專利名稱：一種壓力傳感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于壓力傳感器制造技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種壓力傳感器芯體。
背景技術(shù)：
傳感器制作現(xiàn)有技術(shù)是利用集成電路工藝，在N型硅片上擴(kuò)散進(jìn)P型雜質(zhì)，在兩者接觸面上形成PN結(jié)，再以一系列工序，做成惠斯頓電橋，用以感受壓力。再通過焊錫，將內(nèi)外引線焊接，再用螺紋加膠接方式進(jìn)行各部件的裝配。用此工藝制作的傳感器，由于是PN結(jié)隔離，隨著溫度升高，漏電流增大，以至性能嚴(yán)重惡化，其極限溫度是125°C。再是引線焊接，通用焊錫溫度168°C，高溫焊錫說是30(T40(TC，實(shí)際到250°C就熔化了，另外，就是裝配問題，利用膠接和螺紋方式，在高溫和強(qiáng)烈振動(dòng)的環(huán)境中，膠粘劑就會(huì)炭化，螺紋就會(huì)松動(dòng)，從而引起傳感器失效。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于克服上述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，提供一種壓力傳感器，該傳感器通過結(jié)構(gòu)優(yōu)化，使其能夠在強(qiáng)烈振動(dòng)及復(fù)雜沖擊波沖擊后，結(jié)構(gòu)完整，保持正常工作能力，無異常現(xiàn)象。本實(shí)用新型的目的是通過以下技術(shù)方案來解決的:這種壓力傳感器，包括金屬套管以及套在金屬套管內(nèi)的芯體，所述芯體與金屬套管的連接部分設(shè)有螺紋，芯體與金屬套管通過螺紋加激光焊接的方式連接在一起。上述芯體包括圓柱狀的殼體，在所述殼體的上端設(shè)置有水平凹槽，所述水平凹槽內(nèi)焊接有SOI芯片。上述殼體內(nèi)設(shè)置有引線電極，所述SOI芯片的壓焊點(diǎn)電極通過金絲與殼體的引線電極連接。上述殼體的下部設(shè)置有環(huán)形凹槽。上述金屬套管的一端設(shè)置有外螺紋，金屬套管中部通過套設(shè)并固定有螺母。上述芯體的內(nèi)弓丨線通過夾具連接至外引線。本實(shí)用新型的壓力傳感器采用芯體和金屬套管采用螺紋加激光焊接的連接方式，解決了在強(qiáng)烈振動(dòng)及復(fù)雜沖擊波沖擊后，結(jié)構(gòu)完整，保持正常工作能力，無異常現(xiàn)象。

圖1為本實(shí)用新型的芯體A抽出金屬套管B的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實(shí)用新型完整裝配后結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本實(shí)用新型的芯體A結(jié)構(gòu)剖視圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖對本實(shí)用新型做進(jìn)一步詳細(xì)描述:[0016]參見圖1和圖2:本實(shí)用新型的壓力傳感器，包括金屬套管B以及套在金屬套管B內(nèi)的芯體A，芯體A與金屬套管B的連接部分設(shè)有螺紋，芯體A與金屬套管B通過螺紋加激光焊接的方式連接在一起。金屬套管B的一端設(shè)置有外螺紋E，金屬套管B中部通過套設(shè)并固定有螺母D。芯體A的內(nèi)引線8通過夾具7連接至外引線9。參見圖3:本實(shí)用新型所述的芯體A包括圓柱狀的殼體1，在殼體I的上端設(shè)置有水平凹槽4，水平凹槽4內(nèi)焊接有SOI芯片2。殼體I內(nèi)設(shè)置有引線電極，所述SOI芯片2的壓焊點(diǎn)電極通過金絲3與殼體I的引線電極連接。殼體I的下部設(shè)置有環(huán)形凹槽5。
權(quán)利要求1.一種壓力傳感器，其特征在于，包括金屬套管(B)以及套在金屬套管(B)內(nèi)的芯體(A)，所述芯體(A)與金屬套管(B)的連接部分設(shè)有螺紋，芯體(A)與金屬套管(B)通過螺紋加激光焊接的方式連接在一起。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力傳感器，其特征在于，所述芯體(A)包括圓柱狀的殼體(1)，在所述殼體(I)的上端設(shè)置有水平凹槽(4)，所述水平凹槽(4)內(nèi)焊接有SOI芯片(2)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的壓力傳感器，其特征在于，所述殼體(I)內(nèi)設(shè)置有引線電極，所述SOI芯片(2)的壓焊點(diǎn)電極通過金絲(3)與殼體(I)的引線電極連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的壓力傳感器，其特征在于，所述殼體(I)的下部設(shè)置有環(huán)形凹槽(5)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力傳感器，其特征在于，所述金屬套管(B)的一端設(shè)置有外螺紋(E )，金屬套管(B )中部通過套設(shè)并固定有螺母(D )。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力傳感器，其特征在于，所述芯體(A)的內(nèi)引線(8)通過夾具(7)連接至外引線(9)。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種壓力傳感器，包括金屬套管以及套在金屬套管內(nèi)的芯體，所述芯體與金屬套管的連接部分設(shè)有螺紋，芯體與金屬套管通過螺紋加激光焊接的方式連接在一起。本實(shí)用新型的壓力傳感器采用芯體和金屬套管采用螺紋加激光焊接的連接方式，解決了在強(qiáng)烈振動(dòng)及復(fù)雜沖擊波沖擊后，結(jié)構(gòu)完整，保持正常工作能力，無異?，F(xiàn)象。
文檔編號G01L9/04GK203053627SQ20122061509
公開日2013年7月10日 申請日期2012年11月19日 優(yōu)先權(quán)日2012年11月19日
發(fā)明者袁曉斌, 陳龍, 張妮妮, 劉秀娥 申請人:西安微納傳感器研究所有限公司