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一種用于光學(xué)元件反射率/透過率測量的綜合測量裝置的制作方法

文檔序號(hào):12266547閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種用于光學(xué)元件反射率/透過率測量的綜合測量裝置,其中:激光光源分束成兩束激光,一束激光耦合進(jìn)入到穩(wěn)定的光學(xué)諧振腔,采用光腔衰蕩技術(shù)測量高反射光學(xué)元件(反射率大于99%)的反射率或高透射光學(xué)元件(透過率大于99%)的透過率;另一束激光進(jìn)入分光光度法測量光路,利用比率法測量反射/透射光學(xué)元件(反射率/透過率小于99%)的反射率/透過率。本發(fā)明方法能測量反射/透射光學(xué)元件任意的反射率/透過率,并對(duì)高反射率/透過率測量的測量精度比傳統(tǒng)分光光度技術(shù)高至少2個(gè)數(shù)量級(jí)。

技術(shù)研發(fā)人員:李斌成;崔浩;王靜
受保護(hù)的技術(shù)使用者:電子科技大學(xué)
文檔號(hào)碼:201610973144
技術(shù)研發(fā)日:2016.11.04
技術(shù)公布日:2017.02.22

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