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一種檢測平行度的方法

文檔序號:5868135閱讀:2478來源:國知局
專利名稱:一種檢測平行度的方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及檢測一個平面相對于一個基準平面的平行度的方法,具體涉及一種檢測平行度的方法。
背景技術(shù)
在檢測一個平面相對于一個基準平面的平行度時,常用的方法有平晶干涉法、測微表測量法、光軸法等。I)平晶干涉法把平晶放在它所能覆蓋的整個被測平面上,用平晶工作面體現(xiàn)理想平面,根據(jù)測量時出現(xiàn)的干涉條紋形狀和數(shù)目來計算誤差值,該方法只適合測量精研的小平面。2)測微表測量法用三個可調(diào)支撐將被測件支撐在參考平板上,用測微儀指示,調(diào)整可調(diào)支撐,用三點或四點法進行測量,然后用測微儀讀出被測表上各點的最大與最小讀數(shù)差作為測量結(jié)果,該方法可測量中等尺寸的工件。3)光軸法利用準直類儀器,以其光軸掃描的平面作為測量基準,在工件被測位置布置測點,測出各測點相對于該測量基準的偏離量。另外,還有水平儀法、自準直儀法、互檢法等。但在應(yīng)用以上方法測量,不但對測量人員技能要求高,而且費時費力。在激光加工的時候,如打標時,需要將工件的表面與激光光線完全垂直,此時,需要測量工件表面與激光器聚焦鏡表面的平行度。光闌:光具組件中光學元件的邊緣、框架或特別設(shè)置的帶孔屏障稱為光闌。光闌孔的大小就限定了物面或像面的大小,即限定了光學系統(tǒng)的成像范圍。這個限定成像范圍的光闌稱為視場光闌。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種檢測平行度的方法,該方法通過將一具有光源A和一光闌的結(jié)構(gòu)光源頭G置于待測平面內(nèi)的方式進行檢測平行度,其方法簡單可行,調(diào)整過程簡單且不需要專門的技術(shù)人員,省時省力,檢測結(jié)果準確。本發(fā)明的目的是通過下述技術(shù)方案來實現(xiàn)的。一種檢測平行度的方法,該方法包括下述步驟:1)將一具有光源A和一等腰梯形光闌M的結(jié)構(gòu)光源頭G置于一基準平面Pl上,且光源A在等腰梯形光闌M平面上垂直投影的點位于其中心,該結(jié)構(gòu)光源頭G能夠繞光源A的發(fā)射點在與所述基準平面Pl垂直的平面內(nèi)旋轉(zhuǎn);2)將一與所述基準平面Pl平行的平面P2置于結(jié)構(gòu)光源G的投射區(qū)域內(nèi);3)光源A發(fā)出的光 線經(jīng)過等腰梯形光闌M后,投射到平面P2上,形成一個四邊形al, bl, cl,dl ;4)求出光源A在平面P2投影的四個邊的長度作為基準長度;5)將待測平面P3置于結(jié)構(gòu)光源G的投射區(qū)域內(nèi),且測量光源A發(fā)出的光線經(jīng)過等腰梯形光闌M后,投射到待測平面P3上的梯形有四條邊的長度;6)比較所述投射到待測平面P3的梯形的四條邊的長度與所述基準長度是否相等,如果相等則平行,如果不相等則不平行。進一步地,所述光源A在平面P2投影的四條邊的長度中al邊長按照下式進行計算:al=(12_ll)*sin[180。-(α+β + η)]式中,al為光源A在平面P2投影的一條邊的長度,12,11分別為光源A至平面P2的投影邊長al的兩端點的光線長度,且12 > 11 ;α為已知等腰梯形光闌M平面與基準平面Pl的夾角,β為12與11兩條光線長度的夾角,η為11與等腰梯形光闌M平面的夾角。進一步地,所述al為光源A在平面P2投影的一條邊的長度,cl為光源A在平面P2投影與al相對的一條邊的長度,cl=al0進一步地,所述光源A在平面P2投影的四條邊的長度中bl邊長按照下式進行計算:
權(quán)利要求
1.一種檢測平行度的方法,其特征在于,該方法包括下述步驟: 1)將一具有光源A和一等腰梯形光闌M的結(jié)構(gòu)光源頭G置于一基準平面Pl上,且光源A在等腰梯形光闌M平面上垂直投影的點位于其中心,該結(jié)構(gòu)光源頭G能夠繞光源A的發(fā)射點在與所述基準平面Pl垂直的平面內(nèi)旋轉(zhuǎn); 2)將一與所述基準平面Pl平行的平面P2置于結(jié)構(gòu)光源G的投射區(qū)域內(nèi); 3)光源A發(fā)出的光線經(jīng)過等腰梯形光闌M后,投射到平面P2上,形成一個四邊形al,bl,cl,dl ; 4)求出光源A在平面P2投影的四個邊的長度作為基準長度; 5)將待測平面P3置于結(jié)構(gòu)光源G的投射區(qū)域內(nèi),且測量光源A發(fā)出的光線經(jīng)過等腰梯形光闌M后,投射到待測平面P3上的梯形有四條邊的長度; 6)比較所述投射到待測平面P3的梯形的四條邊的長度與所述基準長度是否相等,如果相等則平行,如果不相等則不平行。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測平行度的方法,其特征在于,所述光源A在平面P2投影的四條邊的長度中al邊長按照下式進行計算:al=(12-ll)*sin[180° -(α+β + η)] 式中,al為光源A在平面P2投影的一條邊的長度,12、11分別為光源A至平面P2的投影邊長al的兩端點的光線長度,且12 > 11 ;α為已知等腰梯形光闌M平面與基準平面Pl的夾角,β為12與11兩條光線長度的夾角,η為11與等腰梯形光闌M平面的夾角。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的檢 測平行度的方法,其特征在于,所述al為光源A在平面P2投影的一條邊的長度,Cl為光源A在平面P2投影與al相對的一條邊的長度,cl=al。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的檢測平行度的方法,其特征在于,所述光源A在平面P2投影的四條邊的長度中bl邊長按照下式進行計算: 式中,bl為光源A在平面P2投影且與al相鄰的一條邊的長度,bO為與bl對應(yīng)的等腰梯形光闌M的一條邊的長度,13為光源A入射至等腰梯形光闌M的一條邊bO的一個端點的光線長度,12為光源A至平面P2的投影邊長al與bl的端點相交處的光線長度。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的檢測平行度的方法,其特征在于,所述光源A在平面P2投影的四條邊的長度中dl邊長按照下式進行計算:■ Ji 況 dOcl = —j1- 式中,dl為光源A在平面P2投影且與bl相對的一條邊的長度,dO為與dl對應(yīng)的等腰梯形光闌M的一條邊的長度,11為光源A至平面P2的投影邊長al與dl端點相交處的光線長度。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種檢測平行度的方法,將一具有光源和一等腰梯形光闌的結(jié)構(gòu)光源頭置于一基準平面上,將一與所述基準平面平行的平面置于結(jié)構(gòu)光源的投射區(qū)域內(nèi),平面上形成一個四邊形,求出光源在平面投影的四個邊的長度作為基準長度,將待測平面置于結(jié)構(gòu)光源的投射區(qū)域內(nèi),比較投射到待測平面四條邊的長度與基準長度是否相等來判斷其是否與基準面平行。光闌投影為等腰梯形時,通過一定角度安裝,使待測平面上投影為矩形,則證明兩個平面平行。本發(fā)明方法簡單,操作簡便。
文檔編號G01B11/02GK103234485SQ201310139280
公開日2013年8月7日 申請日期2013年4月19日 優(yōu)先權(quán)日2013年4月19日
發(fā)明者武杰杰, 王晶, 王寧 申請人:中科中涵激光設(shè)備(福建)股份有限公司
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