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一種基于微區(qū)再溶解反應(yīng)的濕度傳感器薄膜及其制備方法與流程

文檔序號:12784631閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種基于微區(qū)再溶解反應(yīng)的濕度傳感器薄膜,其特征在于:包括沉積在基底上的先導(dǎo)層薄膜,以及將溶液B以微米級別的微滴滴至先導(dǎo)層薄膜并待溶劑揮發(fā)后形成的后進層薄膜。

2.如權(quán)利要求1所述的一種基于微區(qū)再溶解反應(yīng)的濕度傳感器薄膜,其特征在于:用于制備后進層薄膜的溶液B滴至先導(dǎo)層薄膜時發(fā)生再溶解效應(yīng),通過化學(xué)方法使后進層薄膜的材料與先導(dǎo)層薄膜的材料之間產(chǎn)生復(fù)合鍵合。

3.如權(quán)利要求1所述的一種基于微區(qū)再溶解反應(yīng)的濕度傳感器薄膜,其特征在于:用于制備先導(dǎo)層薄膜的溶液A中的溶劑與用于制備后進層薄膜的溶液B的溶劑相同;溶液A中的溶質(zhì)與溶液B的溶質(zhì)均為可溶性材料,且兩種溶質(zhì)在溶劑作用下可發(fā)生化學(xué)或離子反應(yīng)。

4.如權(quán)利要求3所述的一種基于微區(qū)再溶解反應(yīng)的濕度傳感器薄膜,其特征在于:所述溶液A中的溶質(zhì)為聚乙烯亞胺、聚醚胺或有機羧酸類,所述溶液B中的溶質(zhì)為氧化石墨烯、4-二甲氨基吡啶或經(jīng)羧基化處理的碳納米管。

5.一種基于微區(qū)再溶解反應(yīng)的濕度傳感器薄膜的制備方法,其特征在于,包括以下步驟:

①對用于成膜的基底進行清洗;

②在基底表面制備先導(dǎo)層薄膜;

③對先導(dǎo)層薄膜進行干燥處理;

④在先導(dǎo)層薄膜上制備后進層薄膜:將溶液B以微米級別的微滴滴至先導(dǎo)層薄膜上,溶液B中的溶質(zhì)與先導(dǎo)層薄膜產(chǎn)生化學(xué)或離子反應(yīng),待溶液B中的溶劑揮發(fā)后最終形成后進層薄膜。

6.如權(quán)利要求5所述的一種基于微區(qū)再溶解反應(yīng)的濕度傳感器薄膜的制備方法,其特征在于:在步驟①中,用于成膜的基底為石英晶體微天平(QCM)、叉指電極(IDE)或柔性基底。

7.如權(quán)利要求5所述的一種基于微區(qū)再溶解反應(yīng)的濕度傳感器薄膜的制備方法,其特征在于:在步驟②中,采用溶液法在基底表面制備連續(xù)的先導(dǎo)層薄膜。

8.如權(quán)利要求5所述的一種基于微區(qū)再溶解反應(yīng)的濕度傳感器薄膜的制備方法,其特征在于:在步驟④中,溶液B滴至先導(dǎo)層薄膜時發(fā)生再溶解效應(yīng),通過化學(xué)方法使后進層薄膜的材料與先導(dǎo)層薄膜的材料之間產(chǎn)生復(fù)合鍵合。

9.如權(quán)利要求8所述的一種基于微區(qū)再溶解反應(yīng)的濕度傳感器薄膜的制備方法,其特征在于:溶液A中的溶劑與溶液B的溶劑相同;溶液A中的溶質(zhì)與溶液B的溶質(zhì)均為可溶性材料,且兩種溶質(zhì)在溶劑作用下可發(fā)生化學(xué)或離子反應(yīng)。

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