用于柔性屏的測試裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型提供一種用于柔性屏的測試裝置，其包括用于承載柔性屏的曲形承載面、用于對柔性屏進(jìn)行電學(xué)性能和可靠性測試的性能測試裝置及抽真空裝置，所述曲形承載面上設(shè)有與所述抽真空裝置相氣路連通的氣孔，所述抽真空裝置通過向所述氣孔抽氣將柔性屏固定在所述曲形承載面上。該用于柔性屏的測試裝置的曲形承載面與氣孔相配合能夠?qū)⑷嵝云炼ㄎ蛔?，且使柔性屏處于彎曲狀態(tài)，這樣性能測試裝置就可以對柔性屏彎曲狀態(tài)下的TFT器件的電學(xué)性能與可靠性進(jìn)行測試。
【專利說明】用于柔性屏的測試裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本實用新型涉及顯示器領(lǐng)域，特別是涉及一種用于柔性屏的測試裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]相較于傳統(tǒng)屏幕，柔性屏優(yōu)勢明顯。柔性屏不僅在體積上更加輕薄，功耗上也低于傳統(tǒng)顯示屏。因此傳統(tǒng)顯示屏有助于提升設(shè)備的續(xù)航能力。同時基于其可彎曲、柔韌性佳的特性，其耐用程度也大大高于傳統(tǒng)顯示屏，所以柔性屏能夠降低設(shè)備意外損傷的概率。柔性屏的成功量產(chǎn)不僅重大利好于新一代高端智能手機(jī)的制造，也因其低功耗、可彎曲的特性對可穿戴式設(shè)備的應(yīng)用帶來深遠(yuǎn)的影響，未來柔性屏將隨著個人智能終端的不斷滲透而得到廣泛應(yīng)用。
[0003]在柔性屏中，TFT(Thin Film Transistor,薄膜場效應(yīng)晶體管)器件的電學(xué)性能與可靠性成為影響柔性屏質(zhì)量的關(guān)鍵因素。因此，柔性屏需要采用高可靠性的TFT器件。并且，TFT器件需要在彎曲狀態(tài)下滿足電學(xué)性能要求與可靠性要求，而相應(yīng)的就需要與之對應(yīng)的測試設(shè)備來測試彎曲狀態(tài)下的TFT器件的電學(xué)性能與可靠性。
實用新型內(nèi)容
[0004]基于此，有必要提供一種用于柔性屏的測試裝置，其能夠測試柔性屏彎曲狀態(tài)下的TFT器件的電學(xué)性能與可靠性。
[0005]一種用于柔性屏的測試裝置，包括用于承載柔性屏的曲形承載面、用于對柔性屏進(jìn)行電學(xué)性能和可靠性測試的性能測試裝置、及抽真空裝置，所述曲形承載面上設(shè)有與所述抽真空裝置相氣路連通的氣孔，所述抽真空裝置通過向所述氣孔抽氣將柔性屏固定在所述曲形承載面上。
[0006]在其中一個實施例中，所述曲形承載面下方連接有承載壁，所述承載壁與所述曲形承載面圍成一個腔體，所述抽真空裝置與所述腔體相氣路連通。
[0007]在其中一個實施例中，所述曲形承載面的弧形凸起向腔體內(nèi)部凸起。
[0008]在其中一個實施例中，所述曲形承載面的弧形凸起向腔體外部凸起。
[0009]在其中一個實施例中，所述曲形承載面上設(shè)有用于定位柔性屏的弧形凹槽，所述氣孔設(shè)置于所述弧形凹槽中。
[0010]在其中一個實施例中，所述性能測試裝置為探針測試平臺。
[0011]在其中一個實施例中，所述用于柔性屏的測試裝置還包括承載所述曲形承載面和承載壁的基板，所述承載壁固定于所述基板上。
[0012]在其中一個實施例中，所述探針測試平臺包括承載所述曲形承載面的承載臺，所述承載臺上設(shè)有將承載所述曲形承載面和承載壁的基板吸附于承載臺上的吸附裝置。
[0013]在其中一個實施例中，所述用于柔性屏的測試裝置還包括對所述承載壁與所述曲形承載面圍成的腔體進(jìn)行溫度控制的溫控裝置。
[0014]在其中一個實施例中，所述用于柔性屏的測試裝置還包括計時裝置。[0015]上述用于柔性屏的測試裝置的曲形承載面與氣孔相配合能夠?qū)⑷嵝云炼ㄎ蛔?，且使柔性屏處于彎曲狀態(tài)，這樣性能測試裝置就可以對柔性屏彎曲狀態(tài)下的TFT器件的電學(xué)性能與可靠性進(jìn)行測試。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0016]圖1為本實用新型一個實施例的用于柔性屏的測試裝置的示意圖；
[0017]圖2為本實用新型另一個實施例的用于柔性屏的測試裝置的示意圖。
具體實施例
[0018]實施例1
[0019]請參考圖1，本實用新型的實施例1提供一種用于柔性屏的測試裝置100。該用于柔性屏的測試裝置100包括用于承載柔性屏300的曲形承載面110、用于對柔性屏300進(jìn)行電學(xué)性能和可靠性測試的性能測試裝置130及抽真空裝置120。曲形承載面110上設(shè)有與抽真空裝置120相氣路連通的氣孔112，抽真空裝置120通過向氣孔112抽氣將柔性屏300固定在曲形承載面110上。
[0020]該用于柔性屏的測試裝置100的曲形承載面110下方連接有承載壁114。承載壁114與曲形承載面110圍成一個腔體。抽真空裝置120通過真空管118與腔體相氣路連通。這樣，當(dāng)該用于柔性屏的測試裝置100放置在一個平臺上時，承載壁114與曲形承載面110圍成的腔體將只有氣孔112可以與外界連通。抽真空裝置120通過真空管118對腔體進(jìn)行抽氣時，氣流由氣孔112流入腔體內(nèi)部。如果氣孔112處放置有柔性屏300，柔性屏300將會被吸附在曲形承載面110上。這樣，由于曲形承載面110具有弧形表面，柔性屏300也就為彎曲狀態(tài)。柔性屏300也就是呈彎曲狀態(tài)固定在曲形承載面110上。TFT器件設(shè)置于柔性屏300上，性能測試裝置130也就可以對柔性屏300進(jìn)行彎曲狀態(tài)下的TFT器件的電學(xué)性能與可靠性進(jìn)行測試。
[0021]此處，該用于柔性屏的測試裝置100所放置的平臺為基板160?；?60可以為金屬材質(zhì)或者玻璃材質(zhì)?；?60上可以設(shè)有限位裝置以方便承載和固定曲形承載面110和承載壁114。在該實施例中，性能測試裝置130為固定于與承載壁114上的測試組件。在其它實施例中，性能測試裝置130也可以為探針測試平臺。探針測試平臺可以包括承載曲形承載面110的承載臺，探針測試平臺的承載臺上設(shè)有將承載曲形承載面110和承載壁114的基板160吸附于承載臺上的吸附裝置。這樣可以方便探針測試平臺對柔性屏300進(jìn)行電學(xué)性能與可靠性測試。
[0022]為了使本實用新型的用于柔性屏的測試裝置100在對柔性屏300進(jìn)行測試時溫度控制更加合理，時間控制更加精確。該用于柔性屏的測試裝置100還包括對承載壁114與曲形承載面110圍成的腔體進(jìn)行溫度控制的溫控裝置140及計時裝置150。
[0023]另外，從圖1中可以看出該用于柔性屏的測試裝置100的曲形承載面110的弧形凸起向承載壁114與曲形承載面110圍成的腔體的內(nèi)部凸起。也就是說，該用于柔性屏的測試裝置100的曲形承載面110承載柔性屏300的一面為一個凹面。
[0024]該用于柔性屏的測試裝置100的曲形承載面110上設(shè)有用于定位柔性屏300的弧形凹槽111?；⌒伟疾?11中也設(shè)置有氣孔112。弧形凹槽111的數(shù)量可以根據(jù)需要進(jìn)行設(shè)計?；⌒伟疾?11的形狀與大小與需要固定的柔性屏300的形狀與大小相當(dāng)?；⌒伟疾?11的存在有利于將柔性屏300固定在指定的位置，從而方便對柔性屏300進(jìn)行測試。
[0025]該用于柔性屏的測試裝置100在對柔性屏300進(jìn)行測試時，柔性屏300會被放置于曲形承載面110上，然后抽真空裝置120開始工作對承載壁114與曲形承載面110圍成的腔體進(jìn)行抽氣。這樣，柔性屏300就會被吸附在曲形承載面110上，從而實現(xiàn)了柔性屏300的固定。柔性屏300被固定好之后，性能測試裝置130就可以對柔性屏300進(jìn)行測試。此時可以根據(jù)需要打開溫控裝置140和計時裝置150以對柔性屏300在不同環(huán)境條件下(例如，不同溫度和不同時間)進(jìn)行測試。最終得到需要的測試結(jié)果。例如，柔性屏300上的TFT器件在彎曲狀態(tài)下的電學(xué)性能和可靠性，或者柔性屏300的其它性能。
[0026]實施例2
[0027]請參考圖2，本實用新型的實施例2提供一種用于柔性屏的測試裝置200。該用于柔性屏的測試裝置200與實施例1的用于柔性屏的測試裝置100相類似。該用于柔性屏的測試裝置200包括用于承載柔性屏的曲形承載面210、用于對柔性屏進(jìn)行電學(xué)性能和可靠性測試的性能測試裝置230及抽真空裝置220。曲形承載面210上設(shè)有與抽真空裝置220相氣路連通的氣孔212，抽真空裝置220通過向氣孔212抽氣將柔性屏固定在曲形承載面210 上。
[0028]該用于柔性屏的測試裝置200放置在基板260?；?60可以為金屬材質(zhì)或者玻璃材質(zhì)?；?60上可以設(shè)有限位裝置以方便承載和固定曲形承載面210和承載壁214。性能測試裝置230為探針測試平臺。
[0029]為了使本實用新型的用于柔性屏的測試裝置200在對柔性屏進(jìn)行測試時溫度控制更加合理，時間控制更加精確。該用于柔性屏的測試裝置200也包括對承載壁214與曲形承載面210圍成的腔體進(jìn)行溫度控制的溫控裝置240及計時裝置250。
[0030]該用于柔性屏的測試裝置200與實施例1中的用于柔性屏的測試裝置100的不同之處如下。本實施例中的用于柔性屏的測試裝置200的曲形承載面210的弧形凸起向承載壁214與曲形承載面210圍成的腔體的外部凸起。也就是說，該用于柔性屏的測試裝置100的曲形承載面110承載柔性屏300的一面為一個凸面。
[0031]該用于柔性屏的測試裝置200與實施例1中的用于柔性屏的測試裝置100的使用方法相同，在此不再贅述。
[0032]實施例1和實施例2僅列舉了用于柔性屏的測試裝置的曲形承載面的其中兩種形狀。本領(lǐng)域技術(shù)人員可以理解的是，本實用新型的用于柔性屏的測試裝置的曲形承載面也可以采用多個實施例1或?qū)嵤├?所示的曲面承載面相互連接在一起的形狀，或者采用實施例I和實施例2的曲面承載面組合在一起的曲面承載面。本實用新型不以此為限。
[0033]上述用于柔性屏的測試裝置的曲形承載面與氣孔相配合能夠?qū)⑷嵝云炼ㄎ蛔?，且使柔性屏處于彎曲狀態(tài)，這樣性能測試裝置就可以對柔性屏彎曲狀態(tài)下的TFT器件的電學(xué)性能與可靠性進(jìn)行測試。因此，上述用于柔性屏的測試裝置能夠測試柔性屏彎曲狀態(tài)下的TFT器件的電學(xué)性能與可靠性。
[0034]以上所述實施例僅表達(dá)了本實用新型的幾種實施例，其描述較為具體和詳細(xì)，但并不能因此而理解為對本實用新型專利范圍的限制。應(yīng)當(dāng)指出的是，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實用新型構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進(jìn)，這些都屬于本實用新型的保護(hù)范圍。因此，本實用新型專利的保護(hù)范圍應(yīng)以所附權(quán)利要求為準(zhǔn)。
【權(quán)利要求】
1.一種用于柔性屏的測試裝置，其特征在于，包括用于承載柔性屏的曲形承載面、用于對柔性屏進(jìn)行電學(xué)性能和可靠性測試的性能測試裝置、及抽真空裝置，所述曲形承載面上設(shè)有與所述抽真空裝置相氣路連通的氣孔，所述抽真空裝置通過向所述氣孔抽氣將柔性屏固定在所述曲形承載面上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于柔性屏的測試裝置，其特征在于，所述曲形承載面下方連接有承載壁，所述承載壁與所述曲形承載面圍成一個腔體，所述抽真空裝置與所述腔體相氣路連通。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于柔性屏的測試裝置，其特征在于，所述曲形承載面的弧形凸起向腔體內(nèi)部凸起。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于柔性屏的測試裝置，其特征在于，所述曲形承載面的弧形凸起向腔體外部凸起。
5.根據(jù)權(quán)利要求2至4中任一權(quán)利要求所述的用于柔性屏的測試裝置，其特征在于，所述曲形承載面上設(shè)有用于定位柔性屏的弧形凹槽，所述氣孔設(shè)置于所述弧形凹槽中。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的用于柔性屏的測試裝置，其特征在于，所述性能測試裝置為探針測試平臺。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于柔性屏的測試裝置，其特征在于，所述用于柔性屏的測試裝置還包括承載所述曲形承載面和承載壁的基板，所述承載壁固定于所述基板上。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于柔性屏的測試裝置，其特征在于，所述探針測試平臺包括承載所述曲形承載面的承載臺，所述承載臺上設(shè)有將承載所述曲形承載面和承載壁的基板吸附于承載臺上的吸附裝置。
9.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于柔性屏的測試裝置，其特征在于，所述用于柔性屏的測試裝置還包括對所述承載壁與所述曲形承載面圍成的腔體進(jìn)行溫度控制的溫控裝置。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于柔性屏的測試裝置，其特征在于，所述用于柔性屏的測試裝置還包括計時裝置。
【文檔編號】G01R31/26GK203629786SQ201320838160
【公開日】2014年6月4日 申請日期:2013年12月18日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月18日
【發(fā)明者】柳冬冬, 劉勝芳 申請人:昆山工研院新型平板顯示技術(shù)中心有限公司, 昆山國顯光電有限公司