶1/4波片;

所述寬帶1/4波片,用于使所述已延時(shí)的探測(cè)脈沖轉(zhuǎn)變?yōu)閳A偏振態(tài)的探測(cè)脈沖,所述圓偏振態(tài)的探測(cè)脈沖入射至第一聚焦透鏡;

所述第一聚焦透鏡,用于將所述圓偏振態(tài)的探測(cè)脈沖經(jīng)所述硅片后聚焦至所述閃鋅礦晶體;

所述硅片,用于將所述攜帶待測(cè)樣本光譜信息的太赫茲脈沖透射至閃鋅礦晶體,并將所述圓偏振態(tài)的探測(cè)脈沖反射至所述閃鋅礦晶體;

所述閃鋅礦晶體,其切割方向?yàn)?11°,用于使所述圓偏振態(tài)的探測(cè)脈沖與所述攜帶待測(cè)樣本光譜信息的太赫茲脈沖重合,以實(shí)現(xiàn)探測(cè)脈沖對(duì)所述攜帶待測(cè)樣本光譜信息的太赫茲脈沖的探測(cè),已被所述攜帶待測(cè)樣本光譜信息的太赫茲脈沖調(diào)制后的探測(cè)脈沖入射至第二聚焦透鏡;

所述第二聚焦透鏡,用于使所述調(diào)制后的探測(cè)脈沖準(zhǔn)直,準(zhǔn)直后的探測(cè)脈沖透射至非偏振分束器;

所述非偏振分束器,用于將所述準(zhǔn)直后的探測(cè)脈沖分成第一探測(cè)子脈沖與第二探測(cè)子脈沖,所述第一探測(cè)子脈沖入射至第一寬帶半波片,所述第二探測(cè)子脈沖入射至第二寬帶半波片;

所述第一寬帶半波片,用于調(diào)整所述第一探測(cè)子脈沖的偏振態(tài),已調(diào)整偏振態(tài)的第一探測(cè)子脈沖入射至第一偏振分束器;

所述第一偏振分束器,用于對(duì)所述已調(diào)整偏振態(tài)的第一探測(cè)子脈沖進(jìn)行偏振靈敏分束,已偏振分束的第一探測(cè)子脈沖入射至第一平衡探測(cè)器;

所述第一平衡探測(cè)器,用于對(duì)接收的所述已偏振分束的第一探測(cè)子脈沖進(jìn)行偏振靈敏測(cè)量,以生成第一探測(cè)子脈沖的測(cè)量數(shù)據(jù),以便基于所述第一探測(cè)子脈沖的測(cè)量數(shù)據(jù)得到所述待測(cè)樣本的偏振光譜特性;

所述第二寬帶半波片,用于調(diào)整所述第二探測(cè)子脈沖的偏振態(tài),已調(diào)整偏振態(tài)的第二探測(cè)子脈沖入射至第二偏振分束器;

所述第二偏振分束器,用于對(duì)所述已調(diào)整偏振態(tài)的第二探測(cè)子脈沖進(jìn)行偏振靈敏分束,已偏振分束的第二探測(cè)子脈沖入射至第二平衡探測(cè)器;

所述第二平衡探測(cè)器,用于對(duì)接收的所述已偏振分束的第二探測(cè)子脈沖進(jìn)行偏振靈敏測(cè)量,以生成第二探測(cè)子脈沖的測(cè)量數(shù)據(jù),以便基于所述第二探測(cè)子脈沖的測(cè)量數(shù)據(jù)得到所述待測(cè)樣本的偏振光譜特性。

2.如權(quán)利要求1所述的測(cè)量裝置,其特征在于,將所述測(cè)量裝置的待測(cè)樣本放置區(qū)域內(nèi)空置,在沒(méi)有所述待測(cè)樣本插入光路的情況下,測(cè)量得到不含所述待測(cè)樣本光譜信息的定標(biāo)樣本測(cè)量數(shù)據(jù),以便基于所述定標(biāo)樣本測(cè)量數(shù)據(jù)得到所述待測(cè)樣本的偏振光譜特性。

3.如權(quán)利要求1所述的測(cè)量裝置,其特征在于,所述第一平衡探測(cè)器和所述第二平衡探測(cè)器還用于分別與外部系統(tǒng)連接,以將所述第一探測(cè)子脈沖的測(cè)量數(shù)據(jù)和所述第二探測(cè)子脈沖的測(cè)量數(shù)據(jù)同步輸出至外部系統(tǒng)顯示或處理。

4.如權(quán)利要求1所述的測(cè)量裝置,其特征在于,所述硅片為高純硅片,其兩面拋光。

5.如權(quán)利要求1所述的測(cè)量裝置,其特征在于,所述第一寬帶半波片與所述第二寬帶半波片分別用于對(duì)所述第一探測(cè)子脈沖的偏振態(tài)和所述第二探測(cè)子脈沖的偏振態(tài)進(jìn)行調(diào)整,以使所述第一平衡探測(cè)器接收的已偏振分束的第一探測(cè)子脈沖與所述第二平衡探測(cè)器接收的已偏振分束的第二探測(cè)子脈沖互相成垂直角度。

6.如權(quán)利要求1所述的測(cè)量裝置,其特征在于,所述非偏振分束器為50:50的非偏振分束器。

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