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一種單芯片磁電阻電流傳感器的制作方法

文檔序號:12116016閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種單芯片磁電阻電流傳感器,包括襯底(502,702)、磁電阻、焊盤(503,504,703,704)、集成電流線圈(501,701)和鍵合引線,所述集成電流線圈集成在所述襯底上,其特征在于:所述磁電阻包括至少兩個(gè)磁電阻橋臂,每個(gè)磁電阻橋臂由磁電阻單元串構(gòu)成,所述磁電阻單元串包括一個(gè)磁電阻單元(101)或者多個(gè)串聯(lián)的磁電阻單元(101),其中磁電阻同一側(cè)端口處的一個(gè)磁電阻橋臂的磁電阻單元串與另一個(gè)磁電阻橋臂的磁電阻單元串交替排列,所有磁電阻橋臂的靈敏方向相同,所述集成電流線圈在磁電阻橋臂處產(chǎn)生的磁場平行于磁電阻橋臂的靈敏方向,且所述集成電流線圈在磁電阻橋臂處產(chǎn)生的磁場的方向與磁電阻橋臂的靈敏方向相同或相反。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單芯片磁電阻電流傳感器,其特征在于:所述磁電阻單元(101)包括依次沉積的底部電極層、種子層(102)、釘扎層(103)、被釘扎層(104)、隔離層(106)、自由層(107)、偏置層(109)和頂部電極層。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種單芯片磁電阻電流傳感器,其特征在于:所述隔離層(106)為非磁性導(dǎo)體層或者非磁性絕緣體層,所述自由層(107)為高磁導(dǎo)率材料層。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種單芯片磁電阻電流傳感器,其特征在于:所述偏置層(109)的偏置磁場在所述自由層(107)的磁場方向垂直于所述被釘扎層(104)的磁化方向。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單芯片磁電阻電流傳感器,其特征在于:所述集成電流線圈為導(dǎo)電線圈。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單芯片磁電阻電流傳感器,其特征在于:所述磁電阻為半橋結(jié)構(gòu),所述磁電阻橋臂為兩個(gè),所述集成電流線圈產(chǎn)生的磁場在兩個(gè)所述的磁電阻橋臂處的方向相反。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單芯片磁電阻電流傳感器,其特征在于:所述磁電阻為全橋結(jié)構(gòu),所述磁電阻橋臂為四個(gè),所述集成電流線圈產(chǎn)生的磁場在其中兩個(gè)磁電阻橋臂處的方向與在另兩個(gè)磁電阻橋臂處的方向相反。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單芯片磁電阻電流傳感器,其特征在于:所述集成電流線圈位于所述磁電阻單元(101)的正上方或者正下方。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單芯片磁電阻電流傳感器,其特征在于:所述集成電流線圈具有兩個(gè)端子,每個(gè)端子具有一個(gè)或多個(gè)并聯(lián)連接的焊盤。

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