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一種擴(kuò)散硅式壓力傳感器用微小應(yīng)力焊接結(jié)構(gòu)的制作方法

文檔序號(hào):12114381閱讀:來源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種擴(kuò)散硅式壓力傳感器用微小應(yīng)力焊接結(jié)構(gòu),其特征在于,包括有:

擴(kuò)散硅式壓力傳感器,所述擴(kuò)散硅式壓力傳感器的側(cè)邊上設(shè)置有橫向的第一內(nèi)凹槽,所述擴(kuò)散硅式壓力傳感器的底端設(shè)置有傳感器膜片,所述擴(kuò)散硅式壓力傳感器的頂端設(shè)置有后端殼體,所述后端殼體的四周側(cè)邊形成焊接位,所述擴(kuò)散硅式壓力傳感器上還設(shè)置有信號(hào)引線,所述信號(hào)引線穿過后端殼體向外延伸;

傳感器安裝接頭,所述傳感器安裝接頭的頂部設(shè)置有匹配于擴(kuò)散硅式壓力傳感器的第二內(nèi)凹槽,傳感器安裝接頭內(nèi)還設(shè)置有沿豎直方向延伸的通孔,所述通孔連通第二內(nèi)凹槽的底端與外界,傳感器安裝接頭的底端形成連接待測(cè)結(jié)構(gòu)的接口端。

2.如權(quán)利要求1所述的擴(kuò)散硅式壓力傳感器用微小應(yīng)力焊接結(jié)構(gòu),其特征在于,所述接口端的端面上設(shè)置有用于設(shè)置密封圈的第三內(nèi)凹槽。

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