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一種非球面檢測光路中光學(xué)間隔測量系統(tǒng)的制作方法

文檔序號:11661013閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種非球面檢測光路中光學(xué)間隔測量系統(tǒng),其特征在于:包括沿光路依次設(shè)置的鏡面定位儀、十字分化板、Offner補(bǔ)償器、被測非球面鏡、五維調(diào)整架二、五維調(diào)整架三、五維調(diào)整架四和五維調(diào)整架五;

所述鏡面定位儀放置在五維調(diào)整架五上,所述十字分化板放置在五維調(diào)整架四上,所述Offner補(bǔ)償器放置在五維調(diào)整架二上,所述被測非球面鏡放置在五維調(diào)整架三上;

所述鏡面定位儀、十字分化板、Offner補(bǔ)償器和被測非球面鏡組成的光路與被測非球面鏡的最佳面形檢測光路共光軸;

所述鏡面定位儀與十字分化板之間的距離大于鏡面定位儀的工作距;

所述鏡面定位儀和PC機(jī)連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的非球面檢測光路中光學(xué)間隔測量系統(tǒng),其特征在于:所述鏡面定位儀的光學(xué)間隔測量精度為1μm。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的非球面檢測光路中光學(xué)間隔測量系統(tǒng),其特征在于:所述十字分化板包括中心圓環(huán),所述中心圓環(huán)的直徑為0.5mm,中心圓環(huán)與十字分化板的外圓同心度為φ0.05mm。

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