一種二維瓊斯矩陣參量的全息測量裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種二維瓊斯矩陣參量的全息測量裝置，包括互不相干的光源S1和S2，由S1和S2發(fā)出的兩束光先分別經過由兩個二維正交光柵CG1和CG2組成的衍射系統(tǒng)衍射后，再通過一個偏振分光鏡分別進入干涉系統(tǒng)的物波光路和參考光路；在物波光路中，通過低通濾波只保留從衍射系統(tǒng)出射的零級衍射光作為照明光入射到樣品上，形成包含樣品偏振信息的物光波；在參考光路中，利用四通道偏振空間濾波器進行濾波處理和偏振處理，只保留從衍射系統(tǒng)出射的四束一級衍射光作為參考光波；物光波與參考光波疊加，疊加光場由記錄系統(tǒng)記錄，得到四通道瓊斯矩陣全息圖。本實用新型測量效率高，只需要一步測量就能提取出待測樣品的復振幅空間分布。
【專利說明】一種二維瓊斯矩陣參量的全息測量裝置

【技術領域】
[0001] 本實用新型涉及一種二維瓊斯（Jones)矩陣參量的全息測量裝置。

【背景技術】
[0002] 當一束光通過偏振敏感材料后，除了振幅和相位會發(fā)生變化，它的偏振態(tài)也會發(fā) 生改變。一般情況下，透過偏振敏感材料的光場E° ut和入射光場Ein之間的關系可以表示為：

【權利要求】
1. 一種二維瓊斯矩陣參量的全息測量裝置，其特征是，包括光源系統(tǒng)、光柵衍射系統(tǒng)、 干涉系統(tǒng)、記錄系統(tǒng)和數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)；所述光源系統(tǒng)包括兩個互不相干的光源S1和S2,由 S1和S2發(fā)出的兩束光先分別經過由兩個二維正交光柵CG1和CG2組成的衍射系統(tǒng)衍射后， 再通過一個偏振分光鏡分別進入干涉系統(tǒng)的物波光路和參考光路；在物波光路中，通過低 通濾波只保留從衍射系統(tǒng)出射的零級衍射光作為照明光入射到樣品上，透過樣品后形成包 含樣品偏振信息的物光波；在參考光路中，利用一個四通道偏振空間濾波器進行濾波處理 和偏振處理，只保留從衍射系統(tǒng)出射的四束一級衍射光作為參考光波；物光波與參考光波 通過一個非偏振分光鏡在記錄平面疊加，疊加光場由記錄系統(tǒng)記錄，得到包含物光波的振 幅、相位和偏振信息的四通道瓊斯矩陣全息圖，利用數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)對記錄的全息圖進行數(shù) 據(jù)處理得到樣品的二維瓊斯矩陣全部四個矩陣參量的振幅和相位分布。
2. 如權利要求1所述的全息測量裝置，其特征是，所述干涉系統(tǒng)，為馬赫-曾德干涉系 統(tǒng)，包括一個入射偏振分光鏡、一個出射非偏振分光鏡、兩個反射鏡、稱合變換透鏡、低通空 間濾波器和四通道偏振空間濾波器；入射偏振分光鏡將進入干涉系統(tǒng)的光線分成兩組偏振 態(tài)正交的線偏振光分別入射到樣品光路和參考光路，出射非偏振分光鏡對形成的物光波和 參考光波進行匯聚出射。
3. 如權利要求1所述的全息測量裝置，其特征是，所述物波光路的照明光，包括通過兩 個二維正交光柵CG1和CG2形成的兩束零級衍射光，這兩束零級衍射光均為線偏振光且偏 振方向互相垂直。
4. 如權利要求1所述的全息測量裝置，其特征是，所述四通道偏振空間濾波器的濾波 處理和偏振處理，是指先通過四通道偏振空間濾波器對進入?yún)⒖脊饴返墓膺M行濾波，只讓 通過兩個正交光柵形成的多束一級衍射光中的四束通過，其中兩束來自正交光柵CG1，另兩 束來自CG2 ;然后再通過四通道偏振空間濾波器所附的兩組與樣品光路中照明光的偏振分 量A1或A2分別成+45度角和一 45角的正交線偏振器使四束參考光變成兩兩正交的線偏 振光。
【文檔編號】G01J4/00GK204085698SQ201420552391
【公開日】2015年1月7日 申請日期:2014年9月24日 優(yōu)先權日:2014年9月24日
【發(fā)明者】國承山, 劉軒, 王本義, 謝一言 申請人:山東師范大學