小型微納米級(jí)三坐標(biāo)測(cè)量的制造方法
【專利摘要】小型微納米級(jí)三坐標(biāo)測(cè)量機(jī) 屬于監(jiān)控量領(lǐng)域，尤其是涉及一種氫原子鐘智能化監(jiān)控系統(tǒng)。 本發(fā)明提供一種成本較低的一種 小型微納米級(jí)三坐標(biāo)測(cè)量機(jī) 。本發(fā)明包括基座，其結(jié)構(gòu)要點(diǎn)是：基座上設(shè)置有工作臺(tái)部件，工作臺(tái)部件上設(shè)置有納米定位工作臺(tái)；基座上還設(shè)置有橋架，橋架上設(shè)置有CCD組件和測(cè)頭。
【專利說(shuō)明】 小型微納米級(jí)三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于監(jiān)控量領(lǐng)域，尤其是涉及一種氫原子鐘智能化監(jiān)控系統(tǒng)。

【背景技術(shù)】
[0002]對(duì)于工業(yè)產(chǎn)品尺寸精度檢測(cè)三維坐標(biāo)測(cè)量機(jī)是一個(gè)不可或缺的工具。近年來(lái)由于微納米技術(shù)的興起，使得產(chǎn)品趨于微細(xì)化，當(dāng)器件尺寸小到幾厘米且公差要求在亞微米以下時(shí)，傳統(tǒng)的三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)已不敷使用因此，近年來(lái)國(guó)內(nèi)外已有相關(guān)研究單位研制體積小、精度高、具納米級(jí)的三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)。但是現(xiàn)有的測(cè)量機(jī)制造成本較高。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明就是針對(duì)上述問(wèn)題，提供一種成本較低的一種小型微納米級(jí)三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)。
[0004]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用如下技術(shù)方案，本發(fā)明包括基座，其結(jié)構(gòu)要點(diǎn)是:基座上設(shè)置有工作臺(tái)部件，工作臺(tái)部件上設(shè)置有納米定位工作臺(tái)；基座上還設(shè)置有橋架，橋架上設(shè)置有CXD組件和測(cè)頭。
[0005]作為一種優(yōu)選方案，基座米用花崗巖基座。
[0006]本發(fā)明有益效果。
[0007]本發(fā)明包括基座，其結(jié)構(gòu)要點(diǎn)是:基座上設(shè)置有工作臺(tái)部件，工作臺(tái)部件上設(shè)置有納米定位工作臺(tái)；基座上還設(shè)置有橋架，橋架上設(shè)置有CCD組件和測(cè)頭。基座采用花崗巖基座。本發(fā)明的結(jié)構(gòu)少，且無(wú)需昂貴的測(cè)量設(shè)備如激光干涉儀等。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0008]為本發(fā)明所解決的技術(shù)問(wèn)題、技術(shù)方案及有益效果更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及【具體實(shí)施方式】，對(duì)本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的【具體實(shí)施方式】?jī)H僅用以解釋本發(fā)明，并不用于限定本發(fā)明。
[0009]圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)圖。
[0010]圖中I為基座、2為橋架、3為工作臺(tái)部件、4為橫梁、5為激光衍射干涉系統(tǒng)、6為納米定位工作臺(tái)、7為測(cè)頭。

【具體實(shí)施方式】
[0011]如圖所示，本發(fā)明包括基座1，基座I上設(shè)置有工作臺(tái)部件3，工作臺(tái)部件3上設(shè)置有納米定位工作臺(tái)6 ;基座I上還設(shè)置有橋架2，橋架2上設(shè)置有CXD組件和測(cè)頭7。
[0012]作為一種優(yōu)選方案，基座I米用花崗巖基座。
[0013]本發(fā)明主要包含花崗巖平臺(tái)與橋架、定位平臺(tái)、衍射干涉激光尺及與雙測(cè)量探頭等由于花崗巖材料的剛性大，熱膨脹系數(shù)小，用來(lái)制作測(cè)量機(jī)的工作臺(tái)面與固定式橋架，可提供一個(gè)良好的參考面長(zhǎng)行程的精密定位則采用美國(guó)公司的雙軸移動(dòng)臺(tái)，各軸使用以色列公司的壓電陶瓷線性馬達(dá)，加以驅(qū)動(dòng)川，此長(zhǎng)行程可達(dá)范圍及的微步各軸機(jī)臺(tái)邊安裝一維精密衍射干涉激光位置測(cè)量系統(tǒng)，作為的雙軸位移感測(cè)平臺(tái)上放置一驅(qū)動(dòng)的微位移平臺(tái)以補(bǔ)償?shù)亩ㄎ徽`差橫梁上可同時(shí)安裝自行開(kāi)發(fā)的自動(dòng)聚焦測(cè)量探頭與探頭，藉由滑動(dòng)機(jī)構(gòu)的定位，使該系統(tǒng)能同時(shí)進(jìn)行軸高度與二維形狀尺寸測(cè)量。
[0014]機(jī)臺(tái)主體分為工作平臺(tái)、橫梁與橋架三大部分，節(jié)點(diǎn)四面體元素分割的網(wǎng)格模型，共有巧個(gè)元素，個(gè)節(jié)點(diǎn)和個(gè)自由度實(shí)驗(yàn)采用沖錘法配合加速規(guī)的使用進(jìn)行結(jié)構(gòu)固有頻率的測(cè)量與分析。
[0015]自動(dòng)聚焦探頭原理。
[0016]測(cè)頭以市售光驅(qū)一內(nèi)光學(xué)讀數(shù)頭的自動(dòng)聚焦原理，為基礎(chǔ)進(jìn)行研究，其工作原理為二極體激光經(jīng)由光柵產(chǎn)生衍射后，分為三道檢測(cè)光束，再經(jīng)分光鏡、準(zhǔn)直透鏡后，激光變成一準(zhǔn)直光束，此準(zhǔn)直光束經(jīng)過(guò)中央呈現(xiàn)有間隔十到數(shù)百微米同心圓狀溝槽的透鏡一鏡片時(shí)，光束分離成兩部分，聚焦成適合與光盤片資料儲(chǔ)存位置的雙焦點(diǎn)反射光束則循原路徑后穿越柱狀像散透鏡，而投射至象限光傳感器。上象限傳感器會(huì)根據(jù)光點(diǎn)在個(gè)象限上的光分布，輸出一離焦信號(hào)，這個(gè)離焦信號(hào)經(jīng)過(guò)運(yùn)算放大及補(bǔ)償處理，可反饋推動(dòng)音圈馬達(dá)，將物鏡推到盤片可以在聚焦平面上的位置達(dá)到鎖焦的目的此時(shí)，讀數(shù)頭再根據(jù)反射光的強(qiáng)度變化來(lái)讀取盤片上的數(shù)字信號(hào)，完成資料的存取。
[0017]以上內(nèi)容是結(jié)合具體的優(yōu)選實(shí)施方式對(duì)本發(fā)明作的進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明，不能認(rèn)定本發(fā)明的具體實(shí)施只局限于這些說(shuō)明，對(duì)于本發(fā)明所屬【技術(shù)領(lǐng)域】的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本發(fā)明構(gòu)思的前提下，還可以做出若干簡(jiǎn)單推演或替換，都應(yīng)當(dāng)視為屬于本發(fā)明所提交的權(quán)利要求書確定的保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1.小型微納米級(jí)三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)，包括基座(I)，其特征在于基座(I)上設(shè)置有工作臺(tái)部件(3)，工作臺(tái)部件(3)上設(shè)置有納米定位工作臺(tái)(6);基座(I)上還設(shè)置有橋架(2)，橋架(2)上設(shè)置有CXD組件和測(cè)頭(7)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的小型微納米級(jí)三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)，其特征在于基座(I)采用花崗巖基座。
【文檔編號(hào)】G01B11/00GK104457563SQ201310423951
【公開(kāi)日】2015年3月25日 申請(qǐng)日期:2013年9月17日 優(yōu)先權(quán)日:2013年9月17日
【發(fā)明者】李志剛 申請(qǐng)人:李志剛