技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供具有以往之上的高精度和長期可靠性的力學量測量裝置及使用其的壓力傳感器。在一個半導體基板(1)的主表面上具有由雜質(zhì)擴散電阻體構(gòu)成的第一惠斯通電橋(A)并利用第一惠斯通電橋(A)檢測半導體基板(1)的主表面上正交的x軸方向產(chǎn)生的應(yīng)變量與y軸方向產(chǎn)生的應(yīng)變量的差的力學量測量裝置中，在半導體基板(1)的主表面上具有檢測x軸方向的應(yīng)變量的第二惠斯通電橋(B)和檢測y軸方向的應(yīng)變量的第三惠斯通電橋(C)。

技術(shù)研發(fā)人員：宮嶋健太郎
受保護的技術(shù)使用者：日立汽車系統(tǒng)株式會社
文檔號碼：201580030863
技術(shù)研發(fā)日：2015.06.01
技術(shù)公布日：2017.02.22