一種線切機(jī)主輥全方位檢測(cè)輔助裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種線切機(jī)主輥全方位檢測(cè)輔助裝置，包括支撐座，支撐座通過(guò)豎向轉(zhuǎn)軸與上方的主輥支撐座轉(zhuǎn)動(dòng)連接，主輥支撐座包括底面中部與豎向轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)連接的水平底板，水平底板的兩端上方對(duì)稱設(shè)有豎向支撐板，豎向支撐板上端中部設(shè)有凹槽，兩個(gè)凹槽的底部高度相同，兩個(gè)凹槽內(nèi)放置主輥連接軸，支撐座的一角設(shè)有光孔，在水平底板對(duì)角各設(shè)有一個(gè)與支撐座上光孔相對(duì)應(yīng)的光孔，在支撐座與水平底板相對(duì)應(yīng)的位置設(shè)有豎向軸孔，豎向軸孔內(nèi)插配固定軸。本實(shí)用新型具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、操作方便、測(cè)量精度高等特點(diǎn)。可以在主輥表面不發(fā)生相對(duì)摩擦運(yùn)動(dòng)，一次安裝到位后完成所有點(diǎn)的槽距與槽深的測(cè)量。
【專利說(shuō)明】一種線切機(jī)主輥全方位檢測(cè)輔助裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種線切機(jī)主輥全方位檢測(cè)輔助裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]線切主輥是線切機(jī)的重要部件之一，線切機(jī)是在兩個(gè)相同尺寸主輥表面織成均勻的線網(wǎng)，通過(guò)線網(wǎng)往復(fù)運(yùn)動(dòng)完成硅片的切割加工。其中線網(wǎng)的精度完全由主輥槽距與槽深保證。
[0003]目前對(duì)主輥槽距、槽深的檢測(cè)都是直接將主輥放置的輪廓儀工作臺(tái)面上，只測(cè)量主輥的一端的一點(diǎn)，操作比較方便。為了保證主輥精度，客戶已經(jīng)開始要求開槽后對(duì)主輥兩端的槽距與槽深分別進(jìn)行測(cè)量，并且每端測(cè)量2-3個(gè)點(diǎn)。這就要求主輥在工作臺(tái)面上進(jìn)行原地滾動(dòng)與翻轉(zhuǎn)動(dòng)作。直接在工作臺(tái)面上滾動(dòng)主輥容易產(chǎn)生壓痕，且原地滾動(dòng)比較費(fèi)勁不容易操作，轉(zhuǎn)動(dòng)只能卸下工件進(jìn)行二次裝夾，操作不方便。因此，如何無(wú)損傷、快速的將主輥進(jìn)行滾動(dòng)與翻轉(zhuǎn)成為亟待解決的問(wèn)題。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0004]本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種線切機(jī)主輥全方位檢測(cè)輔助裝置，它具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、操作方便、測(cè)量精度高等特點(diǎn)?？梢栽谥鬏伇砻娌话l(fā)生相對(duì)摩擦運(yùn)動(dòng)，一次安裝到位后完成所有點(diǎn)的槽距與槽深的測(cè)量。
[0005]為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型所采取的技術(shù)方案是:
[0006]一種線切機(jī)主輥全方位檢測(cè)輔助裝置，包括支撐座，支撐座通過(guò)豎向轉(zhuǎn)軸與上方的主輥支撐座轉(zhuǎn)動(dòng)連接，主輥支撐座包括底面中部與豎向轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)連接的水平底板，水平底板的兩端上方對(duì)稱設(shè)有豎向支撐板，豎向支撐板上端中部設(shè)有凹槽，兩個(gè)凹槽的底部高度相同，兩個(gè)凹槽內(nèi)放置主輥連接軸，支撐座的一角設(shè)有光孔，在水平底板對(duì)角各設(shè)有一個(gè)與支撐座上光孔相對(duì)應(yīng)的光孔，在支撐座與水平底板相對(duì)應(yīng)的位置設(shè)有豎向軸孔，豎向軸孔內(nèi)插配固定軸。
[0007]本實(shí)用新型進(jìn)一步改進(jìn)在于:
[0008]轉(zhuǎn)軸的兩端對(duì)稱設(shè)有輔助支撐柱，輔助支撐柱底部與支撐座固定。
[0009]水平底板上方設(shè)有豎向手柄。
[0010]支撐座優(yōu)選矩形板。
[0011]采用上述技術(shù)方案所產(chǎn)生的有益效果在于:
[0012]本實(shí)用新型包括支撐座，支撐座通過(guò)豎向轉(zhuǎn)軸與上方的主輥支撐座轉(zhuǎn)動(dòng)連接，可使主輥相對(duì)于支撐座水平轉(zhuǎn)動(dòng)，主輥支撐座包括底面中部與豎向轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)連接的水平底板，水平底板的兩端上方對(duì)稱設(shè)有豎向支撐板，豎向支撐板上端中部設(shè)有凹槽，兩個(gè)凹槽的底部高度相同，兩個(gè)凹槽內(nèi)放置主輥連接軸，可是安裝在主輥連接軸上的主輥保持水平位置，即使主輥側(cè)面為垂面，支撐座的一角設(shè)有光孔，以便于配合輪廓儀工作臺(tái)進(jìn)行檢測(cè)，在水平底板對(duì)角各設(shè)有一個(gè)與支撐座上光孔相對(duì)應(yīng)的光孔，以滿足對(duì)主輥兩端進(jìn)行檢測(cè)時(shí)對(duì)光線通道的要求，在支撐座與水平底板相對(duì)應(yīng)的位置設(shè)有豎向軸孔，豎向軸孔內(nèi)插配固定軸，以便檢測(cè)時(shí)對(duì)主輥進(jìn)行位置固定；轉(zhuǎn)軸的兩端對(duì)稱設(shè)有輔助支撐柱，輔助支撐柱底部與支撐座固定，使支撐座對(duì)主輥的支撐更加穩(wěn)定，水平底板上方設(shè)有豎向手柄，便于對(duì)主輥兩端面進(jìn)行檢測(cè)時(shí)的轉(zhuǎn)動(dòng)；本實(shí)用新型具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、操作方便、測(cè)量精度高等特點(diǎn)，可以在主輥表面不發(fā)生相對(duì)摩擦運(yùn)動(dòng)，一次安裝到位后完成所有點(diǎn)的槽距與槽深的測(cè)量。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0013]圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0014]在附圖中:1、矩形板；2、豎向轉(zhuǎn)軸；3、固定軸；4、水平底板；5、主輥連接軸；6、輔助支撐柱；7、豎向手柄；8、豎向支撐板。

【具體實(shí)施方式】
[0015]下面將結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。
[0016]由圖1所示的實(shí)施例可知，本實(shí)施例包括矩形板1，矩形板I通過(guò)豎向轉(zhuǎn)軸2與上方的主輥支撐座轉(zhuǎn)動(dòng)連接，可使主輥相對(duì)于支撐座水平轉(zhuǎn)動(dòng)，主輥支撐座包括底面中部與豎向轉(zhuǎn)軸2轉(zhuǎn)動(dòng)連接的水平底板4，水平底板4的兩端上方對(duì)稱設(shè)有豎向支撐板8，豎向支撐板8上端中部設(shè)有凹槽，兩個(gè)凹槽的底部高度相同，兩個(gè)凹槽內(nèi)放置主輥連接軸5，可是安裝在主輥連接軸上的主輥保持水平位置，即使主輥側(cè)面為垂面，水平底板4上方還設(shè)有豎向手柄7 ;矩形板I的一角設(shè)有光孔，以便于配合輪廓儀工作臺(tái)進(jìn)行檢測(cè)，在水平底板4對(duì)角各設(shè)有一個(gè)與矩形板I上光孔相對(duì)應(yīng)的光孔，在矩形板I與水平底板4相對(duì)應(yīng)的位置設(shè)有豎向軸孔，豎向軸孔內(nèi)插配固定軸3，以便檢測(cè)時(shí)對(duì)主輥進(jìn)行位置固定；轉(zhuǎn)軸2的兩端對(duì)稱設(shè)有輔助支撐柱6，輔助支撐柱6底部與矩形板I固定，使支撐座對(duì)主輥的支撐更加穩(wěn)定。
[0017]使用方法:
[0018]將本裝置固定在輪廓儀工作臺(tái)面，測(cè)量光線通道穿過(guò)矩形板I上光孔，將水平底板4旋轉(zhuǎn)，使水平底板4上的光孔與矩形板I上光孔對(duì)正，之后通過(guò)固定軸3定位，然后通過(guò)旋轉(zhuǎn)主輥進(jìn)行本端面的多點(diǎn)測(cè)量，之后旋轉(zhuǎn)水平底板4，重復(fù)上述動(dòng)作，進(jìn)行主輥另一端面的多點(diǎn)測(cè)量。
【權(quán)利要求】
1.一種線切機(jī)主輥全方位檢測(cè)輔助裝置，其特征在于:包括支撐座，所述支撐座通過(guò)豎向轉(zhuǎn)軸(2)與上方的主輥支撐座轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述主輥支撐座包括底面中部與豎向轉(zhuǎn)軸(2)轉(zhuǎn)動(dòng)連接的水平底板(4)，所述水平底板(4)的兩端上方對(duì)稱設(shè)有豎向支撐板(8)，所述豎向支撐板(8)上端中部設(shè)有凹槽，所述兩個(gè)凹槽的底部高度相同，所述兩個(gè)凹槽內(nèi)放置主輥連接軸(5)，所述支撐座的一角設(shè)有光孔，在所述水平底板(4)對(duì)角各設(shè)有一個(gè)與所述支撐座上光孔相對(duì)應(yīng)的光孔，在所述支撐座與所述水平底板(4)相對(duì)應(yīng)的位置設(shè)有豎向軸孔，所述豎向軸孔內(nèi)插配固定軸(3)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種線切機(jī)主輥全方位檢測(cè)輔助裝置，其特征在于:所述轉(zhuǎn)軸(2)的兩端對(duì)稱設(shè)有輔助支撐柱￠)，所述輔助支撐柱(6)底部與支撐座固定。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種線切機(jī)主輥全方位檢測(cè)輔助裝置，其特征在于:所述水平底板(4)上方設(shè)有豎向手柄(7)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種線切機(jī)主輥全方位檢測(cè)輔助裝置，其特征在于:所述支撐座為矩形板(I)。
【文檔編號(hào)】G01B11/22GK204165522SQ201420593243
【公開日】2015年2月18日 申請(qǐng)日期:2014年10月15日 優(yōu)先權(quán)日:2014年10月15日
【發(fā)明者】邊志堅(jiān), 馬輝東, 武建剛, 王占強(qiáng) 申請(qǐng)人:河北晶龍陽(yáng)光設(shè)備有限公司