技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開(kāi)了一種膜厚檢測(cè)裝置及方法。其中，該裝置包括：公共電極和檢測(cè)電極，所述檢測(cè)電極包括N個(gè)檢測(cè)電極芯片，所述N個(gè)檢測(cè)電極芯片在產(chǎn)品主掃描方向上依次排列，每個(gè)檢測(cè)電極芯片上有M個(gè)檢測(cè)電極素子，所述M個(gè)檢測(cè)電極素子依次排列，各檢測(cè)電極素子與所述公共電極在第一方向上相對(duì)且間隔設(shè)置，公共電極表面與各檢測(cè)電極素子表面之間形成待測(cè)膜的檢測(cè)通道，M，N為自然數(shù)，其中，所述裝置還包括：差分放大電路，其中一個(gè)輸入端與參考素子輸出端相連，另一個(gè)輸入端與有效檢測(cè)電極素子的輸出端相連，輸出端為膜厚檢測(cè)裝置的有效信號(hào)輸出。通過(guò)本發(fā)明，解決了相關(guān)技術(shù)的膜厚檢測(cè)方法受環(huán)境因素影響大的技術(shù)問(wèn)題。

技術(shù)研發(fā)人員：姜利;張凱;韓曉偉;丁青
受保護(hù)的技術(shù)使用者：威海華菱光電股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2017.02.28
技術(shù)公布日：2017.08.18