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檢查組裝件、宏觀檢查系統(tǒng)以及相關的檢查方法與流程

文檔序號:11515957閱讀:250來源:國知局
檢查組裝件、宏觀檢查系統(tǒng)以及相關的檢查方法與流程

本發(fā)明一般地涉及檢查組裝件、尤其是用于(平板顯示)玻璃基板的檢查組裝件,和包括該檢查組裝件的宏觀檢查系統(tǒng)。本發(fā)明還涉及利用該檢查組裝件和宏觀檢查系統(tǒng)檢查(平板顯示)玻璃基板的方法。



背景技術:

當前,隨著技術的發(fā)展與市場的需求,對平板顯示基板像素及開口率的要求愈來愈高。因此,平板顯示基板布線朝著微細化方向發(fā)展,平板顯示基板陣列朝著細胞化方向發(fā)展,由此加劇了檢查平板顯示基板缺陷并進行定位測量的困難。

在目前市場上常見的宏觀檢查系統(tǒng)中,自動指示裝置和定位觀測成像裝置一般為兩個機構,其中自動指示裝置安裝在玻璃基板的支撐機構上,定位觀測成像裝置則安裝于操作人員進行觀察的操作平臺上,如圖1所示。當操作人員確定玻璃基板存在缺陷時,將自動指示裝置移動至缺陷位置,記錄下缺陷的坐標位置。然后再將指示裝置返回到零位,然后定位觀測成像裝置再移動至記錄的坐標位置,對焦并提取缺陷圖像。由于定位觀測成像裝置安裝在操作平臺上,操作人員的任何移動都有可能影響圖片的清晰度。自動指示裝置移動時產生的振動也對圖片清晰度產生影響。而且,定位觀測成像機構在自動指示裝置移動時無法工作,只有當指示裝置在記錄坐標并回到原點時,定位觀測成像機構才能根據(jù)記錄的坐標到達指定位置,再提取缺陷圖片。但是這樣的檢查效率并不高。

因此,迫切需要一種改進的裝置或系統(tǒng),能夠改善成像清晰度并提高檢查效率。



技術實現(xiàn)要素:

因此,本發(fā)明則提供了一種檢查組裝件和宏觀檢查系統(tǒng)以及相應的檢查方法,其中自動指示機構和定位觀測成像機構能分別工作,相互不影響;操作人員的移動對成像裝置不影響,而且操作也盡可能簡便。由此有效地提高了指示、定位觀測成像效率,且成像時不受指示裝置移動產生的振動影響,成像更清晰。

根據(jù)本發(fā)明的第一方面,提供了一種檢查組裝件,其包括自動指示機構和定位觀測成像機構,其中所述自動指示機構與所述定位觀測成像機構為一體的。在一些實施方案中,自動指示機構和定位觀測成像機構借助安裝底板連接而成為一體。在另一些實施方案中,自動指示機構和定位觀測成像機構也可直接地連接而成為一體。

該檢查組裝件進一步地包括位移機構,用于驅動一體式的所述檢查組裝件進行移動。

示例性地,該位移機構可以包括x軸導軌和y軸導軌以及各自對應的驅動電機,從而用來驅動一體式的所述檢查組裝件分別沿x軸和y軸移動。

根據(jù)本發(fā)明的第二方面,提供了一種宏觀檢查系統(tǒng),包括操作平臺、基板支承機構和本文所述的檢查組裝件,其中,所述檢查組裝件可安裝于所述操作平臺或基板支承機構上。

在宏觀檢查系統(tǒng)中,操作平臺與基板支承機構可以設計為隔離的,特別在震動上是隔離的。

因此,在優(yōu)選的實施方案中,所述檢查組裝件可僅安裝于所述基板支承機構上。

更加優(yōu)選地,檢查組裝件如下安裝在基板支承機構上:使得自動指示機構相對于定位觀測成像機構被設置在操作平臺的觀察位置的相對側。

本文所述的檢查組裝件和宏觀檢查系統(tǒng)主要用來檢查玻璃基板,特別是用來檢查玻璃基板上存在的各種缺陷。在本文中,玻璃基板優(yōu)選為平板顯示玻璃基板。

根據(jù)本發(fā)明的第三方面,還提供了使用根據(jù)本文所述的檢查組裝件或者根據(jù)本文所述的宏觀檢測系統(tǒng)檢查玻璃基板、特別是平板顯示玻璃基板的方法,包括以下步驟:

移動檢查組裝件,利用自動指示機構確定并指示玻璃基板上存在缺陷的位置;

在任選的情況下基于自動指示機構和定位觀測成像機構之間的位置差調整檢查組裝件的位置,使得定位觀測成像機構對準所確定的缺陷位置;

利用定位觀測成像機構對該缺陷位置進行觀察和成像。

在不偏離本發(fā)明的精神和范圍的情況下,本領域技術人員顯然能夠對本發(fā)明作出各種修改和調整。應當指出的是,本發(fā)明所要保護的范圍應以所附權利要求書為準,但是并不受到所附權利要求書中使用的任何附圖標記的限制。

附圖說明

在下文中,將參考附圖描述本發(fā)明的各種實施方式,其中:

圖1示意性顯示了現(xiàn)有的宏觀檢查系統(tǒng),其中自動指示裝置和定位觀測成像裝置為兩個機構,并且自動指示裝置安裝在玻璃基板的支撐機構上,定位觀測成像裝置則安裝于操作人員進行觀察的操作平臺上;

圖2示意性顯示了根據(jù)本發(fā)明的檢查組裝件的示意圖,該檢查組裝件中自動指示機構和定位觀測成像機構為一體的;和

圖3示意性顯示了自動指示機構和定位觀測成像機構通過安裝底板的連接而成為一體。

具體實施方式

本發(fā)明的發(fā)明人首次將自動指示機構和定位觀測成像機構進行一體式設計,即兩者實際上即兩者實際上成為“點位觀測模塊”。由此,可以將自動指示機構和定位觀測機構同步地移動到同一位置,例如缺陷的坐標位置。

在本文中,自動指示機構可以包括若干個部件以實現(xiàn)自動指示的功能,但是他們作為有機整體稱為“自動指示機構”。同樣地,定位觀測成像機構可以包括若干個部件以實現(xiàn)定位、觀測、成像等不同的功能,但是他作為有機整體稱為“定位觀測成像機構”。總之,在本發(fā)明中,自動指示機構和定位觀測成像機構被整合為一個構件,可以作為一個整體被移動,并且可以被分別操作以實現(xiàn)其功能。

圖2示出了根據(jù)本發(fā)明的檢查組裝件的示意圖,在檢查組裝件中同時整合了自動指示機構和定位觀測成像機構。出于示例目的,圖2中還示出了玻璃基板(例如tft-lcd玻璃基板),方便對該檢查組裝件工作時與玻璃基板的相對位置以及工作方式進行說明。

如圖2所示,檢查組裝件還另外具有位移機構,起到移動該檢查組裝件的作用。作為示例,圖2中的檢查組裝件具有兩條y軸導軌1和一條x軸導軌4,連接成半框形。x軸導軌和y軸導軌分別具有各自的x軸驅動電機6和y軸驅動電機5。自動指示機構與定位觀測成像機構形成為一體式組件3示意性地示出在y軸導軌的一端。該一體式組件3在驅動電機的驅動下可彼此獨立地沿y軸1和x軸4移動,因此能覆蓋整個玻璃基板2的任何位置,并記錄每個點位的坐標。兩個y軸配備了1個y軸驅動電機5并由其驅動,由此可以保證兩側y軸的同步性。應該可以理解,還可以在當前的位移機構(即兩條y軸導軌1和一條x軸導軌)中,向每側的y軸導軌都配有獨立的驅動電機,由此能夠增加運行動力。當然,在本文的檢查組裝件中還可以采用本領域中其他形式的位移機構。

圖3為圖2的局部放大圖,其中示出了檢查組裝件或一體式組件3的一種實施方式,其中自動指示機構10與定位觀測成像機構(其中包括成像相機及鏡頭8和定位測量裝置9)通過均固定到底板13上而連接為一體。此時,自動指示機構10指示的基板位置與定位觀測成像機構、特別是鏡頭對準的基板位置之間相對關系也是固定的,也就是說,他們之間存在固定的位置差,而且該位置差相對于整個玻璃基板的面積來說也是非常小的。當然,通過合理設計自動指示機構與定位觀測成像機構的位置或角度,可以將鏡頭所對準的位置和指示機構所指示的位置調節(jié)為一致的,也就是他們之間的位置差為零,或不存在位置差。作為具體的實例,固定底板13包括垂直設置的橫板和豎板,兩者均垂直于基板的檢測面,其中,豎板從橫板延伸出來,在空間上更加方便同時連接自動指示機構10和定位觀測成像機構(8和9)并加以固定,并且由此自動指示機構和定位觀測成像機構之間也不會相互影響。為了方便操作人員從操作平臺的位置對基板進行觀察,橫板連接至x軸導軌,而自動指示機構10在底板13的豎板上安裝在定位觀測成像機構(8和9)的前側方。該整體機構3中,還在底板13上安裝了例如距離調整氣缸7、焦距微調伺服電機11、底板導軌12等部件。這些部件與自動指示機構10和定位觀測成像機構(8和9)一起固定在底板13上。每個部件的相對位置是確定的。在其他實施方案中,自動指示機構10和定位觀測成像機構(8和9)和任選的其他部件可以根據(jù)具體的形狀或形式,直接連接在一起,或者通過其他形式的部件連接并固定在一起。出于示例性目的,自動指示機構10可以包括激光發(fā)射器和反射鏡。

對應于自動指示機構和定位觀測成像機構,一體式組件(相應的,宏觀檢查系統(tǒng))存在兩種工作模式,即,自動指示模式和定位觀測成像模式。在自動模式下,一體式組件3中的自動指示機構10處于開啟/工作狀態(tài)。自動指示機構10此時沿著x軸和y軸分別移動來確定缺陷位置。如上文所述,自動指示機構和定位觀測成像機構可能存在著有限的且固定的位置差。在理想的情況下,通過調整各機構的設置,可以將該位置差調節(jié)為零。因此,在確定缺陷位置后,最多只需要將一體式組件3移動該固定的位置差,即可使得定位觀測成像機構對準所確定的缺陷位置。直接切換到定位觀測成像模式,定位觀測成像機構即開始工作。然后由距離調整氣缸7粗調焦距,在經(jīng)焦距微調伺服電機11微調至圖像清晰。在整個過程中,相機和鏡頭不會受到指示機構10的移動所產生的振動影響。因此成像畫面清晰。

如上文所述,已經(jīng)在圖1中示出了目前市場上常見的宏觀檢查系統(tǒng)的一般設置,其中標明了操作平臺、基板支承機構、自動指示機構和定位觀測成像機構。應當可以理解的是,宏觀檢查系統(tǒng)還可以包括照明光源、控制系統(tǒng)、基板運送機構、基板固定或固定機構和/或基板位置調節(jié)機構,等等。而根據(jù)圖2或圖3所示的檢查組裝件可以方便地結合到如圖1所示的宏觀檢查系統(tǒng)中。已知在圖1中示出的宏觀檢查系統(tǒng)中,所示出的自動指示和定位觀測成像分成為兩個機構,其中自動指示裝置安裝在玻璃基板的支撐機構上,定位觀測成像裝置則安裝于操作人員進行觀察的操作平臺上。因此,自動指示裝置和定位觀測成像裝置分別需要配備各自的位移體系,即至少兩套位移體系(包括對應的控制體系),也就是要至少兩次移動才能將成像機構移動到缺陷位置進行拍照。這樣不僅導致檢查方法的復雜性,設備也更加復雜,操作人員的操作步驟也比較繁瑣。根據(jù)本發(fā)明的檢查組裝件中,同時結合了自動指示機構和定位觀測成像機構,由此只需要一套位移控制體系(例如參照圖2所述的x軸導軌和y軸導軌)。也就是說,根據(jù)本發(fā)明,只需要一次性移動該一體式組件3到缺陷位置即可進行成像和分析。更方便的是,該一體式裝置可以直接安裝或結合原本用于自動指示機構或定位觀測成像機構中的位移體系。也就是說,本發(fā)明的檢查組裝件可以方便地安裝在操作平臺上或在基板支承機構上。由此,就省略了至少一組位移控制體系,簡化了整個檢查裝置/系統(tǒng)的機構。

在本發(fā)明的優(yōu)選的宏觀檢查系統(tǒng)中,操作平臺與玻璃基板支撐機構設計優(yōu)選為分離的,尤其是在震動上是隔離的,或者稱為隔震的。因此,在更加優(yōu)選的實施方案中,本發(fā)明的檢查組裝件可以僅安裝在基板支承機構上。由此,操作人員的移動所產生的振動不會傳遞到玻璃基板支撐機構上,不會影響觀察成像,成像更加清晰。

在優(yōu)選的宏觀檢查系統(tǒng)中,自動指示機構優(yōu)選固定于定位觀測成像機構的前側,與操作平臺的觀察位置相對設置,由此不影響操作人員進行觀察定位指示的視線。在根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選的宏觀檢查系統(tǒng),指示、定位、觀測和成像裝置可以通過位移機構(例如著沿x、y軸移動),到達玻璃基板(例如平板顯示玻璃基板)的任何位置。成像裝置調整焦距時,指示定位、觀測等裝置均無需回到原點,而是只需要在最多調整一個自動指示機構和定位觀測成像機構之間的位置差之后、甚至在已經(jīng)到達的位置操作直接地切換到觀測成像機構/模式即可,由此顯著地提高了成像效率。

根據(jù)本發(fā)明的檢查組裝件和宏觀檢查系統(tǒng)以及相應的檢查方法,能夠確保成像畫面的清晰度,成像效率高,提高了平板顯示玻璃基板缺陷指示、觀測、成像效率,縮短指示、成像時間;提高生產效率。

當然,在此描述的不同實施方式的特征可以彼此組合,以形成上文沒有描述的進一步的實施方式。

附圖標記列表

1y軸;

2tft-lcd玻璃基板;

3一體式組件;

4x軸;

5y軸驅動電機;

6x軸驅動電機

7距離調整氣缸;

8成像相機及鏡頭;

9定位測量裝置;

10指示裝置;

11焦距微調伺服電機;

12導軌;

13底板(包括橫板和豎板)。

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