測量儀器的夾持方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種測量儀器的夾持方法，用于夾持測試儀器的桿狀探頭，包括將桿狀探頭直接卡合在夾持架的卡槽上，所述夾持架包括相對間隔設(shè)置的兩卡板和一底板，所述兩卡板的底部通過所述底板連接，所述兩卡板的上部對應(yīng)設(shè)有一用于卡住所述桿狀探頭的所述卡槽，形成卡槽對，所述卡槽的形狀呈斜向圓弧楔口型。本發(fā)明提供的測量儀器的夾持方法，通過將桿狀探頭直接卡合在夾持架的卡槽上就可以實現(xiàn)桿狀探頭的夾持，所述卡槽的形狀呈斜向圓弧楔口型，依靠形狀呈斜向弧形楔口的卡槽對實現(xiàn)對測量儀器的快速安裝，而且可以避免螺絲掉落的風(fēng)險，并且能夠增加測量儀器的夾持穩(wěn)定性，提高測量效率和測量精度。
【專利說明】測量儀器的夾持方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種測量儀器的夾持方法。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，晶圓廠(FAB)的光刻區(qū)內(nèi)，請參閱圖1和圖2，對探針、探棒等測量儀器的桿狀探頭3’的固定，是依靠兩顆螺絲4’夾緊于金屬塊2’上，而金屬塊2’還需要兩顆螺絲(圖中不可見)固定于支架I’上。上述結(jié)構(gòu)有如下缺陷:
[0003]一、操作比較繁瑣；
[0004]二、實際使用中，測量儀器容易晃動，影響測量的準確性，尤其對風(fēng)速測量影響較大；
[0005]三、螺絲4’在安裝和使用過程中很容易掉落，如掉落至機臺內(nèi)，易造成機臺隱患。
[0006]因此，如何提供一種可以增強夾持穩(wěn)定性、避免螺絲掉落風(fēng)險、并可以實現(xiàn)快速安裝的測量儀器的夾持方法是本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的一個技術(shù)問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]本發(fā)明的目的在于提供一種測量儀器的夾持方法，依靠形狀呈斜向弧形楔口的卡槽對實現(xiàn)對測量儀器的快速安裝，而且可以避免螺絲掉落的風(fēng)險，并且能夠增加測量儀器的夾持穩(wěn)定性，提高測量效率和測量精度。
[0008]為了達到上述的目的，本發(fā)明采用如下技術(shù)方案:
[0009]一種測量儀器的夾持方法，用于夾持測試儀器的桿狀探頭，包括將桿狀探頭直接卡合在夾持架的卡槽上，所述夾持架包括相對間隔設(shè)置的兩卡板和一底板，所述兩卡板的底部通過所述底板連接，所述兩卡板的上部對應(yīng)設(shè)有一用于卡住所述桿狀探頭的所述卡槽，形成卡槽對，所述卡槽的形狀呈斜向圓弧楔口型。
[0010]優(yōu)選的，在上述的測量儀器的夾持方法中，所述卡槽對的數(shù)量是兩個以上，兩個以上的卡槽對沿所述卡板的縱向間隔設(shè)置。
[0011]優(yōu)選的，在上述的測量儀器的夾持方法中，所述卡槽對的數(shù)量時三個。
[0012]優(yōu)選的，在上述的測量儀器的夾持方法中，所述夾持架的下方固定設(shè)有一支撐架。
[0013]優(yōu)選的，在上述的測量儀器的夾持方法中，所述支撐架與所述底板垂直固定連接。
[0014]優(yōu)選的，在上述的測量儀器的夾持方法中，所述支撐架固定連接于所述底板的中部。
[0015]優(yōu)選的，在上述的測量儀器的夾持方法中，所述支撐桿和所述夾持架一體成型。
[0016]優(yōu)選的，在上述的測量儀器的夾持方法中，所述兩卡板采用彈性材料。
[0017]優(yōu)選的，在上述的測量儀器的夾持方法中，所述卡槽的形狀是一帶有斜向上缺口的橢圓。
[0018]優(yōu)選的，在上述的測量儀器的夾持方法中，所述橢圓的短軸和長軸的比值是1/3-1/5，所述長軸與豎直方向的夾角是30-60度。[0019]本發(fā)明提供的測量儀器的夾持方法，通過將桿狀探頭直接卡合在夾持架的卡槽上就可以實現(xiàn)桿狀探頭的夾持，所述夾持架包括相對間隔設(shè)置的兩卡板和一底板，所述兩卡板的底部通過所述底板連接，所述兩卡板的上部對應(yīng)設(shè)有一用于卡住所述桿狀探頭的卡槽，形成卡槽對，所述卡槽的形狀呈斜向圓弧楔口型，依靠形狀呈斜向弧形楔口的卡槽對實現(xiàn)對測量儀器的快速安裝，而且可以避免螺絲掉落的風(fēng)險，并且能夠增加測量儀器的夾持穩(wěn)定性，提高測量效率和測量精度。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0020]本發(fā)明的測量儀器的夾持方法由以下的實施例及附圖給出。
[0021]圖1是現(xiàn)有的測量儀器的夾持方法的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0022]圖2是現(xiàn)有的測量儀器的夾持方法的使用狀態(tài)示意圖；
[0023]圖3是本發(fā)明一實施例的測量儀器的夾持方法的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0024]圖4是本發(fā)明一實施例的測量儀器的夾持方法的使用狀態(tài)示意圖。
[0025]圖中，I’-支架、2’-金屬塊、3’-桿狀探頭、4’-螺絲、1-夾持架、11-卡板、111-卡槽、110-卡槽對、12-底板、2-支撐架、3-桿狀探頭。
【具體實施方式】
[0026]以下將對本發(fā)明的測量儀器的夾持方法作進一步的詳細描述。
[0027]下面將參照附圖對本發(fā)明進行更詳細的描述，其中表示了本發(fā)明的優(yōu)選實施例，應(yīng)該理解本領(lǐng)域技術(shù)人員可以修改在此描述的本發(fā)明而仍然實現(xiàn)本發(fā)明的有益效果。因此，下列描述應(yīng)當被理解為對于本領(lǐng)域技術(shù)人員的廣泛知道，而并不作為對本發(fā)明的限制。
[0028]為了清楚，不描述實際實施例的全部特征。在下列描述中，不詳細描述公知的功能和結(jié)構(gòu)，因為它們會使本發(fā)明由于不必要的細節(jié)而混亂。應(yīng)當認為在任何實際實施例的開發(fā)中，必須作出大量實施細節(jié)以實現(xiàn)開發(fā)者的特定目標，例如按照有關(guān)系統(tǒng)或有關(guān)商業(yè)的限制，由一個實施例改變?yōu)榱硪粋€實施例。另外，應(yīng)當認為這種開發(fā)工作可能是復(fù)雜和耗費時間的，但是對于本領(lǐng)域技術(shù)人員來說僅僅是常規(guī)工作。
[0029]為使本發(fā)明的目的、特征更明顯易懂，下面結(jié)合附圖對本發(fā)明的【具體實施方式】作進一步的說明。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準的比率，僅用以方便、明晰地輔助說明本發(fā)明實施例的目的。
[0030]請參閱圖3和圖4，這種測量儀器的夾持方法，用于夾持測試儀器的桿狀探頭3，包括將桿狀探頭3直接卡合在夾持架I的卡槽上111，所述夾持架I包括相對間隔設(shè)置的兩卡板11和一底板12,所述兩卡板11的底部通過所述底板12連接,所述兩卡板11的上部對應(yīng)設(shè)有一用于卡住所述桿狀探頭3的所述卡槽111，形成卡槽對110,所述卡槽111的形狀呈斜向圓弧楔口型。由于所述卡槽111要將桿狀探2頭卡住，因此，卡槽111的開口大小和所述桿狀探頭3的被夾持部位的外徑相匹配。該測量儀器的夾持方法依靠形狀呈斜向弧形楔口的卡槽對110，將桿狀探頭3快速卡在卡槽對110中，從而實現(xiàn)對測量儀器的快速安裝，而且可以避免螺絲掉落的風(fēng)險，并且能夠增加測量儀器的夾持穩(wěn)定性，提高測量效率和測量精度。其中，所述測試儀器的桿狀探頭3可以是探針或探棒等。
[0031]優(yōu)選的，在上述的測量儀器的夾持方法中，所述卡槽對110的數(shù)量是兩個以上，兩個以上的卡槽對110沿所述卡板11的縱向間隔設(shè)置。本實施例中，所述卡槽對110的數(shù)量時三個。通過將桿狀探頭3卡在不同的卡槽對110中，可以方便地更換桿狀探頭3的測量
位置，提高測量效率。
[0032]優(yōu)選的，在上述的測量儀器的夾持方法中，所述夾持架I的下方固定設(shè)有一支撐架2。所述支撐架2與所述底板12垂直固定連接。所述支撐架2豎直設(shè)置，所述夾持架I水平設(shè)置，本實施例中，所述桿狀探頭3以水平方式卡在所選的卡槽對110中，具有夾持穩(wěn)定的優(yōu)點。
[0033]優(yōu)選的，在上述的測量儀器的夾持方法中，所述支撐架2固定連接于所述底板12的中部，從而可以使得支撐2架能夠平穩(wěn)地支撐底板12。
[0034]優(yōu)選的，在上述的測量儀器的夾持方法中，所述支撐桿2和所述夾持架I 一體成型。
[0035]優(yōu)選的，在上述的測量儀器的夾持方法中，所述兩卡板11采用彈性材料，從而可以增大卡板11對桿狀探頭3的夾持力，夾持更加穩(wěn)定。
[0036]優(yōu)選的，在上述的測量儀器的夾持方法中，所述卡槽111的形狀是一帶有斜向上缺口的橢圓。為了使得卡槽111更好的夾持所述桿狀探頭3，所述卡槽111的橢圓的短軸與所述桿狀探頭3的被夾持部位的外徑相匹配。
[0037]優(yōu)選的，在上述的測量儀器的夾持方法中，所述橢圓的短軸和長軸的比值是1/3-1/5，所述長軸與豎直方向的夾角是30-60度。經(jīng)過研發(fā)團隊的長期實驗和比較，在所述卡槽111的橢圓的短軸與所述桿狀探頭3的被夾持部位的外徑相匹配的前提下，當所述橢圓的短軸和長軸的比值是1/3-1/5，且所述長軸與豎直方向的夾角是30-60度，桿狀探頭3卡入卡槽111的便利性和獲得卡槽的穩(wěn)定夾持力之間可以達到一個最佳平穩(wěn)點。
[0038]綜上所述，本發(fā)明提供的測量儀器的夾持方法，通過在所述兩卡板的上部對應(yīng)設(shè)有一用于卡住所述桿狀探頭的卡槽，形成卡槽對，所述卡槽的形狀呈斜向圓弧楔口型，依靠形狀呈斜向弧形楔口的卡槽對實現(xiàn)對測量儀器的快速安裝，而且可以避免螺絲掉落的風(fēng)險，并且能夠增加測量儀器的夾持穩(wěn)定性，提高測量效率和測量精度。
[0039]顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對本發(fā)明進行各種改動和變型而不脫離本發(fā)明的精神和范圍。這樣，倘若本發(fā)明的這些修改和變型屬于本發(fā)明權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本發(fā)明也意圖包含這些改動和變型在內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種測量儀器的夾持方法，用于夾持測試儀器的桿狀探頭，其特征在于，包括將桿狀探頭直接卡合在夾持架的卡槽上，所述夾持架包括相對間隔設(shè)置的兩卡板和一底板，所述兩卡板的底部通過所述底板連接，所述兩卡板的上部對應(yīng)設(shè)有一用于卡住所述桿狀探頭的所述卡槽，形成卡槽對，所述卡槽的形狀呈斜向圓弧楔口型。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測量儀器的夾持方法，其特征在于，所述卡槽對的數(shù)量是兩個以上，兩個以上的卡槽對沿所述卡板的縱向間隔設(shè)置。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測量儀器的夾持方法，其特征在于，所述卡槽對的數(shù)量時三個。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測量儀器的夾持方法，其特征在于，所述夾持架的下方固定設(shè)有一支撐架。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的測量儀器的夾持方法，其特征在于，所述支撐架與所述底板垂直固定連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的測量儀器的夾持方法，其特征在于，所述支撐架固定連接于所述底板的中部。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的測量儀器的夾持方法，其特征在于，所述支撐桿和所述夾持架一體成型。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測量儀器的夾持方法，其特征在于，所述兩卡板采用彈性材料。
9.根據(jù)權(quán)利要求1-8所述的測量儀器的夾持方法，其特征在于，所述卡槽的形狀是一帶有斜向上缺口的橢圓。
10.根據(jù)權(quán)利要求9中任意所述的測量儀器的夾持方法，其特征在于，所述橢圓的短軸和長軸的比值是1/3-1/5，所述長軸與豎直方向的夾角是30-60度。
【文檔編號】G01R1/02GK103439535SQ201310385764
【公開日】2013年12月11日 申請日期:2013年8月29日 優(yōu)先權(quán)日:2013年8月29日
【發(fā)明者】程蒙, 馬力鵬 申請人:上海宏力半導(dǎo)體制造有限公司