專(zhuān)利名稱(chēng)：真空環(huán)境下溫度比對(duì)試驗(yàn)系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及溫度傳感器計(jì)量技術(shù)，特別是一種真空環(huán)境下溫度比對(duì)試驗(yàn)系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
由于采用常壓下計(jì)量的溫度傳感器測(cè)量真空環(huán)境下氣體溫度存在諸多不確定性因素，所以本發(fā)明人認(rèn)為，很有必要建立真空環(huán)境下溫度比對(duì)試驗(yàn)系統(tǒng)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明針對(duì)目前真空環(huán)境下溫度傳感器溫度測(cè)量的溯源性問(wèn)題，提供一種真空環(huán)境下溫度比對(duì)試驗(yàn)系統(tǒng)，有效的解決了真空環(huán)境下溫度傳感器的溯源問(wèn)題。所述計(jì)量系統(tǒng)有利于通過(guò)真空環(huán)境下的標(biāo)準(zhǔn)溫度傳感器對(duì)被檢的真空環(huán)境下溫度傳感器進(jìn)行計(jì)量。本發(fā)明的技術(shù)方案如下:真空環(huán)境下溫度比對(duì)試驗(yàn)系統(tǒng)，其特征在于，包括均溫真空室，所述均溫真空室分別連接緩沖真空室和穩(wěn)壓配氣室，所述緩沖真空室通過(guò)過(guò)渡真空室連接分子泵，所述緩沖真空室、所述穩(wěn)壓配氣室和所述分子泵各自通過(guò)預(yù)抽管路連接機(jī)械泵。所述穩(wěn)壓配氣室分別連接三個(gè)氣體罐，所述穩(wěn)壓配氣室上設(shè)置有電容薄膜真空計(jì)。所述緩沖真空室設(shè)置有電容薄膜真空計(jì)以及溫度傳感器真空轉(zhuǎn)換頭。所述均溫真空室通過(guò)面密封閥連接所述穩(wěn)壓配氣室。所述緩沖真空室通過(guò)隔斷閥連接所述過(guò)渡真空室，所述隔斷閥與所述緩沖真空室的中間管路上設(shè)置有放氣閥，所述過(guò)渡真空室與所述分子泵之間設(shè)置有插板閥。所述預(yù)抽管路上設(shè)置有電磁隔斷閥。 所述過(guò)渡真空室上設(shè)置有電離規(guī)和電阻規(guī)。所述穩(wěn)壓配氣室通過(guò)三個(gè)隔斷充氣閥對(duì)應(yīng)連接所述三個(gè)氣體罐。所述均溫真空室浸泡在恒溫槽中，所述均溫真空室的外壁設(shè)置有容納標(biāo)準(zhǔn)測(cè)溫探頭的銅管，所述銅管底端被封堵。所述分子泵、機(jī)械泵、過(guò)渡真空室和穩(wěn)壓配氣室都安裝在機(jī)架上，所述機(jī)架的底部設(shè)置有帶自鎖功能的萬(wàn)向輪。本發(fā)明技術(shù)效果如下:1.通過(guò)穩(wěn)壓配氣室實(shí)現(xiàn)氣體種類(lèi)的控制，通過(guò)高精度電容薄膜規(guī)實(shí)現(xiàn)氣體濃度的精確配比，通過(guò)該穩(wěn)壓配氣室實(shí)現(xiàn)樣氣的均勻混合從而為均溫真空室提供標(biāo)準(zhǔn)樣氣。2.通過(guò)機(jī)械泵和電磁隔斷閥的切換實(shí)現(xiàn)分子泵的前級(jí)預(yù)抽，穩(wěn)壓配氣室的預(yù)抽及均溫真空室的預(yù)抽。3.整套系統(tǒng)的便攜性:系統(tǒng)集成可通過(guò)帶自鎖功能的萬(wàn)向輪實(shí)現(xiàn)移動(dòng)，通過(guò)安裝系統(tǒng)固定高純氣瓶，從而保證整套系統(tǒng)的便攜性和移動(dòng)性。進(jìn)而能夠同各溫度段的不同標(biāo)準(zhǔn)溫度槽配合使用。4.均溫真空室提供所需要的均溫環(huán)境和真空環(huán)境。


圖1是實(shí)施本發(fā)明的真空環(huán)境下溫度比對(duì)試驗(yàn)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是實(shí)施本發(fā)明的真空環(huán)境下溫度比對(duì)試驗(yàn)系統(tǒng)總體結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)圖。附圖標(biāo)記列示如下:1-均溫真空室；2_溫度標(biāo)準(zhǔn)安裝口 ；3_過(guò)渡波紋管；4-恒溫槽；5，6，19，20-電容薄膜真空計(jì)；7_溫度傳感器真空轉(zhuǎn)換頭；8_緩沖真空室；9_放氣閥；10_隔斷閥；11_電離規(guī)；12_電阻規(guī)；13_面密封閥；14_過(guò)渡真空室；15_分子泵；16，17，18-電磁隔斷閥；21_配氣穩(wěn)壓室;22，23，24_隔斷充氣閥;25，26，27_ (高純)氣體罐；28_插板閥；29_機(jī)械泵；30_可移動(dòng)控制系統(tǒng)；31_安裝系統(tǒng)。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖(圖1-圖2)對(duì)本發(fā)明進(jìn)行說(shuō)明。圖1是實(shí)施本發(fā)明的真空環(huán)境下溫度比對(duì)試驗(yàn)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是實(shí)施本發(fā)明的真空環(huán)境下溫度比對(duì)試驗(yàn)系統(tǒng)總體結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)圖。如圖1和圖2所示，真空環(huán)境下溫度比對(duì)試驗(yàn)系統(tǒng)，包括均溫真空室1，所述均溫真空室I分別連接緩沖真空室8和穩(wěn)壓配氣室21，所述緩沖真空室8通過(guò)過(guò)渡真空室14連接分子泵15，所述緩沖真空室8、所述穩(wěn)壓配氣室21和所述分子泵15各自通過(guò)預(yù)抽管路連接機(jī)械泵29。所述穩(wěn)壓配氣室21分別連接三個(gè)氣體罐25、26、27，所述穩(wěn)壓配氣室21上設(shè)置有電容薄膜真空計(jì)19、20。所述緩沖真空室8設(shè)置有電容薄膜真空計(jì)5、6以及溫度傳感器真空轉(zhuǎn)換頭7。所述均溫真空室I通過(guò)面密封閥13連接所述穩(wěn)壓配氣室21。所述緩沖真空室8通過(guò)隔斷閥10連接所述過(guò)渡真空室14，所述隔斷閥10與所述緩沖真空室8的中間管路上設(shè)置有放氣閥9，所述過(guò)渡真空室14與所述分子泵15之間設(shè)置有插板閥28。所述預(yù)抽管路上設(shè)置有電磁隔斷閥16、17、18。所述過(guò)渡真空室14上設(shè)置有電離規(guī)11和電阻規(guī)12。所述穩(wěn)壓配氣室21通過(guò)三個(gè)隔斷充氣閥22、23、24對(duì)應(yīng)連接所述三個(gè)氣體罐25、26、27。所述均溫真空室I浸泡在恒溫槽4中，所述均溫真空室I的外壁設(shè)置有容納標(biāo)準(zhǔn)測(cè)溫探頭的銅管，所述銅管底端被封堵。所述銅管的上端連接溫度標(biāo)準(zhǔn)安裝口 2。所述分子泵15、機(jī)械泵29、過(guò)渡真空室14和穩(wěn)壓配氣室21都安裝在機(jī)架上，所述機(jī)架的底部設(shè)置有帶自鎖功能的萬(wàn)向輪。所述機(jī)架上設(shè)置有可移動(dòng)控制系統(tǒng)30和安裝系統(tǒng)31。真空環(huán)境下溫度比對(duì)試驗(yàn)系統(tǒng)裝置分四個(gè)部分，真空機(jī)組、配氣穩(wěn)壓室、均溫真空室、緩沖真空室。真空機(jī)組為穩(wěn)壓室或真空室提供真空，真空機(jī)組由分子泵和機(jī)械泵組成，配氣穩(wěn)壓室是一個(gè)混氣室，可以把三路氣體進(jìn)行混合，三個(gè)高純氣體罐提供三種氣源，氣體用微調(diào)閥送入試驗(yàn)真空腔，獲得設(shè)定的真空度。均溫真空室(也稱(chēng)試驗(yàn)真空腔)可以放置標(biāo)準(zhǔn)溫度傳感器和被檢溫度傳感器。在適當(dāng)?shù)奈恢糜姓婵諟y(cè)量規(guī)管。均溫真空室I與其他部分的連接采用波紋管3以保證系統(tǒng)同不同高度和尺寸的標(biāo)準(zhǔn)溫度槽的匹配性。真空環(huán)境下溫度比對(duì)試驗(yàn)系統(tǒng)裝置涉及溫度傳感器在真空狀態(tài)下的校準(zhǔn)工作。試驗(yàn)真空腔(室)浸泡在恒溫槽中，恒溫槽提供所需的溫度條件。被檢驗(yàn)件放置到真空腔的內(nèi)部，標(biāo)準(zhǔn)測(cè)溫探頭放在真空室的外壁的銅管中。真空腔內(nèi)的真空度可以在一定范圍內(nèi)變化，真空的變化主要靠真空抽氣裝置和充氣裝置配合實(shí)現(xiàn)，實(shí)現(xiàn)方式為手動(dòng)閥門(mén)控制。在機(jī)械泵的進(jìn)氣口有一個(gè)四通，將抽氣分成三路，分別用三個(gè)電磁閥隔斷，其中一路和混氣室連接，一路和分子泵出氣口連接，一路和預(yù)抽管路連接。在抽氣過(guò)程中，只允許一路抽氣，其他兩路隔斷閥保持關(guān)閉。
在此指明，以上敘述有助于本領(lǐng)域技術(shù)人員理解本發(fā)明創(chuàng)造，但并非限制本發(fā)明創(chuàng)造的保護(hù)范圍。任何沒(méi)有脫離本發(fā)明創(chuàng)造實(shí)質(zhì)內(nèi)容的對(duì)以上敘述的等同替換、修飾改進(jìn)和/或刪繁從簡(jiǎn)而進(jìn)行的實(shí)施，均落入本發(fā)明創(chuàng)造的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
1.空環(huán)境下溫度比對(duì)試驗(yàn)系統(tǒng)，其特征在于，包括均溫真空室，所述均溫真空室分別連接緩沖真空室和穩(wěn)壓配氣室，所述緩沖真空室通過(guò)過(guò)渡真空室連接分子泵，所述緩沖真空室、所述穩(wěn)壓配氣室和所述分子泵各自通過(guò)預(yù)抽管路連接機(jī)械泵。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空環(huán)境下溫度比對(duì)試驗(yàn)系統(tǒng)，其特征在于，所述穩(wěn)壓配氣室分別連接三個(gè)氣體罐，所述穩(wěn)壓配氣室上設(shè)置有電容薄膜真空計(jì)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空環(huán)境下溫度比對(duì)試驗(yàn)系統(tǒng)，其特征在于，所述緩沖真空室設(shè)置有電容薄膜真空計(jì)以及溫度傳感器真空轉(zhuǎn)換頭。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空環(huán)境下溫度比對(duì)試驗(yàn)系統(tǒng)，其特征在于，所述均溫真空室通過(guò)面密封閥連接所述穩(wěn)壓配氣室。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空環(huán)境下溫度比對(duì)試驗(yàn)系統(tǒng)，其特征在于，所述緩沖真空室通過(guò)隔斷閥連接所述過(guò)渡真空室，所述隔斷閥與所述緩沖真空室的中間管路上設(shè)置有放氣閥，所述過(guò)渡真空室與所述分子泵之間設(shè)置有插板閥。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空環(huán)境下溫度比對(duì)試驗(yàn)系統(tǒng)，其特征在于，所述預(yù)抽管路上設(shè)置有電磁隔斷閥。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空環(huán)境下溫度比對(duì)試驗(yàn)系統(tǒng)，其特征在于，所述過(guò)渡真空室上設(shè)置有電離規(guī)和電阻規(guī)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空環(huán)境下溫度比對(duì)試驗(yàn)系統(tǒng)，其特征在于，所述穩(wěn)壓配氣室通過(guò)三個(gè)隔斷充氣閥對(duì)應(yīng)連接所述三個(gè)氣體罐。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空環(huán)境下溫度比對(duì)試驗(yàn)系統(tǒng)，其特征在于，所述均溫真空室浸泡在恒溫槽中，所述均溫真空室的外壁設(shè)置有容納標(biāo)準(zhǔn)測(cè)溫探頭的銅管，所述銅管底端被封堵。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空環(huán)境下溫度比對(duì)試驗(yàn)系統(tǒng)，其特征在于，所述分子泵、機(jī)械泵、過(guò)渡真空室和穩(wěn)壓配氣室都安裝在機(jī)架上，所述機(jī)架的底部設(shè)置有帶自鎖功能的萬(wàn)向輪。
全文摘要
真空環(huán)境下溫度比對(duì)試驗(yàn)系統(tǒng)，所述計(jì)量系統(tǒng)有利于通過(guò)真空環(huán)境下的標(biāo)準(zhǔn)溫度傳感器對(duì)被檢的真空環(huán)境下溫度傳感器進(jìn)行計(jì)量，其特征在于，包括均溫真空室，所述均溫真空室分別連接緩沖真空室和穩(wěn)壓配氣室，所述緩沖真空室通過(guò)過(guò)渡真空室連接分子泵，所述緩沖真空室、所述穩(wěn)壓配氣室和所述分子泵各自通過(guò)預(yù)抽管路連接機(jī)械泵。
文檔編號(hào)G01K15/00GK103090995SQ20131004750
公開(kāi)日2013年5月8日 申請(qǐng)日期2013年2月6日 優(yōu)先權(quán)日2013年2月6日
發(fā)明者張書(shū)鋒, 賈軍偉, 栗繼軍, 張明志, 楊力, 劉展, 李紹飛, 宋瑞海 申請(qǐng)人:北京東方計(jì)量測(cè)試研究所