專利名稱：一種法拉第筒的制作方法
技術(shù)領域：
本實用新型涉及一種加速器設備，尤其是一種法拉第筒。
背景技術(shù)：
由于大面積時電位下垂和低能束在表面的反射系數(shù)大，而且反射電子能量很大，所以低能大面積電子束的測量不能采用常規(guī)的入射光蘭-抑制極光蘭-測量靶的方法進行測量。

實用新型內(nèi)容本實用新型提供了一種實現(xiàn)低能大面積電子束測量的法拉第筒。實現(xiàn)本實用新型目的的法拉第筒，包括本體，位于本體上方的前柵網(wǎng)，位于前柵網(wǎng)下方的抑制極柵網(wǎng)，位于本體底部的多個小孔深筒。所述小孔深筒長度和本體筒長之比可用導出的公式進行優(yōu)化設計，使測量誤差最小。本實用新型的法拉第筒的有益效果如下:本實用新型的法拉第筒，前柵網(wǎng)用來屏蔽外場干擾，抑制極柵網(wǎng)用來抑制二次電子，解決了大面積時電位下垂問題；同時，底部小孔深筒用來抑制反射電子對測量的影響，從而實現(xiàn)低能大面積電子束的測量；根據(jù)小孔深筒的小孔的占空比優(yōu)化設計所述小孔深筒長度和本體筒長之比，可使測量誤差最小。

圖1為本實用新型的法拉第筒的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
如圖1所示，本實用新型的法拉第筒，包括本體4，位于本體4上方的前柵網(wǎng)1，位于前柵網(wǎng)I下方的抑制極柵網(wǎng)2，位于本體4底部的多個小孔深筒3。所述小孔深筒長度和本體筒長之比可用公式進行優(yōu)化設計，使測量誤差最小。本實用新型的法拉第筒的優(yōu)點如下:本實用新型的法拉第筒，前柵網(wǎng)用來屏蔽外場干擾，抑制極柵網(wǎng)用來抑制二次電子，底部小孔深筒用來抑制反射電子對測量的影響，從而實現(xiàn)低能大面積電子束的測量。上面所述的實施例僅僅是對本實用新型的優(yōu)選實施方式進行描述，并非對本實用新型的范圍進行限定，在不脫離本實用新型設計精神前提下，本領域普通工程技術(shù)人員對本實用新型技術(shù)方案做出的各種變形和改進，均應落入本實用新型的權(quán)利要求書確定的保護范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種法拉第筒，其特征在于:包括本體，位于本體上方的前柵網(wǎng)，位于前柵網(wǎng)下方的抑制極柵網(wǎng)，位于本體底部的多個小孔深筒。
專利摘要本實用新型提供了一種實現(xiàn)低能大面積電子束測量的法拉第筒，包括本體，位于本體上方的前柵網(wǎng)，位于前柵網(wǎng)下方的抑制極柵網(wǎng)，位于本體底部的多個小孔深筒。本實用新型的法拉第筒，前柵網(wǎng)用來屏蔽外場干擾，抑制極柵網(wǎng)用來抑制二次電子，底部小孔深筒用來抑制反射電子對測量的影響，從而實現(xiàn)低能大面積電子束的測量。
文檔編號G01T1/29GK202995047SQ20122058167
公開日2013年6月12日 申請日期2012年11月7日 優(yōu)先權(quán)日2012年11月7日
發(fā)明者張華順, 趙濤 申請人:北京高能科迪科技有限公司