專(zhuān)利名稱(chēng)：差分式聲表面波溫度傳感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型具體涉及一種差分式聲表面波溫度傳感器，適用于人體溫度監(jiān)測(cè)，或者是危險(xiǎn)環(huán)境中的高溫探測(cè)，或者是發(fā)電及動(dòng)力傳動(dòng)等關(guān)鍵旋轉(zhuǎn)機(jī)械部件的溫度監(jiān)測(cè)和電力變壓器等的溫度遙感等等。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有的聲表面波傳感器的一個(gè)主要應(yīng)用是溫度傳感器。以聲表面波為基礎(chǔ)的無(wú)源無(wú)線溫度傳感器已經(jīng)廣泛用于現(xiàn)實(shí)生活中，例如，在醫(yī)院對(duì)病人體溫監(jiān)測(cè)，或者是植入人體內(nèi)進(jìn)行體溫和血壓的實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，或者是渦輪發(fā)動(dòng)機(jī)運(yùn)行過(guò)程中排氣口高溫的監(jiān)測(cè)，或者是鋼鐵業(yè)冶煉容器襯套內(nèi)溫場(chǎng)的監(jiān)測(cè)，或者是智能電網(wǎng)中電氣連接的關(guān)鍵接點(diǎn)的溫度監(jiān)測(cè)，或者車(chē)輛輪胎的溫度和壓力的實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)等等。眾所周知，現(xiàn)有的聲表面波溫度傳感器的設(shè)計(jì)主要有諧振器和延遲線兩種。一個(gè)單端口聲表面波諧振器，是通過(guò)測(cè)量諧振器的諧振頻率變化來(lái)測(cè)量溫度的變化；一個(gè)延遲線濾波器，是通過(guò)測(cè)量延遲線的時(shí)間延遲變化來(lái)測(cè)量溫度的變化。而上述結(jié)構(gòu)的聲表面波溫度傳感器都可以用于在有線和無(wú)線兩種測(cè)量/監(jiān)測(cè)系統(tǒng)。若是應(yīng)用在對(duì)溫度測(cè)量的精度要求不高的情況下，聲表面波溫度傳感器的設(shè)計(jì)通常是采用一個(gè)單端口諧振器。而這種結(jié)構(gòu)的聲表面溫度傳感器雖然結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成本也低，而且適用于用一個(gè)射頻讀寫(xiě)器同時(shí)對(duì)多點(diǎn)進(jìn)行溫度監(jiān)控；但是，像這種使用一個(gè)單端口諧振器進(jìn)行溫度測(cè)量或其他物理參數(shù)測(cè)量的聲表面波溫度傳感器存在有下列缺點(diǎn):.由于在生產(chǎn)制造過(guò)程中存有可變因素，因此，在產(chǎn)品出廠時(shí)需要對(duì)每個(gè)傳感器進(jìn)行校準(zhǔn)；.由于設(shè)備老化和環(huán)境的變化，需要在應(yīng)用過(guò)程中對(duì)每個(gè)傳感器進(jìn)行定時(shí)或不定時(shí)的校準(zhǔn)；.傳感器設(shè)備老化會(huì)直接影響傳感器的測(cè)量精度；.測(cè)量結(jié)果容易受到傳感器和射頻讀取器之間距離的影響；.測(cè)量容易受到傳感器和射頻讀寫(xiě)器之間電磁波的干擾。由于上述的種種限制，使用一個(gè)單端口諧振器的聲表面波溫度傳感器組建的溫度測(cè)量系統(tǒng)，沒(méi)有測(cè)量溫度的參考信號(hào)，測(cè)量精度不高，在測(cè)量之前需要進(jìn)行校準(zhǔn)，且這種結(jié)構(gòu)的溫度測(cè)量系統(tǒng)的經(jīng)營(yíng)成本也是比較高的。若是溫度測(cè)量精度成為更關(guān)鍵的系統(tǒng)要求時(shí)，就有必要采用由兩個(gè)單端口諧振器組成的聲表面波溫度傳感器來(lái)進(jìn)行溫度的差分測(cè)量。以往兩個(gè)單端口諧振器的設(shè)計(jì)主要有下面兩種方式:.兩個(gè)單端口諧振器位于同一壓電基片表面的相同聲波傳播方向，但具有不同的諧振頻率；.兩個(gè)單端口諧振器位于同一壓電基片表面的不同聲波傳播方向，且具有不同的諧振頻率；[0014]而上述結(jié)構(gòu)的聲表面波溫度傳感器雖然彌補(bǔ)了只用一個(gè)諧振器帶來(lái)的測(cè)不準(zhǔn)的缺點(diǎn)，但是增加了傳感器的尺寸,也增加了生產(chǎn)成本。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是:提供一種結(jié)構(gòu)緊湊、測(cè)量精度高，而且生產(chǎn)成本低的差分式聲表面波溫度傳感器，以克服現(xiàn)有技術(shù)的不足。為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型的第一個(gè)技術(shù)方案是:一種差分式聲表面波溫度傳感器，包括殼體、殼蓋、壓電基片、第一聲表面波諧振器和第二聲表面波諧振器，所述壓電基片固定在殼體內(nèi)的底部，所述殼體和殼蓋密封連接，其創(chuàng)新點(diǎn)在于:還包括第一壓電薄膜，所述第一聲表面波諧振器設(shè)在壓電基片的表面，而第一壓電薄膜設(shè)在壓電基片的剩余表面和第一聲表面波諧振器的表面以及外周之上，所述第二聲表面波諧振器設(shè)在第一壓電薄膜的表面。在上述第一個(gè)技術(shù)方案中，所述殼體和殼蓋分別是金屬殼體和金屬殼蓋，或者分別是陶瓷殼體和金屬殼蓋。在上述第一個(gè)技術(shù)方案中，所述第一壓電薄膜是氧化鋅或者是氮化鋁，壓電基片是石英、或者是鈮酸鋰、或者是鉭酸鋰，或者是金剛石。在上述第一個(gè)技術(shù)方案中，所述第一聲表面波諧振器與第二聲表面波諧振器在豎直方向的投影相互重合或者部分重疊或者相交。在上述第一個(gè)技術(shù)方案中，所述第一聲表面波諧振器與第二聲表面波諧振器在豎直方向的投影相交時(shí)，兩者的夾角在0° 180°范圍內(nèi)。為了達(dá)到上述目 的，本實(shí)用新型的第二個(gè)技術(shù)方案是:一種差分式聲表面波溫度傳感器，包括殼體、殼蓋、第一聲表面波諧振器和第二聲表面波諧振器，所述殼體和殼蓋密封連接，其創(chuàng)新點(diǎn)在于:還包括襯底基片、第一壓電薄膜和第二壓電薄膜，所述襯底基片固定在殼體內(nèi)的底部，第二壓電薄膜設(shè)在襯底基片的表面，第一聲表面波諧振器設(shè)在第二壓電薄膜上，第一壓電薄膜設(shè)在第二壓電薄膜的剩余表面和第一聲表面波諧振器的表面以及外周，所述第二聲表面波諧振器設(shè)在第一壓電薄膜的表面。在上述第二個(gè)技術(shù)方案中，所述殼體和殼蓋分別是金屬殼體和金屬殼蓋，或者分別是陶瓷殼體和金屬殼蓋。在上述第二個(gè)技術(shù)方案中，所述第一壓電薄膜是氧化鋅或者是氮化鋁，第二壓電薄膜是二氧化硅，襯底基片是硅晶體。在上述第二個(gè)技術(shù)方案中，所述第一聲表面波諧振器與第二聲表面波諧振器在豎直方向的投影相互重合或者部分重疊或者相交。在上述第二個(gè)技術(shù)方案中，所述第一聲表面波諧振器與第二聲表面波諧振器在豎直方向的投影相交時(shí)，兩者的夾角在0° 180°范圍內(nèi)。為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型的第三個(gè)技術(shù)方案是:一種差分式聲表面波溫度傳感器，包括殼體、殼蓋、第一聲表面波諧振器和第二聲表面波諧振器，所述殼體和殼蓋密封連接，其創(chuàng)新點(diǎn)在于:還包括壓電基片、第一壓電薄膜和第二壓電薄膜，所述壓電基片固定在殼體內(nèi)的底部，第二壓電薄膜設(shè)在壓電基片的表面，第一聲表面波諧振器設(shè)在第二壓電薄膜上，第一壓電薄膜設(shè)在第二壓電薄膜的剩余表面和第一聲表面波諧振器的表面以及外周，所述第二聲表面波諧振器設(shè)在第一壓電薄膜的表面。在上述第三個(gè)技術(shù)方案中，所述殼體和殼蓋分別是金屬殼體和金屬殼蓋,或者分別是陶瓷殼體和金屬殼蓋。在上述第三個(gè)技術(shù)方案中，所述第一壓電薄膜是氧化鋅，而第二壓電薄膜是氮化鋁；或者所述第一壓電薄膜是氮化鋁，而第二壓電薄膜是氧化鋅，壓電基片是金剛石。在上述第三個(gè)技術(shù)方案中，所述第一聲表面波諧振器與第二聲表面波諧振器在豎直方向的投影相互重合或者部分重疊或者相交。在上述第三個(gè)技術(shù)方案中，所述第一聲表面波諧振器與第二聲表面波諧振器在豎直方向的投影相交時(shí)，兩者的夾角在0° 180°范圍內(nèi)。本實(shí)用新型所具有的積極效果是:由于采用了上述的差分式溫度傳感器結(jié)構(gòu)后，將兩個(gè)聲表面波諧振器設(shè)置在兩個(gè)不同的物理表面，且布置成層狀結(jié)構(gòu)；與已有技術(shù)中將兩個(gè)聲表面波諧振器設(shè)置在同一壓電基片表面上相比，本實(shí)用新型的芯片尺寸至少減小了50% ;又由于兩個(gè)不同的物理表面上聲表面波的傳播特性(聲波速度，機(jī)電耦合系數(shù)等)的不同，使得兩個(gè)聲表面諧振器的 溫度系數(shù)亦不同，因此，兩個(gè)諧振器的由溫度變化而引起的諧振頻率變化亦不同，其中一個(gè)聲表面波諧振器用于提供參考或基準(zhǔn)溫度測(cè)量信號(hào)，另一個(gè)聲表面波諧振器用于提供差分溫度信號(hào)，通過(guò)分析兩個(gè)聲表面波諧振器的不同諧振頻率的頻率差，能夠高精度地獲取被測(cè)體的微小溫度變化，從而實(shí)現(xiàn)高精度的差分式溫度測(cè)量。

圖1是本實(shí)用新型第一種具體實(shí)施方式
的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本實(shí)用新型第二種具體實(shí)施方式
的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是本實(shí)用新型第三種具體實(shí)施方式
的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖以及給出的實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的說(shuō)明，但并不局限于此。實(shí)施例1如圖1所不,一種差分式聲表面波溫度傳感器,包括殼體1、殼蓋2、壓電基片3、第一聲表面波諧振器4和第二聲表面波諧振器6,所述壓電基片3固定在殼體I內(nèi)的底部,所述殼體I和殼蓋2密封連接,其創(chuàng)新點(diǎn)在于:還包括第一壓電薄膜5,所述第一聲表面波諧振器4設(shè)在壓電基片3的表面,而第一壓電薄膜5設(shè)在壓電基片3的剩余表面和第一聲表面波諧振器4的表面以及外周之上，所述第二聲表面波諧振器6設(shè)在第一壓電薄膜5的表面。如圖1所示，所述殼體I和殼蓋2分別是金屬殼體和金屬殼蓋，或者分別是陶瓷殼體和金屬殼蓋。本實(shí)用新型所述第一壓電薄膜5是氧化鋅或者是氮化鋁，壓電基片3是石英、或者是鈮酸鋰、或者是鉭酸鋰，或者是金剛石，或者是其他壓電晶體。如圖1所示，為了使得本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)緊湊，減小傳感器的尺寸，本實(shí)用新型所述第一聲表面波諧振器4與第二聲表面波諧振器6在豎直方向的投影相互重合或者部分重疊或者相交。 本實(shí)用新型所述第一聲表面波諧振器4與第二聲表面波諧振器6在豎直方向的投影相交時(shí)，兩者的夾角在0° 180°范圍內(nèi)，具體數(shù)值由兩方向聲表面波時(shí)延溫度系數(shù)之差的最大值而定，這樣可以確保第一聲表面波諧振器4與第二聲表面波諧振器6的差分測(cè)量的靈敏度為最佳。實(shí)施例1中第一聲表面波諧振器4和第二聲表面波諧振器6所產(chǎn)生的聲波能量均集中在壓電基片3和壓電薄膜5底部一個(gè)聲波波長(zhǎng)的深度以?xún)?nèi)，同時(shí)這兩個(gè)不同聲波傳播路徑的時(shí)延溫度系數(shù)(TCD)或頻率溫度系數(shù)(TCF)是不同的。通過(guò)分析來(lái)自?xún)蓚€(gè)不同聲表面波諧振器的諧振頻率的頻率差，就可以高精度地獲取被測(cè)體溫度的微小變化。實(shí)施例2如圖2所不,一種差分式聲表面波溫度傳感器,包括殼體1、殼蓋2、第一聲表面波諧振器4和第二聲表面波諧振器6，所述殼體I和殼蓋2密封連接，其創(chuàng)新點(diǎn)在于:還包括襯底基片3’、第一壓電薄膜5和第二壓電薄膜8，所述襯底基片3’固定在殼體I內(nèi)的底部，第二壓電薄膜8設(shè)在襯底基片3’的表面，第一聲表面波諧振器4設(shè)在第二壓電薄膜8上，第一壓電薄膜5設(shè)在第二壓電薄膜8的剩余表面和第一聲表面波諧振器4的表面以及外周，所述第二聲表面波諧振器6設(shè)在第一壓電薄膜5的表面。本實(shí)用新型所述殼體I和殼蓋2分別是金屬殼體和金屬殼蓋，或者分別是陶瓷殼體和金屬殼蓋。本實(shí)用新型所述第一壓電薄膜5是氧化鋅或者是氮化鋁，第二壓電薄膜8是二氧化娃，襯底基片3’是娃晶體。如圖2所示，為了使得本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)緊湊，減小傳感器的尺寸，本實(shí)用新型所述第一聲表面波諧振器4與第二聲表面波諧振器6在豎直方向的投影相互重合或者部分重疊或者相交。本實(shí)用新型所述第一聲表面波諧振器4與第二聲表面波諧振器6在豎直方向的投影相交時(shí)，兩者的夾角在0° 180°范圍內(nèi)，具體數(shù)值由兩方向聲表面波時(shí)延溫度系數(shù)之差的最大值而定，這樣可以確保第一聲表面波諧振器4與第二聲表面波諧振器6的差分測(cè)量的靈敏度為最佳。實(shí)施例3如圖3所不,一種差分式聲表面波溫度傳感器,包括殼體1、殼蓋2、第一聲表面波諧振器4和第二聲 表面波諧振器6，所述殼體I和殼蓋2密封連接，其創(chuàng)新點(diǎn)在于:還包括壓電基片3、第一壓電薄膜5和第二壓電薄膜8，所述壓電基片3固定在殼體I內(nèi)的底部，第二壓電薄膜8設(shè)在壓電基片3的表面,第一聲表面波諧振器4設(shè)在第二壓電薄膜8上,第一壓電薄膜5設(shè)在第二壓電薄膜8的剩余表面和第一聲表面波諧振器4的表面以及外周，所述第二聲表面波諧振器6設(shè)在第一壓電薄膜5的表面。本實(shí)用新型所述殼體I和殼蓋2分別是金屬殼體和金屬殼蓋，或者分別是陶瓷殼體和金屬殼蓋。本實(shí)用新型所述第一壓電薄膜5是氧化鋅，而第二壓電薄膜8是氮化鋁；或者所述第一壓電薄膜5是氮化鋁，而第二壓電薄膜8是氧化鋅，壓電基片3是金剛石。如圖3所示，為了使得本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)緊湊，減小傳感器的尺寸，本實(shí)用新型所述第一聲表面波諧振器4與第二聲表面波諧振器6在豎直方向的投影相互重合或者部分重疊或者相交。本實(shí)用新型所述第一聲表面波諧振器4與第二聲表面波諧振器6在豎直方向的投影相交時(shí)，兩者的夾角在0° 180°范圍內(nèi)，具體數(shù)值由兩方向聲表面波時(shí)延溫度系數(shù)之差的最大值而定，這樣可以確保第一聲表面波諧振器4與第二聲表面波諧振器6的差分測(cè)量的靈敏度為最佳。若本實(shí)用新型實(shí)施例1、實(shí)施例2以及實(shí)施例3的第一聲表面波諧振器4和第二聲表面波諧振器6在豎直方向的投影重合時(shí)，聲波傳播方向是一致的，但諧振頻率是不同的；若第一聲表面波諧振器4和第二聲表面波諧振器6在豎直方向的投影交叉時(shí)，確保了兩個(gè)聲表面波諧振器所產(chǎn)生的聲波傳播方向有一個(gè)非零的角度，具有不同的諧振頻率，確保了兩個(gè)聲表面波諧振器具有不同的時(shí)延溫度系數(shù)(TCD)或頻率溫度系數(shù)(TCF)，通過(guò)分析從兩個(gè)聲表面波諧振器的不同諧振頻率的頻率差，我們可以高精度地獲取被測(cè)體的微小溫度變化。本實(shí)用新型為了確保第一聲表面波諧振器4和第二聲表面波諧振器6同時(shí)發(fā)回測(cè)量信號(hào)，并且保證信號(hào)強(qiáng)度最強(qiáng)，第一聲表面波諧振器4和第二聲表面波諧振器6并聯(lián)連接,并通過(guò)引線鍵合到殼體I內(nèi)的底部。本實(shí)用新型實(shí)施例1、實(shí)施例2以及實(shí)施例3中，第一聲表面波諧振器4用于提供參考或基準(zhǔn)溫度測(cè)量信號(hào)，第二聲表面波諧振器6用于提供差分溫度信號(hào)，第一聲表面波諧振器4和第二聲表面波諧振器6的取向被以這樣一種方式來(lái)確定:將第一聲表面波諧振器4選在時(shí)延溫度系數(shù)(TCD)最小的傳播方向上，而將第二聲表面波諧振器6選在時(shí)延溫度系數(shù)(TCD)最大的傳播方向上。這樣就可以最大限度的提高溫度測(cè)量的靈敏度。當(dāng)然，也可以是第二聲表面波諧振器6用于提供參考或基準(zhǔn)溫度測(cè)量信號(hào)，第一聲表面波諧振器4用于提供差分溫度信號(hào)，這時(shí)兩個(gè)聲表面波諧振器取向的決定原則依然由兩方向聲表面波時(shí)延溫度系數(shù)之差的最大值而定。本實(shí)用新型使用時(shí)，將差分式聲表面波溫度傳感器連接到一個(gè)小的射頻天線上。射頻信號(hào)先由射頻詢(xún)問(wèn)器發(fā)出，被本實(shí)用新型所接收；受溫度影響而修改后的信號(hào)由射頻天線發(fā)射回來(lái)，再由詢(xún)問(wèn)器接收。來(lái)自本實(shí)用新型的射頻信號(hào)包含了被測(cè)體的溫度信息，通過(guò)處理來(lái)自?xún)蓚€(gè)共振頻率偏移的差異，我們可以實(shí)時(shí)且高精度地測(cè)量/監(jiān)視被測(cè)對(duì)象的溫度變化。因?yàn)樵趥鞲衅魇褂脮r(shí)不需要另加電源，實(shí)現(xiàn)的溫度傳感是完全無(wú)線和無(wú)源的。本實(shí)用新型 所公開(kāi)的結(jié)構(gòu)也可以用于差分式壓力傳感器，差分式振動(dòng)傳感器，或其他物理參數(shù)的差分式測(cè)量。
權(quán)利要求1.一種差分式聲表面波溫度傳感器，包括殼體(I)、殼蓋(2)、壓電基片(3)、第一聲表面波諧振器(4)和第二聲表面波諧振器(6)，所述壓電基片(3)固定在殼體(I)內(nèi)的底部，所述殼體(I)和殼蓋(2)密封連接,其特征在于:還包括第一壓電薄膜(5),所述第一聲表面波諧振器(4 )設(shè)在壓電基片(3 )的表面，而第一壓電薄膜(5 )設(shè)在壓電基片(3 )的剩余表面和第一聲表面波諧振器(4)的表面以及外周之上，所述第二聲表面波諧振器(6)設(shè)在第一壓電薄膜(5)的表面。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的差分式聲表面波溫度傳感器，其特征在于:所述殼體(I)和殼蓋(2)分別是金屬殼體和金屬殼蓋，或者分別是陶瓷殼體和金屬殼蓋。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的差分式聲表面波溫度傳感器，其特征在于:所述第一壓電薄膜(5 )是氧化鋅或者是氮化鋁，壓電基片(3 )是石英、或者是鈮酸鋰、或者是鉭酸鋰，或者是金剛石。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的差分式聲表面波溫度傳感器，其特征在于:所述第一聲表面波諧振器(4)與第二聲表面波諧振器(6)在豎直方向的投影相互重合或者部分重疊或者相交。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的差分式聲表面波溫度傳感器，其特征在于:所述第一聲表面波諧振器(4)與第二聲表面波諧振器(6)在豎直方向的投影相交時(shí)，兩者的夾角在O。 180。范圍內(nèi)。
6.一種差分式聲表面波溫度傳感器，包括殼體(I)、殼蓋(2)、第一聲表面波諧振器(4)和第二聲表面波諧振器(6)，所述殼體(I)和殼蓋(2)密封連接，其特征在于:還包括襯底基片(3 ’)、第一壓電薄膜(5 )和第二壓電薄膜(8 )，所述襯底基片(3 ’)固定在殼體(I)內(nèi)的底部，第二壓電薄膜(8)設(shè)在襯底基片(3’)的表面，第一聲表面波諧振器(4)設(shè)在第二壓電薄膜(8)上，第一壓電 薄膜(5)設(shè)在第二壓電薄膜(8)的剩余表面和第一聲表面波諧振器(4)的表面以及外周，所述第二聲表面波諧振器(6)設(shè)在第一壓電薄膜(5)的表面。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的差分式聲表面波溫度傳感器，其特征在于:所述殼體(I)和殼蓋(2)分別是金屬殼體和金屬殼蓋，或者分別是陶瓷殼體和金屬殼蓋。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的差分式聲表面波溫度傳感器，其特征在于:所述第一壓電薄膜(5 )是氧化鋅或者是氮化鋁，第二壓電薄膜(8 )是二氧化硅，襯底基片(3 ’)是硅晶體。
9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的差分式聲表面波溫度傳感器,其特征在于:所述第一聲表面波諧振器(4)與第二聲表面波諧振器(6)在豎直方向的投影相互重合或者部分重疊或者相交。
10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的差分式聲表面波溫度傳感器,其特征在于:所述第一聲表面波諧振器(4)與第二聲表面波諧振器(6)在豎直方向的投影相交時(shí)，兩者的夾角在O。 180。范圍內(nèi)。
11.一種差分式聲表面波溫度傳感器，包括殼體(I)、殼蓋(2)、第一聲表面波諧振器(4)和第二聲表面波諧振器(6)，所述殼體(I)和殼蓋(2)密封連接，其特征在于:還包括壓電基片(3 )、第一壓電薄膜(5 )和第二壓電薄膜(8 )，所述壓電基片(3 )固定在殼體(I)內(nèi)的底部，第二壓電薄膜(8 )設(shè)在壓電基片(3 )的表面，第一聲表面波諧振器(4 )設(shè)在第二壓電薄膜(8)上，第一壓電薄膜(5)設(shè)在第二壓電薄膜(8)的剩余表面和第一聲表面波諧振器(4)的表面以及外周，所述第二聲表面波諧振器(6)設(shè)在第一壓電薄膜(5)的表面。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的差分式聲表面波溫度傳感器，其特征在于:所述殼體(I)和殼蓋(2)分別是金屬殼體和金屬殼蓋，或者分別是陶瓷殼體和金屬殼蓋。
13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的差分式聲表面波溫度傳感器，其特征在于:所述第一壓電薄膜(5 )是氧化鋅，而第二壓電薄膜(8 )是氮化鋁；或者所述第一壓電薄膜(5 )是氮化鋁，而第二壓電薄膜(8 )是氧化鋅，壓電基片(3 )是金剛石。
14.根據(jù)權(quán)利要求11所述的差分式聲表面波溫度傳感器，其特征在于:所述第一聲表面波諧振器(4)與第二聲表面波諧振器(6)在豎直方向的投影相互重合或者部分重疊或者相交。
15.根據(jù)權(quán)利要求11所述的差分式聲表面波溫度傳感器，其特征在于:所述第一聲表面波諧振器(4)與第二聲表面波諧振器(6)在豎直方向的投影相交時(shí)，兩者的夾角在O。 180。范 圍內(nèi)。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型涉及一種差分式聲表面波溫度傳感器，包括殼體、殼蓋、壓電基片、第一聲表面波諧振器和第二聲表面波諧振器，所述壓電基片固定在殼體內(nèi)的底部，所述殼體和殼蓋密封連接，其創(chuàng)新點(diǎn)在于還包括第一壓電薄膜，所述第一聲表面波諧振器設(shè)在壓電基片的表面，而第一壓電薄膜設(shè)在壓電基片的剩余表面和第一聲表面波諧振器的表面以及外周之上，所述第二聲表面波諧振器設(shè)在第一壓電薄膜的表面。本實(shí)用新型具有結(jié)構(gòu)緊湊、測(cè)量精度高，而且生產(chǎn)成本低等優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號(hào)G01K11/26GK203132736SQ201320069048
公開(kāi)日2013年8月14日 申請(qǐng)日期2013年2月6日 優(yōu)先權(quán)日2013年2月6日
發(fā)明者陳卓輝, 劉 文, 高翔 申請(qǐng)人:常州智梭傳感科技有限公司