本實用新型涉及自動控制領(lǐng)域，具體地，涉及高精度電動掃描臺。

背景技術(shù)：

電動掃描臺是實現(xiàn)平面掃描運動的基礎(chǔ)部件，在工業(yè)檢測、顯微掃描領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。目前市場上的兩軸掃描臺，多數(shù)采用步進(jìn)電機和絲杠傳動的方式。由于步進(jìn)電機的精度局限性和絲杠傳動的反向間隙，市面上的電動掃描臺具有響應(yīng)速度慢，定位精度低等問題。此外，還容易出現(xiàn)高速振動、低速爬行、外形笨重等缺點。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

針對現(xiàn)有技術(shù)中的缺陷，本實用新型的目的是提供一種高精度電動掃描臺。

根據(jù)本實用新型提供的高精度電動掃描臺，包括：支撐底板、運動下板、運動上板以及直線磁軸電機，所述運動下板設(shè)置在支撐底板上，所述運動上板位于運動下板上，所述運動下板和運動上板分別與一直線磁軸電機相連；且所述支撐底板上表面與運動下板下表面之間，以及運動下板上表面與運動上板下表面之間分別設(shè)置有匹配的滾動/滑動導(dǎo)軌副。

優(yōu)選地，所述滾動/滑動導(dǎo)軌副的安裝方式為層疊鑲嵌式結(jié)構(gòu)包括：固定組件和移動組件，具體地，

支撐底板的上表面嵌合有導(dǎo)軌副固定組件，則運動下板的下表面嵌合有相匹配的導(dǎo)軌副移動組件；

運動下板的上表面嵌合有導(dǎo)軌副固定組件，則運動上板的下表面嵌合有相匹配的導(dǎo)軌副移動組件。

優(yōu)選地，所述支撐底板上表面、運動下板下表面之間的滾動/滑動導(dǎo)軌副與運動下板上表面、運動上板下表面之間的滾動/滑動導(dǎo)軌副的運動方向相互垂直。

優(yōu)選地，還包括光柵讀頭和光柵尺，所述光柵尺分別鑲嵌在運動下板和運動上板的下表面的某一側(cè)，所述光柵讀頭鑲嵌在支撐底板的上表面并且與兩個光柵尺相對應(yīng)的位 置處。

優(yōu)選地，還包括電纜接插件，所述電纜接插件設(shè)置在支撐底板的某個側(cè)面上，并通過支撐底板上的走線槽與直線磁軸電機、光柵讀頭以及限位開關(guān)相連，且電機驅(qū)動線和信號線分別處于不同的電纜接插件。

優(yōu)選地，還包括驅(qū)動器，所述驅(qū)動器通過電纜接插件分別與直線磁軸電機、光柵尺以及限位開關(guān)相連。

優(yōu)選地，所述運動下板的下表面的一側(cè)安裝了直線磁軸電機的磁軸動子，運動下板下表面的另一側(cè)安裝了光柵尺；運動下板下表面的兩側(cè)分別嵌入一個導(dǎo)軌副移動組件，所述導(dǎo)軌副移動組件與支撐底板上表面所安裝的導(dǎo)軌副固定組件分別組成一對相互平行的滾動/滑動導(dǎo)軌副。

優(yōu)選地，所述運動上板的下表面一側(cè)安裝了直線磁軸電機的磁軸動子，運動上板的下表面另一側(cè)安裝了光柵尺；運動上板下表面的兩側(cè)分別嵌入一個導(dǎo)軌副移動組件，所述導(dǎo)軌副移動組件與運動下板上表面所安裝的導(dǎo)軌副固定組件組成一對相互平行的滾動/滑動導(dǎo)軌副。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型具有如下的有益效果：

1、本實用新型提供的高精度電動掃描臺采用直線電機驅(qū)動，克服了步進(jìn)電機的高低速性能缺陷，采用光柵尺全閉環(huán)反饋方式解決了絲杠傳動精度低的問題，采用鑲嵌式緊湊設(shè)計使得掃描臺的結(jié)構(gòu)更加合理緊湊。

2、本實用新型提供的高精度電動掃描臺能夠響應(yīng)速度快、定位精度高，低速性能好，可用于工業(yè)視覺檢測掃描臺、顯微鏡掃描載物臺等自動控制，尤其適用于高分辨率全自動數(shù)字顯微鏡。

附圖說明

通過閱讀參照以下附圖對非限制性實施例所作的詳細(xì)描述，本實用新型的其它特征、目的和優(yōu)點將會變得更明顯：

圖1為本實用新型提供的電動掃描臺示意圖；

圖中：

1-支撐底板；

2-運動下板；

3-運動上板；

4-滾動/滑動導(dǎo)軌副；

5-電纜接插件。

具體實施方式

下面結(jié)合具體實施例對本實用新型進(jìn)行詳細(xì)說明。以下實施例將有助于本領(lǐng)域的技術(shù)人員進(jìn)一步理解本實用新型，但不以任何形式限制本實用新型。應(yīng)當(dāng)指出的是，對本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實用新型構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變化和改進(jìn)。這些都屬于本實用新型的保護(hù)范圍。

根據(jù)本實用新型提供的高精度電動掃描臺，包括：支撐底板1、運動下板2、運動上板3以及直線磁軸電機，所述運動下板2設(shè)置在支撐底板1上，所述運動上板3位于運動下板2上，所述運動下板2和運動上板3分別與一直線磁軸電機相連；且所述支撐底板1上表面與運動下板2下表面之間，以及運動下板2上表面與運動上板3下表面之間分別設(shè)置有匹配的滾動/滑動導(dǎo)軌副4。

所述滾動/滑動導(dǎo)軌副4為層疊鑲嵌結(jié)構(gòu)包括：滾珠導(dǎo)軌和滾珠導(dǎo)軌滑塊，具體地，

支撐底板1的上表面設(shè)置有滾珠導(dǎo)軌或者滾珠導(dǎo)軌滑塊，則運動下板2的下表面設(shè)置有相匹配的滾珠導(dǎo)軌滑塊或者滾珠導(dǎo)軌；

運動下板2的上表面設(shè)置有滾珠導(dǎo)軌或者滾珠導(dǎo)軌滑塊，則運動上板3的下表面設(shè)置有相匹配的滾珠導(dǎo)軌滑塊或者滾珠導(dǎo)軌。

所述支撐底板1上表面、運動下板2下表面之間的滾珠導(dǎo)軌副4與運動下板2上表面、運動上板3下表面之間的滾動/滑動導(dǎo)軌副4的運動方向相互垂直。

高精度電動掃描臺還包括光柵讀頭和光柵尺，所述光柵尺分別設(shè)置在運動下板2和運動上板3的下表面的某一側(cè)，所述光柵讀頭設(shè)置在支撐底板1的上表面并且與兩個光柵尺相對應(yīng)的位置處。

高精度電動掃描臺還包括電纜接插件5，所述電纜接插件5設(shè)置在支撐底板1的某個側(cè)面上，并通過支撐底板1上的走線槽與直線磁軸電機、光柵讀頭以及限位開關(guān)相連。

高精度電動掃描臺還包括驅(qū)動器，所述驅(qū)動器通過電纜接插件5分別與直線磁軸電機、光柵尺以及限位開關(guān)相連。

所述運動下板2的下表面的一側(cè)安裝了直線磁軸電機的磁軸動子，運動下板2下表面的另一側(cè)安裝了光柵尺；運動下板2下表面的兩側(cè)分別嵌入一個滾珠導(dǎo)軌滑塊，所述滾珠導(dǎo)軌滑塊與支撐底板1上表面所安裝的滾珠導(dǎo)軌組成一對相互平行的滾動/滑動導(dǎo) 軌副4。

所述運動上板3的下表面一側(cè)安裝了直線磁軸電機的磁軸動子，運動上板3的下表面另一側(cè)安裝了光柵尺；運動上板3下表面的兩側(cè)分別嵌入一個滾珠導(dǎo)軌滑塊，所述滾珠導(dǎo)軌滑塊與運動下板2上表面所安裝的滾珠導(dǎo)軌組成一對相互平行的滾動/滑動導(dǎo)軌副4。

下面結(jié)合具體實施例對本實用新型的技術(shù)方案做更加詳細(xì)的說明。

如圖1所示，本實用新型提供的高精度電動掃描臺，包括：支撐底板1、運動下板2、運動上板3、滾動/滑動導(dǎo)軌副4、直線磁軸電機、光柵尺、限位開關(guān)、電纜接插件5、控制驅(qū)動器。

所述高精度電動掃描臺采用層疊鑲嵌式結(jié)構(gòu)，由支撐底板1、運動下板2和運動上板3嵌合而成。

所述高精度電動掃描臺通過兩個直線磁軸電機驅(qū)動運動上板3和運動下板2進(jìn)行兩軸運動，并利用光柵尺進(jìn)行全閉環(huán)反饋。

所述支撐底板1和運動下板2、運動上板3和運動下板2之間安裝有滾動/滑動導(dǎo)軌副4進(jìn)行運動支撐，直線磁軸電機進(jìn)行運動驅(qū)動，光柵尺及限位開關(guān)進(jìn)行定位和反饋。

所述直線磁軸電機、光柵尺和限位開關(guān)等通過電纜接插件與控制驅(qū)動器連接，并由控制驅(qū)動器進(jìn)行運動控制。

所述支撐底板1上表面一側(cè)安裝了直線磁軸電機的定子，另一側(cè)安裝了光柵尺讀頭；兩側(cè)分別嵌入安裝了一條滾珠導(dǎo)軌；端面安裝了用于與外界通信的電纜接插件5。

所述電纜接插件5通過走線槽連接直線電機定子和光柵尺讀頭，電機驅(qū)動線和信號線分別處于兩個不同的電纜接插件。

所述運動下板2的下表面一側(cè)安裝了直線磁軸電機的磁軸動子，另一側(cè)安裝了光柵尺；兩側(cè)分別嵌入安裝了一個滾珠導(dǎo)軌滑塊，并與支撐底板1上表面所安裝的滾珠導(dǎo)軌組成一對相互平行的直線滾珠導(dǎo)軌副。

所述運動下板2的上表面一側(cè)安裝了直線磁軸電機的定子，另一側(cè)安裝了光柵尺讀頭；運動下板2的上表面兩側(cè)分別嵌入安裝了一條滾珠導(dǎo)軌，運動下板2的下表面也兩側(cè)分別嵌入安裝了一條滾珠導(dǎo)軌，并且運動下板2上表面和下表面滾珠導(dǎo)軌延伸方向相互垂直。

所述運動下板2的上表面或者下表面設(shè)置有走線槽，使得運動下板2上表面所安裝的直線磁軸電機的定子或者光柵尺讀頭能夠與支撐底板1上的電纜接插件導(dǎo)線連接。

所述運動上板3的下表面一側(cè)安裝了直線磁軸電機的磁軸動子，運動上板3的下表面另一側(cè)安裝了光柵尺；運動上板3的下表面兩側(cè)分別嵌入安裝了一個滾珠導(dǎo)軌滑塊，并與運動下板2上表面所安裝的滾珠導(dǎo)軌組成一對相互平行的滾動/滑動導(dǎo)軌副4。

以上對本實用新型的具體實施例進(jìn)行了描述。需要理解的是，本實用新型并不局限于上述特定實施方式，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以在權(quán)利要求的范圍內(nèi)做出各種變化或修改，這并不影響本實用新型的實質(zhì)內(nèi)容。在不沖突的情況下，本申請的實施例和實施例中的特征可以任意相互組合。