一種共軛磁介質(zhì)電渦流傳感器的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種共軛磁介質(zhì)電渦流傳感器，用于單晶、多晶太陽能硅片的非接觸測(cè)試，獲得硅片的電導(dǎo)從而根據(jù)硅片厚度計(jì)算出體電阻率。包括：殼體；檢測(cè)部，所述檢測(cè)部包括E型鐵芯、采樣線圈、激勵(lì)線圈，所述采樣線圈和所述激勵(lì)線圈為同軸線圈，所述采樣線圈和所述激勵(lì)線圈的繞線分別繞卷在所述E型鐵芯的兩個(gè)槽中；線圈引線，用于分別將所述采樣線圈和所述激勵(lì)線圈的繞線端部從檢測(cè)部引出，所述線圈引線引出端由絕緣體灌封固定。本共軛磁介質(zhì)電渦流傳感器的適應(yīng)環(huán)境溫度、濕度范圍較寬，結(jié)構(gòu)剛度好、也適合在線型檢測(cè)場(chǎng)合的安裝應(yīng)用、工作穩(wěn)定、重復(fù)性好、使用壽命長(zhǎng)、造價(jià)低具有較高性能價(jià)格比等優(yōu)點(diǎn)。
【專利說明】一種共軛磁介質(zhì)電渦流傳感器

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本實(shí)用新型屬于傳感器領(lǐng)域，具體屬于硅片厚度測(cè)試的電渦流傳感器領(lǐng)域。

【背景技術(shù)】
[0002] 作為一種新型太陽能電池硅片的電阻率非接觸測(cè)試共軛磁介質(zhì)的電渦流傳感器 是基于電渦流測(cè)試技術(shù)中以保證固定其他變量函數(shù)不變的設(shè)計(jì)、制作和尺寸因子的確定， 使得導(dǎo)體電導(dǎo)成為測(cè)試中的單值變量函數(shù)的一種傳感器。
[0003] 現(xiàn)有的非接觸式測(cè)量的傳感器產(chǎn)生的渦流激勵(lì)的指向性、穿透力都不夠，具有測(cè) 量不精確的隱患。
[0004] 因此，亟需一種能增強(qiáng)渦流激勵(lì)的指向性、穿透力的共軛磁介質(zhì)電渦流傳感器。 實(shí)用新型內(nèi)容
[0005] 為了解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述問題，提供一種共軛磁介質(zhì)電渦流傳感器。
[0006] 本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案是：一種共軛磁介質(zhì)電渦流傳感器，用于單晶、多晶 太陽能硅片的非接觸測(cè)試，包括：殼體；檢測(cè)部，包括E型鐵芯、采樣線圈、激勵(lì)線圈，上述采 樣線圈和上述激勵(lì)線圈為同軸線圈，上述采樣線圈和上述激勵(lì)線圈的繞線分別繞卷在上述 E型鐵芯的兩個(gè)槽中；線圈引線，用于分別將上述采樣線圈和上述激勵(lì)線圈的繞線端部從 檢測(cè)部引出。
[0007] 優(yōu)選的，還包括屏蔽膜，上述屏蔽膜設(shè)于上述E型鐵芯開口端部。
[0008] 優(yōu)選的，上述E型鐵芯采用lJ79NiFe合金。
[0009] 優(yōu)選的，還包括用于上述激勵(lì)線圈接線的接線樁柱。
[0010] 優(yōu)選的，還包括用于固定上述接線樁柱和上述E型鐵芯的電木板。
[0011] 優(yōu)選的，上述殼體采用純鐵或者lJ79NiFe合金。
[0012] 優(yōu)選的，上述線圈引線引出端由絕緣體灌封固定，上述絕緣體為環(huán)氧樹脂。
[0013] 優(yōu)選的，還包括軸向的備用出線孔。
[0014] 優(yōu)選的，還包括用于安裝的螺紋孔。
[0015] 采用本技術(shù)方案的有益效果是：本裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，包括：殼體；檢測(cè)部，包括E型鐵 芯、采樣線圈、激勵(lì)線圈，所述采樣線圈和所述激勵(lì)線圈為同軸線圈，所述采樣線圈和所述 激勵(lì)線圈的繞線分別繞卷在所述E型鐵芯的兩個(gè)槽中；線圈引線，用于分別將所述采樣線 圈和所述激勵(lì)線圈的繞線端部從檢測(cè)部引出，所述線圈引線引出端由絕緣體灌封固定。能 形成共軛磁場(chǎng)，使得電渦流傳感器的共軛磁介質(zhì)結(jié)構(gòu)能有效增強(qiáng)渦流激勵(lì)和指向性、穿透 力。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0016] 為了使本實(shí)用新型的內(nèi)容更容易被清楚地理解，下面根據(jù)具體實(shí)施例并結(jié)合附 圖，對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說明，其中：圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例1的剖視面結(jié)構(gòu)示 意圖；
[0017] 圖2是本實(shí)用新型實(shí)施例1的測(cè)試面結(jié)構(gòu)示意圖；
[0018] 圖3是本實(shí)用新型實(shí)施例1的螺孔面結(jié)構(gòu)示意圖；
[0019] 圖4是本實(shí)用新型實(shí)施例1的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020] 圖中，1.殼體2.環(huán)氧樹脂灌封固定部3.接線樁柱4.電木板5.線圈引出導(dǎo)線 6. E型鐵芯7.采樣線圈8.激勵(lì)線圈9.磁、電屏蔽膜10. M3安裝用螺紋孔11.軸向的備 用引線孔12.被測(cè)硅片13.測(cè)試平臺(tái)。

【具體實(shí)施方式】
[0021] 下面結(jié)合附圖詳細(xì)說明本實(shí)用新型的具體實(shí)施例。
[0022] 實(shí)施例1
[0023] 如圖1-3所示，包括圓柱型殼體1，E型鐵芯6,采樣線圈7、激勵(lì)線圈8,其中采樣 線圈7和激勵(lì)線圈8分別繞制在E型鐵芯的兩個(gè)開槽中，在殼體1中固定有激勵(lì)線圈8的 接線樁柱3,接線樁3和E型鐵芯6采用電木板4固定，采樣線圈7和激勵(lì)線圈8通過線圈 引線5引出殼體1，線圈引線5在殼體內(nèi)部的部分由環(huán)氧樹脂2灌封固定在殼體1中，在E 型鐵芯6開口端部設(shè)有電、磁屏蔽膜9。殼體及E型鐵芯采用lJ79NiFe合金。本裝置適應(yīng) 環(huán)境溫度、濕度范圍較寬，結(jié)構(gòu)剛度好，工作穩(wěn)定、重復(fù)性好、使用壽命長(zhǎng)、造價(jià)低，具有較高 性能價(jià)格比等優(yōu)點(diǎn)。
[0024] 如圖4所示，工作時(shí)，采用兩個(gè)電渦流傳感器并使傳感器E形鐵芯6開口軸向處對(duì) 接形成共軛磁場(chǎng)安裝方式，并且兩E形鐵芯間設(shè)置為保持< 1. 5mm的間隙，兩鐵芯間的間隙 為測(cè)試工作區(qū)間。被測(cè)硅片12設(shè)于測(cè)試平臺(tái)13上，并放置在兩相對(duì)設(shè)置的傳感器間隙之 間，本裝置電渦流傳感器適用于檢測(cè)彡〇. 7mm厚的太陽能電池硅片，根據(jù)間隙距離與共軛 磁場(chǎng)半徑比能得到較大的線性變量范圍。本裝置在采用共軛磁場(chǎng)安裝，即兩個(gè)傳感器相對(duì) 設(shè)置，并且兩E形鐵芯間設(shè)置為保持< 1. 5_的間隙，使得電渦流傳感器的共軛磁介質(zhì)結(jié)構(gòu) 能有效增強(qiáng)渦流激勵(lì)和指向性、穿透力。
[0025] 實(shí)施例2
[0026] 其余與實(shí)施例1相同，不同之處在于，殼體1采用純鐵，傳感器的頂端螺孔面設(shè)有 軸向的備用引線孔11，引出線也可以通過軸向備用引線孔11引出，使得傳感器的接線有徑 向與軸向兩種可適應(yīng)安裝要求的引出導(dǎo)線方法。
[0027] 實(shí)施例3
[0028] 其余與實(shí)施例1相同，不同之處在于，傳感器還包括兩個(gè)用于安裝的M3螺紋孔10， 方便在檢測(cè)場(chǎng)合的安裝。
[0029] 本實(shí)用新型的有益效果是：本裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，包括：殼體；檢測(cè)部，包括E型鐵芯、 采樣線圈、激勵(lì)線圈，所述采樣線圈和所述激勵(lì)線圈為同軸線圈，所述采樣線圈和所述激勵(lì) 線圈的繞線分別繞卷在所述E型鐵芯的兩個(gè)槽中；線圈引線，用于分別將所述采樣線圈和 所述激勵(lì)線圈的繞線端部從檢測(cè)部引出，所述線圈引線引出端由絕緣體灌封固定。能形成 共軛磁場(chǎng)，使得電渦流傳感器的共軛磁介質(zhì)結(jié)構(gòu)能有效增強(qiáng)渦流激勵(lì)和指向性、穿透力。
[0030] 以上所述的僅是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù) 人員來說，在不脫離本實(shí)用新型創(chuàng)造構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進(jìn)，這些都屬 于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1. 一種共軛磁介質(zhì)電渦流傳感器，用于單晶、多晶太陽能硅片的非接觸測(cè)試，其特征在 于，包括： 殼體； 檢測(cè)部，包括E型鐵芯、采樣線圈、激勵(lì)線圈，所述采樣線圈和所述激勵(lì)線圈為同軸線 圈，所述采樣線圈和所述激勵(lì)線圈的繞線分別繞卷在所述E型鐵芯的兩個(gè)開槽中； 線圈引線，用于分別將所述采樣線圈和所述激勵(lì)線圈的繞線端部引出。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的共軛磁介質(zhì)電渦流傳感器，其特征在于，還包括屏蔽膜，所述 屏蔽膜設(shè)于所述E型鐵芯開口端部。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的共軛磁介質(zhì)電渦流傳感器，其特征在于，所述E型鐵芯采用 lJ79NiFe 合金。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的共軛磁介質(zhì)電渦流傳感器，其特征在于，還包括用于所述激 勵(lì)線圈接線的接線樁柱。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的共軛磁介質(zhì)電渦流傳感器，其特征在于，還包括用于固定所 述接線樁柱和所述E型鐵芯的電木板。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的共軛磁介質(zhì)電渦流傳感器，其特征在于，所述殼體采用純鐵 或者lJ79NiFe合金。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的共軛磁介質(zhì)電渦流傳感器，其特征在于，所述線圈引線引出 端由絕緣體灌封固定，所述絕緣體為環(huán)氧樹脂。
8. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的共軛磁介質(zhì)電渦流傳感器，其特征在于，還包括軸向的備用 出線孔。
9. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的共軛磁介質(zhì)電渦流傳感器，其特征在于，還包括用于安裝的 螺紋孔。
【文檔編號(hào)】G01B7/06GK203837650SQ201320837311
【公開日】2014年9月17日 申請(qǐng)日期:2013年12月18日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月18日
【發(fā)明者】趙丹, 顏友鈞, 鄭鈺 申請(qǐng)人:江蘇瑞新科技股份有限公司