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一種太赫茲亞波長分辨成像裝置的制作方法

文檔序號:12450666閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種太赫茲亞波長分辨成像裝置,包括控制電腦(1),微波源(2),0.15-0.5THz可調(diào)太赫茲固態(tài)倍頻源(3),離軸拋物面鏡(4),PE聚焦鏡(5-1)、(5-2),聚四氟乙烯樣品池(6),樣品層(7),線列太赫茲探測器(8),氧化鋁襯底片(9),聚氨酯吸收層(10),前置放大器及讀出電路(11),PET隔離片(12),AD轉(zhuǎn)換器(13)其特征在于:

所述的線列太赫茲探測器(8)為碲鋅鎘襯底的64×1元的碲鎘汞探測器件,包括碲鎘汞敏感元(8-1)和耦合天線(8-2),各探測單元位于氧化鋁襯底轉(zhuǎn)接電極片(9)的上方,通過前置放大器及讀出電路(11)中的選擇芯片使線列器件各單元器件的信號逐個讀出,鎖相放大器對太赫茲探測器在微波源調(diào)制頻率基頻進行鎖相放大而提取出太赫茲波近場信號;

所述的耦合天線(8-2)為在器件兩側(cè)對稱分布的扇形天線,分別與器件兩側(cè)接觸,中間部分為碲鎘汞探測器件敏感元(8-1);天線總尺寸不超過工作的波長的0.2倍,碲鎘汞探測器件敏感元(8-1)長度不超過探測波長的0.02倍;

所述的線列太赫茲探測器(8)下表面的PET隔離片(12)緊貼著被測樣品層(7)的上表面,距離樣品層不超過待測波長的0.1倍;被測樣品上表面透射的太赫茲波通過線列太赫茲探測器(8)接收。

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