專利名稱：一種懸浮粒子檢測裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型屬于潔凈技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種懸浮粒子檢測裝置，特別涉及一種應(yīng)用于氣體環(huán)境下的懸浮粒子檢測裝置。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體、液晶顯示器、太陽能轉(zhuǎn)換裝置等精密器件的生產(chǎn)過程中，由于其加工對象往往是微米級甚至是納米級的精密器件，因此用于制造這些精密器件的工藝設(shè)備的潔凈程度，特別是工藝設(shè)備機臺工作面上的懸浮粒子濃度會直接影響這些精密器件的加工品質(zhì)?，F(xiàn)有技術(shù)中一般采用手持式或在線式的激光型粒子計數(shù)器實時檢測工藝設(shè)備所處的工作環(huán)境中的懸浮粒子濃度，所述激光型粒子計數(shù)器采用空間定點恒速氣流采樣的工作方式，即將采樣空氣導(dǎo)入激光計數(shù)器中以粒子計數(shù)的方式進行懸浮粒子濃度測試，但由于實際生產(chǎn)過程中加工件(精密器件)會頻繁取放，使得工藝設(shè)備所處的工作環(huán)境中的氣流變化劇烈，造成氣流擾動，當工作環(huán)境中的氣流發(fā)生擾動時，導(dǎo)入激光計數(shù)器中的氣流變得極不穩(wěn)定，會導(dǎo)致激光型粒子計數(shù)器工作異常、數(shù)據(jù)失真，因而激光型粒子計數(shù)器在氣流擾動的狀態(tài)下無法正常工作；而且現(xiàn)有的激光型粒子計數(shù)器受工藝設(shè)備結(jié)構(gòu)及設(shè)置位置的制約，無法對工藝設(shè)備機臺內(nèi)部，特別是機臺工作面上的懸浮粒子濃度進行有效檢測。

實用新型內(nèi)容本實用新型所要解決的技術(shù)問題是針對現(xiàn)有技術(shù)中所存在的上述缺陷，提供一種不受工藝設(shè)備結(jié)構(gòu)及設(shè)置位置的制約，且能夠?qū)崟r、有效地檢測工藝設(shè)備內(nèi)部以及機臺工作面上的懸浮粒子濃度情況的懸浮粒子檢測裝置。解決本實用新型技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是所述懸浮粒子檢測裝置包括光源、攝像單元以及檢測結(jié)果輸出單元；所述光源用于向懸浮粒子待測區(qū)域發(fā)射光線；所述攝像單元用于實時獲取待測區(qū)域內(nèi)懸浮粒子的圖像，并將所述圖像發(fā)送給所述檢測結(jié)果輸出單元；所述檢測結(jié)果輸出單元用于根據(jù)所述攝像單元發(fā)送的圖像實時輸出懸浮粒子檢測結(jié)果?？蛇x地，所述檢測裝置還包括圖像處理單元，其分別與攝像單元和檢測結(jié)果輸出單元相連，用于實時接收攝像單元獲取的所述待測區(qū)域內(nèi)懸浮粒子的圖像，并將所述圖像處理后實時發(fā)送給所述檢測結(jié)果輸出單元；所述檢測結(jié)果輸出單元用于根據(jù)所述圖像處理單元發(fā)送的處理后的圖像實時輸出懸浮粒子檢測結(jié)果；其中，所述圖像處理單元對圖像的處理包括對圖像的放大、亮度增強、色彩對比度增強中的至少一種?？蛇x地，所述圖像處理單元對圖像進行放大時，放大倍數(shù)為IO4IO6倍?？蛇x地，所述圖像處理單元包括光電倍增管。可選地，所述檢測裝置還包括吸光單元，所述吸光單元用于吸收光源發(fā)射的經(jīng)過所述懸浮粒子待測區(qū)域后的光線?？蛇x地，所述吸光單元具有表面粗糙漫反射的結(jié)構(gòu)。可選地，所述吸光單元的材質(zhì)為黑色碳帶?？蛇x地，所述光源發(fā)射的光線為可見光或能夠被所述攝像單元采集到的非可見光?？蛇x地，所述光源所發(fā)射光線的波長為532nm±20nm?？蛇x地，所述光源采用發(fā)光體為光電二極管的光源，其功率的調(diào)整范圍為20w^80wo可選地，所述光源的功率為20 80 ，所述攝像單元與所述懸浮粒子待測區(qū)域之間的距離為IOOcm 500cm。 可選地，所述懸浮粒子待測區(qū)域內(nèi)的氣流速度不超過5m/s時，所述攝像單元的拍攝頻率為50Hz 60Hz?？蛇x地，所述圖像處理單元還用于根據(jù)接收到的圖像進行數(shù)據(jù)運算并將數(shù)據(jù)運算結(jié)果發(fā)送給所述檢測結(jié)果輸出單元；所述檢測結(jié)果輸出單元輸出的所述懸浮粒子檢測結(jié)果為所述圖像處理單元發(fā)送來的圖像和/或所述數(shù)據(jù)運算結(jié)果；其中，所述數(shù)據(jù)運算結(jié)果包括以下結(jié)果中的至少一種所接收到的圖像中單位面積內(nèi)大于或等于預(yù)設(shè)粒徑尺寸的懸浮粒子的個數(shù)；所接收到的圖像中單位面積內(nèi)不同粒徑尺寸范圍內(nèi)的懸浮粒子個數(shù)比、或者單位面積內(nèi)不同粒徑尺寸范圍內(nèi)的懸浮粒子個數(shù)在隨時間變化的曲線圖或單位時間變化率。可選地，所述檢測裝置還包括警報單元，所述警報單元與所述圖像處理單元相連，所述警報單元用于實時接收圖像處理單元輸出的所述數(shù)據(jù)運算結(jié)果，并將所述數(shù)據(jù)運算結(jié)果與其內(nèi)預(yù)設(shè)的預(yù)警閾值進行比較，當所述數(shù)據(jù)運算結(jié)果大于或等于所述預(yù)警閾值時，發(fā)出預(yù)警提示。可選地，所述檢測裝置包括的各個單元通過箱體集中設(shè)置，所述檢測結(jié)果輸出單元的顯示屏設(shè)置在所述箱體的外表面上；或者，所述檢測裝置包括的各個單元采用分散式設(shè)置方式，所述檢測結(jié)果輸出單元通過無線信號與所述圖像處理單元進行通信。有益效果I)本實用新型所述懸浮粒子檢測裝置的結(jié)構(gòu)簡單、體積小、便于拆裝，并可根據(jù)實際需求設(shè)置在任意工藝設(shè)備中任何需實時檢測懸浮粒子濃度的位置上，例如可設(shè)置在工藝設(shè)備的內(nèi)部或者工藝設(shè)置的機臺工作面上，因而與現(xiàn)有技術(shù)相比不受工藝設(shè)備結(jié)構(gòu)及設(shè)置位置的制約；2)所述懸浮粒子檢測裝置采用實時獲取待測區(qū)域內(nèi)懸浮粒子的圖像(即實時捕捉懸浮粒子在光源發(fā)射的光線中的散射、反射圖像)的工作方式，即使處于存在紊亂氣流的工作環(huán)境下，懸浮粒子在光線中的散射、反射效果也不會發(fā)生改變，因此該裝置不受工作環(huán)境中氣流擾動的影響；3)所述懸浮粒子檢測裝置實現(xiàn)了工作環(huán)境中懸浮粒子的可視化，即工作環(huán)境中懸浮粒子的實時狀態(tài)可通過檢測結(jié)果輸出單元進行實時顯示，便于檢測人員觀察；4)所述懸浮粒子檢測裝置中的光源采用波長為532±20nm的光源(即綠光光源)，由于人眼對該波段的光最為敏感(即光源發(fā)出能量相同的不同顏色的光時，人眼感覺綠光最亮)，故與其它波段的光源相比，實時顯示工作環(huán)境中懸浮粒子實時狀態(tài)的效果更好；5)所述懸浮粒子檢測裝置還可通過檢測結(jié)果輸出單元數(shù)字化(或圖形化)顯示懸浮粒子的濃度情況，即顯示 所接收到的圖像中單位面積內(nèi)大于或等于預(yù)設(shè)粒徑尺寸的懸浮粒子的個數(shù)、所接收到的圖像中單位面積內(nèi)不同粒徑尺寸范圍內(nèi)的懸浮粒子個數(shù)比、或者單位面積內(nèi)不同粒徑尺寸范圍內(nèi)的懸浮粒子個數(shù)在隨時間變化的曲線圖或單位時間變化率等，便于檢測人員隨時掌握工作環(huán)境中懸浮粒子的濃度變化情況；6)所述懸浮粒子檢測裝置還具有預(yù)警(或報警)功能，即工作環(huán)境中懸浮粒子的濃度值超過預(yù)設(shè)的預(yù)警閾值時，警報單元會發(fā)出預(yù)警提示，例如聲、光提示等，以提示檢測人員。

圖I為本實用新型實施例I中懸浮粒子檢測裝置的結(jié)構(gòu)組成示意圖；圖2為本實用新型實施例3中懸浮粒子檢測裝置的結(jié)構(gòu)組成示意圖；圖3為本實用新型實施例3中懸浮粒子檢測裝置的工作原理示意圖。圖4為本實用新型實施例4中懸浮粒子檢測裝置的結(jié)構(gòu)組成示意圖。圖中1_工作箱；2_LED光源；3_懸浮粒子待測區(qū)域；4 一吸光板；5 —攝像機；6 —圖像處理單元；7 —監(jiān)視器。
具體實施方式
為使本領(lǐng)域技術(shù)人員更好地理解本實用新型的技術(shù)方案，
以下結(jié)合附圖和具體實施方式
對本實用新型懸浮粒子檢測裝置作進一步詳細描述。實施例I :如圖I所示，本實施例中，所述懸浮粒子檢測裝置包括光源、攝像單元和檢測結(jié)果輸出單元。其中，所述光源用于向懸浮粒子待測區(qū)域發(fā)射光線；所述攝像單元用于實時獲取待測區(qū)域內(nèi)懸浮粒子的圖像，并將所述圖像發(fā)送給所述檢測結(jié)果輸出單元；所述檢測結(jié)果輸出單元用于根據(jù)所述攝像單元發(fā)送的圖像實時輸出懸浮粒子檢測結(jié)果。本實施例所提供的懸浮粒子檢測裝置結(jié)構(gòu)簡單、體積小、便于拆裝，并可根據(jù)實際需求設(shè)置在任意工藝設(shè)備中任何需實時檢測懸浮粒子濃度的位置上，且能實時地對懸浮粒子進行監(jiān)測。可選地，所述光源采用發(fā)光體為光電二極管的光源，即采用LED光源，其具有節(jié)能環(huán)保、壽命長、光色純正、防潮及抗震動等優(yōu)點?？蛇x地，所述光源的功率可調(diào)，所述功率的調(diào)整范圍為20f80w。由于懸浮粒子待測區(qū)域的環(huán)境不盡相同，有的比較亮，有的比較暗，對于較亮環(huán)境來說，所述光源的功率需大一些，對應(yīng)較暗環(huán)境來說，所述光源的功率可小一些。所述懸浮粒子檢測裝置應(yīng)用于工藝設(shè)備內(nèi)部或者機臺工作面上時，其工作環(huán)境一般處于室內(nèi)，而室內(nèi)的照度一般在3001ux 5001ux范圍內(nèi)，故功率為20w 80w的光源完全能夠滿足實際需求。[0045]可選地，所述光源采用線光源，其具有方向性較好、散射度小、保障圖像采集面可控等優(yōu)點。可選地，所述線光源的長度小于400cm;優(yōu)選地，所述線光源的長度為30cm^l00cmo可選地，所述光源發(fā)射的光線為可見光或能夠被所述攝像單元采集到的非可見光，例如紅外光或紫外光等。當所述光源發(fā)射的光線為可見光時，所述攝像單元采用能夠?qū)崟r獲取位于該可見光中的待測區(qū)域內(nèi)懸浮粒子的圖像的攝像機，例如采用Canon FS200型攝像機?？蛇x地，所述光源所發(fā)射光線的波長為532nm±20nm，即光源發(fā)射的光線為綠光，因為與其它顏色的可見光相比人眼對綠光最為敏感，更便于人眼識別位于綠光中的待測區(qū) 域內(nèi)懸浮粒子的圖像。當所述光源采用線光源時，其向所述懸浮粒子待測區(qū)域發(fā)射的光線形成一個發(fā)光面，即圖像采集面?？蛇x地，所述攝像單元與所述懸浮粒子待測區(qū)域之間的距離為100cnT500Cm?？蛇x地，所述懸浮粒子待測區(qū)域內(nèi)的氣流速度不超過5m/s時，所述攝像單元的拍攝頻率為50Hz 60Hz。可選地，所述懸浮粒子檢測結(jié)果為所述待測區(qū)域內(nèi)懸浮粒子的實時圖像。實施例2 本實施例與實施例I的區(qū)別在于本實施例中，所述檢測結(jié)果輸出單元采用多個。所述攝像單元將其獲取的待測區(qū)域內(nèi)懸浮粒子的圖像分別發(fā)送給所述多個檢測結(jié)果輸出單元；每個檢測結(jié)果輸出單元分別根據(jù)所述攝像單元發(fā)送的圖像實時輸出懸浮粒子檢測結(jié)果。本實施例中的其它結(jié)構(gòu)以及作用都與實施例I相同，這里不再贅述。實施例3 如圖2所示，本實施例中，所述懸浮粒子檢測裝置包括光源、吸光單元、攝像單元、圖像處理單元、警報單元、檢測結(jié)果輸出單元以及工作箱，且上述各個單元集中設(shè)置在工作箱內(nèi)，也即所述檢測裝置包括的各個單元通過箱體集中設(shè)置?？蛇x地，所述檢測結(jié)果輸出單元包括顯示屏，所述顯示屏設(shè)置在所述工作箱的外表面上。這種結(jié)構(gòu)的懸浮粒子檢測裝置較適用于懸浮粒子待測區(qū)域的空間較寬敞，或者懸浮粒子待測區(qū)域較為重要需全天候?qū)崟r檢測懸浮粒子濃度的情況。所述吸光單元用于吸收光源發(fā)射的經(jīng)過所述懸浮粒子待測區(qū)域后的光線。可選地，所述吸光單元與光源相對設(shè)置在所述懸浮粒子待測區(qū)域的兩側(cè)，以防止所述光線被其它物體反射或散射。這是因為在沒有設(shè)置吸光單元的情況下，光源發(fā)射的光線會被其它物體反射或散射，所產(chǎn)生的反射光或散射光線進入圖像采集面之后，會干擾懸浮粒子圖像的正常采集，從而影響懸浮粒子圖像采集的準確度。當所述光源發(fā)射的光線為綠光且所述光源為線光源時，光源與吸光單元之間形成的圖像采集面為綠光平面。可選地，所述吸光單元與光源之間的距離為lOOcmlOOcm。可選地，所述吸光單元具有表面粗糙漫反射的結(jié)構(gòu)。優(yōu)選地，所述吸光單元的材質(zhì)為黑色碳帶，當然還可以采用其他具有表面粗糙漫反射的結(jié)構(gòu)的材質(zhì)。所述吸光單元可采用現(xiàn)有的吸光板。所述圖像處理單元分別與攝像單元和檢測結(jié)果輸出單元相連，其用于實時接收攝像單元獲取的所述待測區(qū)域內(nèi)懸浮粒子的圖像，并將所述圖像處理后實時發(fā)送給所述檢測結(jié)果輸出單元。其中，所述圖像處理單元對圖像的處理包括對圖像的放大、亮度增強、色彩對比度增強中的至少一種?？蛇x地，所述圖像處理單元對圖像進行放大處理時，其放大倍數(shù)為IO4IO6倍?？蛇x地，所述圖像處理單元包括光電倍增管，所述光電倍增管可采用C9720V型光電倍增管。所述圖像處理單元還用于根據(jù)接收到的圖像進行數(shù)據(jù)運算并將數(shù)據(jù)運算結(jié)果發(fā)送給所述檢測結(jié)果輸出單元。其中，所述數(shù)據(jù)運算結(jié)果為待測區(qū)域內(nèi)懸浮粒子的濃度情況，其包括以下結(jié)果中的至少一種 所接收到的圖像中單位面積內(nèi)大于或等于預(yù)設(shè)粒徑尺寸的懸浮粒子的個數(shù)(即預(yù)設(shè)粒徑尺寸條件下懸浮粒子的濃度值)；所接收到的圖像中單位面積內(nèi)不同粒徑尺寸范圍內(nèi)的懸浮粒子個數(shù)比、或者單位面積內(nèi)不同粒徑尺寸范圍內(nèi)的懸浮粒子個數(shù)在隨時間變化的曲線圖或單位時間變化率。所述檢測結(jié)果輸出單元用于根據(jù)所述圖像處理單元發(fā)送的處理后的圖像實時輸出懸浮粒子檢測結(jié)果，且所述懸浮粒子檢測結(jié)果為所述圖像處理單元發(fā)送來的圖像和/或所述數(shù)據(jù)運算結(jié)果。也就是說，所述檢測結(jié)果輸出單元能夠?qū)崟r輸出所述圖像處理單元發(fā)送來的圖像、所述數(shù)據(jù)運算結(jié)果、或者同時顯示所述圖像處理單元發(fā)送來的圖像及所述數(shù)據(jù)運算結(jié)果?？蛇x地，所述檢測結(jié)果輸出單元可采用現(xiàn)有的監(jiān)視器。所述警報單元與所述圖像處理單元相連，用于實時接收圖像處理單元輸出的所述數(shù)據(jù)運算結(jié)果，并將所述數(shù)據(jù)運算結(jié)果與其內(nèi)預(yù)設(shè)的預(yù)警閾值進行比較，當所述數(shù)據(jù)運算結(jié)果大于或等于所述預(yù)警閾值時，發(fā)出預(yù)警提示。例如，所述數(shù)據(jù)運算結(jié)果為預(yù)設(shè)粒徑尺寸條件下懸浮粒子的濃度值，當所述濃度值大于或等于所述預(yù)警閾值時，警報單元發(fā)出預(yù)警提示。所述預(yù)警提示可采用聲音提示、光提示或聲光提示等。所述警報單元可采用現(xiàn)有的聲光報警器?？蛇x地，所述警報單元中還可以預(yù)設(shè)報警閾值，并在所述數(shù)據(jù)運算結(jié)果大于或等于所述報警閾值時，發(fā)出預(yù)警提示。而且，所述報警閾值大于所述預(yù)警閾值。也就是說，當所述數(shù)據(jù)運算結(jié)果大于或等于所述預(yù)警閾值時，所述警報單元發(fā)出預(yù)警提示，以提示檢測人員；當所述數(shù)據(jù)運算結(jié)果大于或等于所述報警閾值時，所述警報單元發(fā)出報警提示，達到二次提示檢測人員的目的。其中，所述預(yù)設(shè)的預(yù)警閾值、報警閾值及預(yù)設(shè)粒徑尺寸可以根據(jù)不同的工藝要求進行具體設(shè)置。可選地，所述預(yù)警閾值(報警閾值)可以設(shè)置多個。如圖3所示，本實施例所述懸浮粒子檢測裝置包括LED光源2、吸光板4、攝像機5、圖像處理單元6、監(jiān)視器7、警報單元以及工作箱1，且上述各個單元均集中設(shè)置在工作箱I中。所述懸浮粒子檢測裝置的工作原理為LED光源2向懸浮粒子待測區(qū)域3發(fā)射光線，所述光線經(jīng)懸浮粒子待測區(qū)域3后入射至吸光板4，攝像機5實時捕捉位于LED光源2與吸光板4之間的懸浮粒子待測區(qū)域3的圖像，并將所述圖像輸出至圖像處理單元6，經(jīng)所述圖像處理單元6處理后發(fā)送至監(jiān)視器7，由監(jiān)視器7實時顯示處理后的圖像，由于該處理后的圖像能夠顯示出懸浮粒子待測區(qū)域中的懸浮粒子，因此檢測人員通過所述圖像即可觀察到待檢測的工作環(huán)境中的懸浮粒子的實時情況；同時圖像處理單元6對所述處理后的圖像進行數(shù)據(jù)運算，以得出數(shù)據(jù)運算結(jié)果，即圖像中單位面積內(nèi)大于或等于預(yù)設(shè)粒徑尺寸的懸浮粒子的個數(shù)、圖像中單位面積內(nèi)不同粒徑尺寸范圍內(nèi)的懸浮粒子個數(shù)比、或者單位面積內(nèi)不同粒徑尺寸范圍內(nèi)的懸浮粒子個數(shù)在隨時間變化的曲線圖或單位時間變化率中的至少一種，然后將所述數(shù)據(jù)運算結(jié)果實時輸出至監(jiān)視器7，由監(jiān)視器7實時顯示所述處理后的圖像及所述數(shù)據(jù)運算結(jié)果，當所述數(shù)據(jù)運算結(jié)果大于或等于所述預(yù)警閾值時，警報單元會發(fā)出預(yù)警提示，提醒檢測人員懸浮粒子待測區(qū)域3中預(yù)設(shè)粒徑尺寸的懸浮粒子的濃度值超標。
·[0074]本實施例中的其它結(jié)構(gòu)以及作用都與實施例I相同，這里不再贅述。實施例4 本實施例與實施例3的區(qū)別在于本實施例中，所述光源、吸光單元、攝像單元、圖像處理單元、警報單元以及檢測結(jié)果輸出單元可根據(jù)實際情況或?qū)嶋H工作環(huán)境分散設(shè)置，即所述懸浮粒子檢測裝置中的各個單元采用分散式設(shè)置方式，這種結(jié)構(gòu)的懸浮粒子檢測裝置較適用于懸浮粒子待測區(qū)域的空間較為局促時，或者懸浮粒子待測區(qū)域處于主工藝設(shè)備內(nèi)部且不便拆解的情況，更利于所述懸浮粒子檢測裝置中各部件的鋪排設(shè)置。例如，如圖4所示，所述光源、吸光單元、攝像單元、圖像處理單元以及警報單元集中設(shè)置在工作箱中，例如位于實驗室內(nèi)，所述檢測結(jié)果輸出單元設(shè)置在工作箱外，例如位于實驗室外任何需要設(shè)置的地方。其中，所述圖像處理單元與檢測結(jié)果輸出單元、攝像單元與檢測結(jié)果輸出單元之間可通過無線或有線信號進行通信(即傳輸數(shù)據(jù)或圖像信號)?；蛘?，所述警報單元和檢測結(jié)果輸出單元均可設(shè)置在工作箱外。當然，所述懸浮粒子檢測裝置也可以不包括工作箱，所述光源、吸光單元、攝像單元、圖像處理單元、警報單元以及檢測結(jié)果輸出單元可根據(jù)實際工作環(huán)境分散地設(shè)置在任何需要設(shè)置的地方。本實施例中的其它結(jié)構(gòu)以及作用都與實施例3相同，這里不再贅述。實施例5:本實施例與實施例3的區(qū)別在于所述檢測結(jié)果輸出單元采用多個。所述圖像處理單元將其接收的圖像進行處理后分別實時發(fā)送給所述多個檢測結(jié)果輸出單元，和/或?qū)⑵浣邮盏膱D像進行數(shù)據(jù)運算后將所述數(shù)據(jù)運算結(jié)果分別實時發(fā)送給所述多個檢測結(jié)果輸出單元；每個所述檢測結(jié)果輸出單元根據(jù)所述圖像處理單元發(fā)送的處理后的圖像實時輸出所述圖像處理單元處理后的圖像和/或懸浮粒子檢測結(jié)果。本實施例中的其它結(jié)構(gòu)以及作用都與實施例3相同，這里不再贅述。實施例6 本實施例與實施例3的區(qū)別在于所述警報單元采用多個。所述圖像處理單元將其接收的圖像進行數(shù)據(jù)運算后將所述數(shù)據(jù)運算結(jié)果分別實時發(fā)送給所述多個警報單元；每個警報單元均實時接收圖像處理單元輸出的所述數(shù)據(jù)運算結(jié)果，并將所述數(shù)據(jù)運算結(jié)果與其內(nèi)預(yù)設(shè)的預(yù)警閾值進行比較，當所述數(shù)據(jù)運算結(jié)果大于或等于所述預(yù)警閾值時，發(fā)出預(yù)警提示。本實施例中的其它結(jié)構(gòu)以及作用都與實施例3相同，這里不再贅述。實施例7:本實施例與實施例3的區(qū)別在于所述懸浮粒子檢測裝置不包括圖像處理單元及警報單元。所述攝像單元直接與檢測結(jié)果輸出單元相連；所述攝像單元能夠?qū)⑵浍@取的所述待測區(qū)域內(nèi)懸浮粒子的圖像進行放大處理后，再將該放大處理后的圖像發(fā)送給所述檢測結(jié)果輸出單元；所述檢測結(jié)果輸出·單元用于將該放大處理后的圖像實時輸出。本實施例中的其它結(jié)構(gòu)以及作用都與實施例3相同，這里不再贅述。實施例8 本實施例與實施例3的區(qū)別在于所述懸浮粒子檢測裝置不包括實施例3中的警報單元。本實施例中的其它結(jié)構(gòu)以及作用都與實施例3相同，這里不再贅述。實施例9 本實施例與實施例3的區(qū)別在于所述懸浮粒子檢測裝置不包括實施例3中的吸光單元。本實施例中的其它結(jié)構(gòu)以及作用都與實施例3相同，這里不再贅述?？梢岳斫獾氖牵陨蠈嵤┓绞絻H僅是為了說明本實用新型的原理而采用的示例性實施方式，然而本實用新型并不局限于此。對于本領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員而言，在不脫離本實用新型的精神和實質(zhì)的情況下，可以做出各種變型和改進，這些變型和改進也視為本實用新型的保護范圍。
權(quán)利要求1.一種懸浮粒子檢測裝置，其特征在于，包括光源、攝像單元以及檢測結(jié)果輸出單元; 所述光源用于向懸浮粒子待測區(qū)域發(fā)射光線； 所述攝像單元用于實時獲取待測區(qū)域內(nèi)懸浮粒子的圖像，并將所述圖像發(fā)送給所述檢測結(jié)果輸出單兀； 所述檢測結(jié)果輸出單元用于根據(jù)所述攝像單元發(fā)送的圖像實時輸出懸浮粒子檢測結(jié)果O
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的檢測裝置，其特征在于， 所述檢測裝置還包括圖像處理單元，其分別與攝像單元和檢測結(jié)果輸出單元相連，用于實時接收攝像單元獲取的所述待測區(qū)域內(nèi)懸浮粒子的圖像，并將所述圖像處理后實時發(fā)送給所述檢測結(jié)果輸出單元；所述檢測結(jié)果輸出單元用于根據(jù)所述圖像處理單元發(fā)送的處理后的圖像實時輸出懸浮粒子檢測結(jié)果； 其中，所述圖像處理單元對圖像的處理包括對圖像的放大、亮度增強、色彩對比度增強中的至少一種。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的檢測裝置，其特征在于，所述圖像處理單元對圖像進行放大時，放大倍數(shù)為IO4IO6倍。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的檢測裝置，其特征在于，所述圖像處理單元包括光電倍增管。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的檢測裝置，其特征在于，所述檢測裝置還包括吸光單元，所述吸光單元用于吸收光源發(fā)射的經(jīng)過所述懸浮粒子待測區(qū)域后的光線。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的檢測裝置，其特征在于，所述吸光單元具有表面粗糙漫反射的結(jié)構(gòu)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的檢測裝置，其特征在于，所述吸光單元的材質(zhì)為黑色碳帶。
8.根據(jù)權(quán)利要求I所述的檢測裝置，其特征在于， 所述光源發(fā)射的光線為可見光或能夠被所述攝像單元采集到的非可見光。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的檢測裝置，其特征在于，所述光源所發(fā)射光線的波長為532nm±20nm。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的檢測裝置，其特征在于，所述光源采用發(fā)光體為光電二極管的光源，其功率的調(diào)整范圍為20w 80w。
11.根據(jù)權(quán)利要求I所述的檢測裝置，其特征在于，所述光源的功率為20 10 ，所述攝像單元與所述懸浮粒子待測區(qū)域之間的距離為100cnT500Cm。
12.根據(jù)權(quán)利要求I所述的檢測裝置，其特征在于，所述懸浮粒子待測區(qū)域內(nèi)的氣流速度不超過5m/s時,所述攝像單元的拍攝頻率為50Hz 60Hz。
13.根據(jù)權(quán)利要求2所述的檢測裝置，其特征在于， 所述圖像處理單元還用于根據(jù)接收到的圖像進行數(shù)據(jù)運算并將數(shù)據(jù)運算結(jié)果發(fā)送給所述檢測結(jié)果輸出單元； 所述檢測結(jié)果輸出單元輸出的所述懸浮粒子檢測結(jié)果為所述圖像處理單元發(fā)送來的圖像和/或所述數(shù)據(jù)運算結(jié)果； 其中，所述數(shù)據(jù)運算結(jié)果包括以下結(jié)果中的至少一種 所接收到的圖像中單位面積內(nèi)大于或等于預(yù)設(shè)粒徑尺寸的懸浮粒子的個數(shù)；所接收到的圖像中單位面積內(nèi)不同粒徑尺寸范圍內(nèi)的懸浮粒子個數(shù)比，或者單位面積內(nèi)不同粒徑尺寸范圍內(nèi)的懸浮粒子個數(shù)在隨時間變化的曲線圖或單位時間變化率。
14.根據(jù)權(quán)利要求2所述的檢測裝置，其特征在于，所述檢測裝置還包括警報單元，所述警報單元與所述圖像處理單元相連，所述警報單元用于實時接收圖像處理單元輸出的所述數(shù)據(jù)運算結(jié)果，并將所述數(shù)據(jù)運算結(jié)果與其內(nèi)預(yù)設(shè)的預(yù)警閾值進行比較，當所述數(shù)據(jù)運算結(jié)果大于或等于所述預(yù)警閾值時，發(fā)出預(yù)警提示。
15.根據(jù)權(quán)利要求1-14中任一所述的檢測裝置，其特征在于， 所述檢測裝置包括的各個單元通過箱體集中設(shè)置，所述檢測結(jié)果輸出單元的顯示屏設(shè)置在所述箱體的外表面上；或者， 所述檢測裝置包括的各個單元分散設(shè)置，所述檢測結(jié)果輸出單元通過無線信號與所述圖像處理單元進行通信。
專利摘要本實用新型提供一種懸浮粒子檢測裝置，包括光源、攝像單元以及檢測結(jié)果輸出單元；所述光源用于向懸浮粒子待測區(qū)域發(fā)射光線；所述攝像單元用于實時獲取待測區(qū)域內(nèi)懸浮粒子的圖像，并將所述圖像發(fā)送給所述檢測結(jié)果輸出單元；所述檢測結(jié)果輸出單元用于根據(jù)所述攝像單元發(fā)送的圖像實時輸出懸浮粒子檢測結(jié)果。本實用新型所述懸浮粒子檢測裝置不受工藝設(shè)備結(jié)構(gòu)及設(shè)置位置的制約，且能夠?qū)崟r、有效地檢測工藝設(shè)備內(nèi)部以及機臺工作面上的懸浮粒子的濃度情況。
文檔編號G01N15/14GK202793992SQ201220446079
公開日2013年3月13日 申請日期2012年9月3日 優(yōu)先權(quán)日2012年9月3日
發(fā)明者徐濤 申請人:京東方科技集團股份有限公司, 北京京東方顯示技術(shù)有限公司