技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種平面等厚干涉數(shù)顯測量裝置及測量平晶平面度的方法。平面等厚干涉數(shù)顯測量裝置主要包括圖像采集與傳輸、圖像識別與處理、數(shù)據(jù)采集與處理三個(gè)模塊。通過CCD圖像傳感器采集光波干涉條紋圖像信息并通過計(jì)算機(jī)圖像與數(shù)據(jù)處理技術(shù)，直接顯示平面度測量值，有效減小多項(xiàng)誤差源，提高測量效率和測量結(jié)果的準(zhǔn)確度。采用該測量裝置測量平晶平面度，通過計(jì)算機(jī)圖像與數(shù)據(jù)處理程序軟件，優(yōu)化原有測量過程，提高測量過程和數(shù)據(jù)處理的自動(dòng)化程度，有效解決了原有測量方法中的缺陷和技術(shù)難題。本測量裝置成本低廉，硬件安裝及圖像調(diào)焦簡捷快速，顯著減輕人員工作強(qiáng)度，且具有普遍的適用性。

技術(shù)研發(fā)人員：高宇海
受保護(hù)的技術(shù)使用者：甘肅省計(jì)量研究院
文檔號碼：201611167545
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.16
技術(shù)公布日：2017.03.22