專利名稱：一種涂布膜面烘箱用epc監(jiān)測(cè)報(bào)警裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及光阻干膜生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種對(duì)涂布膜面烘烤運(yùn)行過(guò)程進(jìn)行監(jiān)測(cè)的裝置。
背景技術(shù)：
在光阻干膜生產(chǎn)過(guò)程中，光刻膠層涂布于PET載體層上后需要經(jīng)過(guò)高溫烘烤。目前現(xiàn)有技術(shù)對(duì)涂布膜面的烘烤通常使用的是具有進(jìn)排氣系統(tǒng)、由多節(jié)(10節(jié)左右)烘箱串聯(lián)而成的烘箱裝置。烘烤過(guò)程中，涂布膜面依次經(jīng)各節(jié)烘箱、依靠上下風(fēng)量漂浮傳輸通過(guò)，漂浮傳輸?shù)木嚯x達(dá)40多米。實(shí)際生產(chǎn)中，只是在膜面涂布前以及出烘箱裝置時(shí)進(jìn)行EPCXEdgePosition Control，邊沿位置控制)監(jiān)測(cè)控制，對(duì)于烘箱內(nèi)的涂布膜面沒有實(shí)施監(jiān)測(cè)。由于無(wú)法了解到烘箱裝置內(nèi)漂浮段涂布膜面的運(yùn)行狀況，因此經(jīng)常會(huì)發(fā)生由于PET張力不良形成左右方向的橫向偏移而導(dǎo)致斷膜的問(wèn)題，不僅造成材料的浪費(fèi)、增加了生產(chǎn)成本，而且需要停機(jī)進(jìn)行斷膜處理，嚴(yán)重影響了生產(chǎn)的穩(wěn)定運(yùn)行和生產(chǎn)效率的提高。此外，斷膜處理過(guò)程中烘箱裝置內(nèi)的VOC也會(huì)對(duì)操作人員帶來(lái)危害。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種可對(duì)烘箱內(nèi)烘烤運(yùn)行過(guò)程中的涂布膜面進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)并報(bào)警的涂布膜面烘箱用EPC監(jiān)測(cè)報(bào)警裝置，以便當(dāng)涂布膜面在烘箱內(nèi)偏移量發(fā)生異常時(shí)及時(shí)發(fā)出警報(bào)，使得操作人員能夠及時(shí)做出調(diào)整而避免斷膜停機(jī)的現(xiàn)象，從而保證生產(chǎn)的持續(xù)穩(wěn)定運(yùn)行。本實(shí)用新型的目的通過(guò)以下技術(shù)方案予以實(shí)現(xiàn):本實(shí)用新型提供的一種涂布膜面烘箱用EPC監(jiān)測(cè)報(bào)警裝置，包括耐高溫檢測(cè)探頭、安裝機(jī)構(gòu)、耐熱線纜、接收單元、報(bào)警器；所述耐高溫檢測(cè)探頭通過(guò)安裝機(jī)構(gòu)設(shè)置在烘箱內(nèi)的二側(cè)、且與涂布膜面的邊沿對(duì)應(yīng)；所述耐高溫檢測(cè)探頭通過(guò)耐熱線纜與接收單元連接；所述接收單元設(shè)置在烘箱外、且與報(bào)警器連接。本實(shí)用新型通過(guò)耐高溫檢測(cè)探頭監(jiān)測(cè)涂布膜面的左右漂浮偏移量，當(dāng)出現(xiàn)異常時(shí)耐高溫檢測(cè)探頭產(chǎn)生信號(hào)并經(jīng)耐熱線纜傳輸至接收單元；接收單元將接收到的電壓信號(hào)轉(zhuǎn)換為光信號(hào)，然后反饋到報(bào)警器而發(fā)出警報(bào)。進(jìn)一步地，本實(shí)用新型所述耐高溫檢測(cè)探頭其中間具有凹槽而呈橫向“U”型，所述涂布膜面的邊沿位于凹槽內(nèi)；所述耐高溫檢測(cè)探頭的觸點(diǎn)位于凹槽的底面上而對(duì)應(yīng)于涂布膜面的側(cè)邊緣。進(jìn)一步地，本實(shí)用新型所述安裝機(jī)構(gòu)包括固定柱、調(diào)節(jié)支架、連接桿；所述固定柱設(shè)置在烘箱的內(nèi)壁上，所述調(diào)節(jié)支架活動(dòng)套接在固定柱上；所述耐高溫檢測(cè)探頭設(shè)置在調(diào)節(jié)支架的端頭。根據(jù)實(shí)際需要，本實(shí)用新型通過(guò)將調(diào)節(jié)支架在固定柱上轉(zhuǎn)動(dòng)來(lái)改變耐高溫檢測(cè)探頭的高低，以適應(yīng)涂布膜面所處的位置。本實(shí)用新型具有以下有益效果:本實(shí)用新型實(shí)現(xiàn)了對(duì)烘箱裝置內(nèi)涂布膜面運(yùn)行狀況的實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)。當(dāng)涂布膜面在烘箱內(nèi)左右偏移量發(fā)生異常時(shí)可及時(shí)發(fā)出警報(bào)，使得操作人員能夠及時(shí)做出調(diào)整而避免斷膜停機(jī)的現(xiàn)象，不僅節(jié)省了人力物力，減少了材料的浪費(fèi)，而且保證了生產(chǎn)的持續(xù)穩(wěn)定運(yùn)行，提高了生產(chǎn)效率；同時(shí)也可避免由于處理斷膜而造成的烘箱裝置內(nèi)的VOC對(duì)操作人員帶來(lái)的危害。

下面將結(jié)合實(shí)施例和附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的詳細(xì)描述:圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是圖1的A向局部剖視圖。圖中:耐高溫檢測(cè)探頭1，凹槽11，安裝機(jī)構(gòu)2，固定柱21，調(diào)節(jié)支架22，耐熱線纜3，接收單元4，烘箱5，涂布膜面6。
具體實(shí)施方式
圖1所示為本實(shí)用新型一種涂布膜面烘箱裝置用EPC監(jiān)測(cè)報(bào)警裝置，包括耐高溫檢測(cè)探頭1、安裝機(jī)構(gòu)2、耐熱線纜3、接收單元4、報(bào)警器。如圖1和圖2所示，安裝機(jī)構(gòu)2包括固定柱21、調(diào)節(jié)支架22。固定柱21設(shè)置在烘箱5內(nèi)二側(cè)的內(nèi)壁上、且對(duì)應(yīng)于涂布膜面6的邊沿位置；調(diào)節(jié)支架22活動(dòng)套接在固定柱21上，耐高溫檢測(cè)探頭I設(shè)置在調(diào)節(jié)支架22的端頭。如圖1所示，耐高溫檢測(cè)探頭I其中間具有凹槽11而呈橫向“U”型，其觸點(diǎn)位于凹槽11的底面上。涂布膜面6的邊沿位于耐高溫檢測(cè)探頭I的凹槽11內(nèi)。耐高溫檢測(cè)探頭I通過(guò)耐熱線纜3與接收單元4連接。接收單元4設(shè)置在烘箱5的外面、且與報(bào)警器(生產(chǎn)中報(bào)警器可設(shè)置在無(wú)塵室內(nèi)以便于觀察)連接。本實(shí)施例工作原理如下:涂布膜面6在烘箱5內(nèi)傳輸運(yùn)行，當(dāng)其左右漂浮偏移量發(fā)生異常時(shí)則與耐高溫檢測(cè)探頭I接觸，耐高溫檢測(cè)探頭I便產(chǎn)生信號(hào)并經(jīng)耐熱線纜3傳輸至接收單元4。接收單元4將接收到的電壓信號(hào)轉(zhuǎn)換為光信號(hào)，然后反饋到報(bào)警器而發(fā)出警報(bào)。此外，可根據(jù)實(shí)際需要，通過(guò)將調(diào)節(jié)支架22在固定柱21上轉(zhuǎn)動(dòng)來(lái)改變耐高溫檢測(cè)探頭I的高低，以適應(yīng)涂布膜面6所處的位置。
權(quán)利要求1.一種涂布膜面烘箱用EPC監(jiān)測(cè)報(bào)警裝置，其特征在于:包括耐高溫檢測(cè)探頭(I)、安裝機(jī)構(gòu)(2)、耐熱線纜(3)、接收單元(4)、報(bào)警器；所述耐高溫檢測(cè)探頭(I)通過(guò)安裝機(jī)構(gòu)(2)設(shè)置在烘箱(5)內(nèi)的二側(cè)、且與涂布膜面(6)的邊沿對(duì)應(yīng)；所述耐高溫檢測(cè)探頭⑴通過(guò)耐熱線纜(3)與接收單元(4)連接；所述接收單元(4)設(shè)置在烘箱(5)外、且與報(bào)警器連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的涂布膜面烘箱用EPC監(jiān)測(cè)報(bào)警裝置，其特征在于:所述耐高溫檢測(cè)探頭(I)其中間具有凹槽(11)而呈橫向“U”型，所述涂布膜面(6)的邊沿位于凹槽(11)內(nèi)；所述耐高溫檢測(cè)探頭⑴的觸點(diǎn)位于凹槽(11)的底面上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的涂布膜面烘箱用EPC監(jiān)測(cè)報(bào)警裝置，其特征在于:所述安裝機(jī)構(gòu)(2)包括固定柱(21)、調(diào)節(jié)支架(22);所述固定柱(21)設(shè)置在烘箱(5)的內(nèi)壁上，所述調(diào)節(jié)支架(22)活動(dòng)套接在固定柱(21)上；所述耐高溫檢測(cè)探頭(I)設(shè)置在調(diào)節(jié)支架(22)的〗而頭。`
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種涂布膜面烘箱用EPC監(jiān)測(cè)報(bào)警裝置，包括耐高溫檢測(cè)探頭、安裝機(jī)構(gòu)、耐熱線纜、接收單元、報(bào)警器；所述耐高溫檢測(cè)探頭通過(guò)安裝機(jī)構(gòu)設(shè)置在烘箱內(nèi)的二側(cè)、且與涂布膜面邊沿的上方及下方對(duì)應(yīng)；所述耐高溫檢測(cè)探頭通過(guò)耐熱線纜與接收單元連接；所述接收單元設(shè)置在烘箱外、且與報(bào)警器連接。本實(shí)用新型實(shí)現(xiàn)對(duì)烘箱裝置內(nèi)涂布膜面運(yùn)行狀況的實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，當(dāng)涂布膜面在烘箱內(nèi)偏移量發(fā)生異常時(shí)可及時(shí)發(fā)出警報(bào)，使得操作人員能夠及時(shí)做出調(diào)整而避免斷膜停機(jī)的現(xiàn)象，不僅減少了材料的浪費(fèi)，而且有效保證了生產(chǎn)的持續(xù)穩(wěn)定運(yùn)行和生產(chǎn)效率的提高。
文檔編號(hào)G01B21/00GK202974226SQ201220725658
公開日2013年6月5日 申請(qǐng)日期2012年12月25日 優(yōu)先權(quán)日2012年12月25日
發(fā)明者鄧毅強(qiáng), 鄭然 , 馬亮宇 申請(qǐng)人:長(zhǎng)興(廣州)電子材料有限公司