一種電子槍檢測(cè)裝置制造方法
【專利摘要】一種電子槍檢測(cè)裝置，包括法蘭盤、托架、冷卻管、檢測(cè)基座、磁鐵、電極、導(dǎo)電鉑片、瓷棒；所述冷卻管為L(zhǎng)形，進(jìn)出冷卻液端口貫穿于所述法蘭盤，所述檢測(cè)基座設(shè)置于所述冷卻管上，冷卻管位于檢測(cè)基座上的部分向檢測(cè)基座外折彎；所述檢測(cè)基座為上部開(kāi)孔的中空結(jié)構(gòu)，在檢測(cè)基座與法蘭盤平行的兩端設(shè)置有磁鐵；在所述法蘭盤上設(shè)置有電極，所述托架固定于法蘭盤上，所述瓷棒固定于托架上，所述導(dǎo)電鉑片固定于瓷棒上。此種電子槍檢測(cè)的結(jié)構(gòu)，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，加入的冷卻系統(tǒng)，能極大的保證了電子槍在檢測(cè)時(shí)由高電壓引起的高溫對(duì)電子槍產(chǎn)生的影響，使數(shù)據(jù)結(jié)果準(zhǔn)確，確保了檢測(cè)技術(shù)的穩(wěn)定性。
【專利說(shuō)明】
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本設(shè)計(jì)涉及電子槍檢測(cè)裝置，屬于電子加速器【技術(shù)領(lǐng)域】。 -種電子槍檢測(cè)裝置

【背景技術(shù)】
[0002] 電子槍的不斷發(fā)展，對(duì)電子槍檢測(cè)技術(shù)提出了更高的要求。在電真空器件的檢測(cè) 技術(shù)中，電子槍檢測(cè)裝置一般結(jié)構(gòu)復(fù)雜，散熱效果不好，使數(shù)據(jù)結(jié)果不準(zhǔn)確，不能確保檢測(cè) 技術(shù)的穩(wěn)定性。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003] 針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，本設(shè)計(jì)的目的是提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、檢測(cè)結(jié)果穩(wěn)定的電子 槍檢測(cè)裝置。
[0004] 為實(shí)現(xiàn)上述目的，本設(shè)計(jì)是通過(guò)以下技術(shù)手段來(lái)實(shí)現(xiàn)的：
[0005] -種電子槍檢測(cè)裝置，其特征在于：包括法蘭盤、托架、冷卻管、檢測(cè)基座、磁鐵、電 極、導(dǎo)電鉬片、瓷棒；所述冷卻管為L(zhǎng)形，進(jìn)出冷卻液端口貫穿于所述法蘭盤，所述檢測(cè)基座 設(shè)置于所述冷卻管上，冷卻管位于檢測(cè)基座上的部分向檢測(cè)基座外折彎；所述檢測(cè)基座為 上部開(kāi)孔的中空結(jié)構(gòu)，在檢測(cè)基座內(nèi)設(shè)有放置電子槍的基板，基板上設(shè)有用于安裝電子槍 的螺紋孔，在檢測(cè)基座與法蘭盤平行的兩端設(shè)置有磁鐵；在所述法蘭盤上設(shè)置有電極，所述 托架固定于法蘭盤上，所述瓷棒固定于托架上，電子槍引出的導(dǎo)電鉬片固定于瓷棒上。
[0006] 優(yōu)選的，所述的一種電子槍檢測(cè)裝置，其特征在于：所述電極為四只，所述導(dǎo)電鉬 片為四只。
[0007] 優(yōu)選的，所述的一種電子槍檢測(cè)裝置，其特征在于：在所述法蘭盤的另一面設(shè)置有 把手。
[0008] 優(yōu)選的，所述的一種電子槍檢測(cè)裝置，其特征在于：所述把手為兩個(gè)。
[0009] 本發(fā)明的有益效果是：此種電子槍檢測(cè)的結(jié)構(gòu)，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，加入的冷卻系統(tǒng)，能極 大的保證了電子槍在檢測(cè)時(shí)由高電壓引起的高溫對(duì)電子槍產(chǎn)生的影響，使數(shù)據(jù)結(jié)果準(zhǔn)確， 確保了檢測(cè)技術(shù)的穩(wěn)定性。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0010] 圖1為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖，圖2為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖主視圖，圖3為圖2 的左視圖，圖4為檢測(cè)基座結(jié)構(gòu)不意圖。
[0011] 附圖標(biāo)號(hào)的含義如下：1法蘭盤，2冷卻管，3磁鐵，4檢測(cè)基座，5導(dǎo)電鉬片，6電極， 7把手，8托架，9瓷棒、10基板。

【具體實(shí)施方式】
[0012] 下面將結(jié)合說(shuō)明書(shū)附圖，對(duì)設(shè)計(jì)作進(jìn)一步的說(shuō)明。
[0013] 如圖1-3所示，一種電子槍檢測(cè)裝置，其特征在于：包括法蘭盤1、托架8、冷卻管 2、檢測(cè)基座4、磁鐵3、電極6、導(dǎo)電鉬片5、瓷棒9 ;所述冷卻管2為L(zhǎng)形，進(jìn)出冷卻液端口貫 穿于所述法蘭盤1，所述檢測(cè)基座4設(shè)置于所述冷卻管2上，冷卻管2位于檢測(cè)基座4上的 部分向檢測(cè)基座4外折彎；所述檢測(cè)基座4為上部開(kāi)孔的中空結(jié)構(gòu)，在檢測(cè)基座4內(nèi)設(shè)有放 置電子槍的基板10,基板10上設(shè)有用于安裝電子槍的螺紋孔，在檢測(cè)基座4與法蘭盤1平 行的兩端設(shè)置有磁鐵3 ;在所述法蘭盤1上設(shè)置有電極6,所述托架8固定于法蘭盤1上，所 述瓷棒9固定于托架8上，電子槍引出的導(dǎo)電鉬片5固定于瓷棒9上。
[0014] 檢測(cè)時(shí)，在基板10的螺紋孔上安裝好電子槍，電極6通過(guò)導(dǎo)電鉬片5將外部電壓 加載到被檢測(cè)的電子槍上，使電子槍正常工作；冷卻管2,通過(guò)加入冷卻液，使檢測(cè)裝置溫 度保持穩(wěn)定；磁鐵3的作用是使電子束聚焦沿磁力線直線通過(guò)，保障電子槍檢測(cè)裝置的正 常工作和檢測(cè)。
[0015] 然后，將電子槍檢測(cè)裝置放置于真空腔體中，通過(guò)密封圈將其密封，考慮到電子束 經(jīng)過(guò)時(shí)有較大的熱量，此檢測(cè)裝置設(shè)計(jì)了冷卻水管，為了便于從真空腔體外面觀察電子束 情況，將冷卻水管圓弧處折彎。
[0016] 優(yōu)選的，所述的一種電子槍檢測(cè)裝置，其特征在于：所述電極6為四只，所述導(dǎo)電 鉬片5為四只。
[0017] 根據(jù)電子槍結(jié)構(gòu)圖，法蘭上開(kāi)四個(gè)電極孔，其中三個(gè)即時(shí)利用，還有一個(gè)備用。相 應(yīng)的，設(shè)置有四個(gè)導(dǎo)電鉬片。
[0018] 優(yōu)選的，所述的一種電子槍檢測(cè)裝置，其特征在于：在所述法蘭盤1的另一面設(shè)置 有把手7。
[0019] 法蘭上裝配兩個(gè)把手便于安裝和提攜。
[0020] 優(yōu)選的，所述的一種電子槍檢測(cè)裝置，其特征在于：所述把手7為兩個(gè)。
[0021] 以上顯示和描述了本設(shè)計(jì)的基本原理、主要特征及優(yōu)點(diǎn)。本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該 了解，本設(shè)計(jì)不受上述實(shí)施例的限制，上述實(shí)施例和說(shuō)明書(shū)中描述的只是說(shuō)明本設(shè)計(jì)的原 理，在不脫離本設(shè)計(jì)精神和范圍的前提下，本設(shè)計(jì)還會(huì)有各種變化和改進(jìn)，這些變化和改進(jìn) 都落入要求保護(hù)的本設(shè)計(jì)范圍內(nèi)。本設(shè)計(jì)要求保護(hù)范圍由所附的權(quán)利要求書(shū)及其等效物界 定。
【權(quán)利要求】
1. 一種電子槍檢測(cè)裝置，其特征在于：包括法蘭盤、托架、冷卻管、檢測(cè)基座、磁鐵、電 極、導(dǎo)電鉬片、瓷棒；所述冷卻管為L(zhǎng)形，進(jìn)出冷卻液端口貫穿于所述法蘭盤，所述檢測(cè)基座 設(shè)置于所述冷卻管上，冷卻管位于檢測(cè)基座上的部分向檢測(cè)基座外折彎；所述檢測(cè)基座為 上部開(kāi)孔的中空結(jié)構(gòu)，在檢測(cè)基座內(nèi)設(shè)有放置電子槍的基板，基板上設(shè)有用于安裝電子槍 的螺紋孔，在檢測(cè)基座與法蘭盤平行的兩端設(shè)置有磁鐵；在所述法蘭盤上設(shè)置有電極，所述 托架固定于法蘭盤上，所述瓷棒固定于托架上，電子槍引出的導(dǎo)電鉬片固定于瓷棒上。
2. 如權(quán)利要求1所述的一種電子槍檢測(cè)裝置，其特征在于：所述電極為四只，所述導(dǎo)電 鉬片為四只。
3. 如權(quán)利要求1所述的一種電子槍檢測(cè)裝置，其特征在于：在所述法蘭盤的另一面設(shè) 置有把手。
4. 如權(quán)利要求3所述的一種電子槍檢測(cè)裝置，其特征在于：所述把手為兩個(gè)。
【文檔編號(hào)】G01R31/00GK203909161SQ201420209691
【公開(kāi)日】2014年10月29日 申請(qǐng)日期:2014年4月28日 優(yōu)先權(quán)日:2014年4月28日
【發(fā)明者】吳華夏, 張建成, 席洪柱, 溫旭杰, 余鋒 申請(qǐng)人:安徽華東光電技術(shù)研究所