專利名稱:利用磁力消除轉(zhuǎn)軸偏擺間隙的尋邊器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實(shí)用新型與利用探針(probe)檢測(cè)諸如發(fā)光二極管等半導(dǎo)體晶粒性能的點(diǎn)測(cè)裝置(prober)所搭載的尋邊器(edge sensor)有關(guān),特別是指一種利用磁力消除轉(zhuǎn)軸偏擺間隙的尋邊器。
背景技術(shù):
點(diǎn)測(cè)裝置是一種利用探針檢測(cè)諸如發(fā)光二極管等半導(dǎo)體晶粒性能表現(xiàn)或特性參數(shù)的設(shè)備。在點(diǎn)測(cè)作業(yè)進(jìn)行時(shí),假使探針針壓(probing force)過大,可能會(huì)造成晶粒表面損傷,也容易造成探針磨損,而一旦針壓過小,可能造成探針與晶粒接點(diǎn)接觸不良,進(jìn)而影響點(diǎn)測(cè)結(jié)果,因此,探針針壓的設(shè)定、監(jiān)測(cè)與調(diào)整,一直都是點(diǎn)測(cè)作業(yè)進(jìn)行時(shí)需格外注意的事項(xiàng)。 利用搭載于點(diǎn)測(cè)裝置中的尋邊器,可達(dá)到確保探針能確實(shí)接觸并向待測(cè)晶粒的接點(diǎn)施加一定壓抵力量的目的。如圖I、圖2所不,習(xí)用的尋邊器100包含有一座體110、一懸臂120、一彈性片130,以及一設(shè)置于懸臂120 —端的探針140,彈性片130連接于座體110與懸臂120之間。此外,懸臂120與座體110之間設(shè)有一可調(diào)預(yù)力施加器150,以及二分別固設(shè)于懸臂120及座體110的導(dǎo)電體160、170,二導(dǎo)電體160、170受預(yù)力施加器150施加的預(yù)力作用而保持接觸并電性導(dǎo)通。通過一可垂直往復(fù)運(yùn)動(dòng)的進(jìn)給機(jī)構(gòu)帶動(dòng)尋邊器100下降或使一承載待測(cè)物的承載臺(tái)上升,探針140可相對(duì)待測(cè)物由上而下地接觸待測(cè)物,在持續(xù)進(jìn)給的過程中,一旦待測(cè)物施加給探針140的反作用力克服預(yù)力時(shí),將造成懸臂120擺動(dòng)且彈性片130彈性彎曲變形,使得二導(dǎo)電體160、170相互分離而斷路,同時(shí),點(diǎn)測(cè)裝置一旦偵測(cè)到二導(dǎo)電體160、170斷路的訊號(hào)則立即停止前述進(jìn)給動(dòng)作。由此,尋邊器100不但可確保探針140與待測(cè)物有效接觸,并可避免探針140對(duì)待測(cè)物所施的針壓過大而造成待測(cè)物或探針140損傷。然而,彈性片130容易因受到過大的外力而塑性彎曲變形,進(jìn)而影響針壓設(shè)定值,因而必須進(jìn)一步更換彈性片130。為避免前述彈性片塑性變形的問題,習(xí)用的另一種尋邊器是以一旋轉(zhuǎn)座連接該座體及該懸臂,該旋轉(zhuǎn)座與該懸臂固接并通過一轉(zhuǎn)軸與至少一軸承而可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)于該座體,當(dāng)待測(cè)物施加給探針的反作用力克服預(yù)力而使懸臂擺動(dòng)時(shí),該旋轉(zhuǎn)座相對(duì)該座體轉(zhuǎn)動(dòng)。為避免轉(zhuǎn)軸與軸承之間或軸承與座體之間有間隙而使該轉(zhuǎn)軸會(huì)相對(duì)該座體偏擺,進(jìn)而造成該懸臂因非預(yù)期的擺動(dòng)而使探針在待測(cè)物上留下過當(dāng)?shù)尼樅郏笆鰧み吰鬟€會(huì)設(shè)置至少一彈簧,以利用彈簧的彈性作用力而將該轉(zhuǎn)軸朝一特定方向頂?shù)郑M(jìn)而消除該轉(zhuǎn)軸在該處的偏擺間隙。然而,前述尋邊器因要設(shè)置彈簧而必須具有較大的體積,且彈簧也有容易彈性疲乏的問題,因此仍有待改進(jìn)。
發(fā)明內(nèi)容針對(duì)上述問題,本實(shí)用新型的主要目的在于提供一種利用磁力消除轉(zhuǎn)軸偏擺間隙的尋邊器,可避免其懸臂產(chǎn)生非預(yù)期的擺動(dòng)而使探針在待測(cè)物上留下過當(dāng)?shù)尼樅郏以搶み吰骶哂畜w積小且不易損壞的優(yōu)點(diǎn)。為達(dá)到上述目的,本實(shí)用新型所提供的ー種利用磁力消除轉(zhuǎn)軸偏擺間隙的尋邊器,其特征在于包含有一基座,裝設(shè)有至少ー軸承;ー轉(zhuǎn)軸,穿設(shè)于所述軸承中;ー旋轉(zhuǎn)座,與所述轉(zhuǎn)軸固接而能相對(duì)所述基座轉(zhuǎn)動(dòng);ー懸臂,與所述旋轉(zhuǎn)座固接,用于裝設(shè)ー探針;一第一磁性件,設(shè)置于所述基座;一第二磁性件,設(shè)置于所述旋轉(zhuǎn)座與所述懸臂二者其中之一,所述第一磁性件與所述第二磁性件為磁性相吸或相斥,以提供一作用于所述轉(zhuǎn)軸的力量。上述本實(shí)用新型的技術(shù)方案中,還包含有一能在一作用位置與一非作用位置之間移動(dòng)地設(shè)置于所述基座的限位件;其中,當(dāng)所述限位件位于所述作用位置且所述旋轉(zhuǎn)座以ー預(yù)定方向轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí),所述旋轉(zhuǎn)座能受所述限位件抵頂而停定在ー極限位置;而當(dāng)所述限位件位于所述非作用位置時(shí),所述限位件離開所述旋轉(zhuǎn)座,使所述旋轉(zhuǎn)座能自所述極限位置再以所述預(yù)定方向轉(zhuǎn)動(dòng)。 上述本實(shí)用新型的技術(shù)方案中,還包含有一設(shè)置于所述旋轉(zhuǎn)座的導(dǎo)磁件,且當(dāng)所述懸臂從ー實(shí)質(zhì)上呈水平的姿態(tài)隨著所述旋轉(zhuǎn)座的轉(zhuǎn)動(dòng)而旋擺至ー實(shí)質(zhì)上呈垂直的姿態(tài)時(shí),所述導(dǎo)磁件受所述第一磁性件磁性吸引,使所述懸臂保持在所述實(shí)質(zhì)上呈垂直的姿態(tài)。所述導(dǎo)磁件為鎖設(shè)于所述旋轉(zhuǎn)座的一前側(cè)面的螺絲。上述本實(shí)用新型的技術(shù)方案中,還包含有一設(shè)置于所述基座的限位件,且所述旋轉(zhuǎn)座以ー預(yù)定方向轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí),所述旋轉(zhuǎn)座能受所述限位件抵頂而停定在ー極限位置。其中所述基座具有ー頂壁、一右側(cè)壁以及ー左側(cè)壁,且所述左、右側(cè)壁分別裝設(shè)有一所述軸承;所述旋轉(zhuǎn)座位于左、右側(cè)壁之間而與所述轉(zhuǎn)軸固接,且所述旋轉(zhuǎn)座具有一與所述基座的頂壁對(duì)應(yīng)的頂部,以及一與所述懸臂連接的底部;所述第一磁性件及所述第二磁性件分別設(shè)于所述基座的頂壁及所述旋轉(zhuǎn)座的頂部。還包含有一能在一作用位置與一非作用位置之間移動(dòng)地穿設(shè)于所述基座的頂壁的限位件;其中,所述限位件位于所述作用位置時(shí)為凸伸出所述頂壁的一底面,使得所述旋轉(zhuǎn)座以ー預(yù)定方向轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí),所述旋轉(zhuǎn)座能受所述限位件抵頂而停定于ー極限位置;而當(dāng)所述限位件位于所述非作用位置時(shí),所述限位件離開所述旋轉(zhuǎn)座,所述旋轉(zhuǎn)座能自所述極限位置再以所述預(yù)定方向轉(zhuǎn)動(dòng)。上述本實(shí)用新型的技術(shù)方案中,還包含有一設(shè)于所述旋轉(zhuǎn)座的一前側(cè)面的導(dǎo)磁件,且當(dāng)所述懸臂從ー實(shí)質(zhì)上呈水平的姿態(tài)隨著所述旋轉(zhuǎn)座的轉(zhuǎn)動(dòng)而旋擺至ー實(shí)質(zhì)上呈垂直的姿態(tài)時(shí),所述導(dǎo)磁件受所述第一磁性件磁性吸引,使所述懸臂保持在所述實(shí)質(zhì)上呈垂直的姿態(tài)。所述轉(zhuǎn)軸穿過所述旋轉(zhuǎn)座,所述導(dǎo)磁件為ー鎖設(shè)于所述旋轉(zhuǎn)座且尾端頂?shù)钟谒鲛D(zhuǎn)軸的螺絲。還包含有一設(shè)于所述基座的頂壁的限位件,所述限位件凸伸出所述頂壁的一底面,所述旋轉(zhuǎn)座以ー預(yù)定方向轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí),所述旋轉(zhuǎn)座能受所述限位件抵頂而停定在ー極限位置。所述基座具有ー右側(cè)壁、一左側(cè)壁以及一位于所述左、右側(cè)壁之間且前側(cè)及底側(cè)開放的容置槽,且所述左、右側(cè)壁分別裝設(shè)有一所述軸承;所述旋轉(zhuǎn)座為位于所述基座的容置槽中;所述懸臂位于所述旋轉(zhuǎn)座的下方,能從一實(shí)質(zhì)上呈水平的姿態(tài)隨著所述旋轉(zhuǎn)座的轉(zhuǎn)動(dòng)而旋擺至一實(shí)質(zhì)上呈垂直的姿態(tài)。所述基座具有一與所述左、右側(cè)壁連接的頂壁,且所述旋轉(zhuǎn)座具有一與所述基座的頂壁對(duì)應(yīng)的頂部;所述第一磁性件及所述第二磁性件分別設(shè)于所述基座的頂壁及所述旋轉(zhuǎn)座的頂部。所述轉(zhuǎn)軸穿過所述旋轉(zhuǎn)座,并通過一鎖設(shè)于所述旋轉(zhuǎn)座且抵頂于所述轉(zhuǎn)軸的止付螺絲而使所述轉(zhuǎn)軸與所述旋轉(zhuǎn)座固接。還包含有一設(shè)于所述旋轉(zhuǎn)座的一前側(cè)面的導(dǎo)磁件,且當(dāng)所述懸臂位于所述實(shí)質(zhì)上呈垂直的姿態(tài)時(shí),所述導(dǎo)磁件受所述第一磁性件磁性吸引,使所述懸臂保持在所述實(shí)質(zhì)上呈垂直的姿態(tài)。還包含有一可在一作用位置與一非作用位置之間移動(dòng)地穿設(shè)于所述基座的限位件;其中,當(dāng)所述限位件位于所述作用位置且所述旋轉(zhuǎn)座相對(duì)所述基座旋轉(zhuǎn)時(shí),所述旋轉(zhuǎn)座 能受所述限位件抵頂而停定于一極限位置;而當(dāng)所述限位件位于所述非作用位置時(shí),所述限位件離開所述旋轉(zhuǎn)座。所述基座具有一容置槽,且所述旋轉(zhuǎn)座位于所述容置槽中;所述第一磁性件設(shè)于所述基座的一面對(duì)所述容置槽的壁面,所述第二磁性件設(shè)于所述旋轉(zhuǎn)座的一后側(cè)面與所述第一磁性件相對(duì)。所述懸臂位于所述基座的一底部下方,所述第一磁性件設(shè)于所述基座的底部,所述第二磁性件設(shè)于所述懸臂并與所述第一磁性件相對(duì)。采用上述技術(shù)方案,本實(shí)用新型在探針點(diǎn)觸一待測(cè)物的過程中,二磁性件的磁力使得旋轉(zhuǎn)座帶動(dòng)轉(zhuǎn)軸緊抵軸承,進(jìn)而消除轉(zhuǎn)軸與軸承的間隙及軸承與基座的間隙,可避免懸臂產(chǎn)生非預(yù)期的擺動(dòng)而造成探針在待測(cè)物上留下不當(dāng)?shù)尼樅邸6?,相比于?xí)知以彈簧消除轉(zhuǎn)軸偏擺間隙的尋邊器,本實(shí)用新型所提供的尋邊器還具有體積小且不易損壞的優(yōu)點(diǎn)。
圖I是習(xí)用的尋邊器的立體組合圖;圖2是圖I所示的尋邊器的側(cè)視圖;圖3是本實(shí)用新型一第一較佳實(shí)施例所提供的利用磁力消除轉(zhuǎn)軸偏擺間隙的尋邊器設(shè)于一進(jìn)給裝置的立體組合圖;圖4是本實(shí)用新型該第一較佳實(shí)施例所提供的利用磁力消除轉(zhuǎn)軸偏擺間隙的尋邊器的立體分解圖;圖5是本實(shí)用新型該第一較佳實(shí)施例所提供的利用磁力消除轉(zhuǎn)軸偏擺間隙的尋邊器作用于一待測(cè)物的剖視圖,顯示該尋邊器的一旋轉(zhuǎn)座位于一起始位置的狀態(tài);圖6類同于圖5,顯示該尋邊器的旋轉(zhuǎn)座位于一極限位置的狀態(tài);圖7類同于圖5,顯示該旋轉(zhuǎn)座轉(zhuǎn)動(dòng)90度后的狀態(tài);圖8是本實(shí)用新型一第二較佳實(shí)施例的剖視圖;圖9是本實(shí)用新型一第三較佳實(shí)施例的剖視圖。
具體實(shí)施方式
為了詳細(xì)說明本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)、特點(diǎn)及功效,現(xiàn)舉以下較佳實(shí)施例并配合附圖說明如下。申請(qǐng)人:首先在此說明,在以下將要介紹的實(shí)施例以及圖式中,相同的參考號(hào)碼,表示相同或類似的元件或其結(jié)構(gòu)特征。如圖3、圖4所示,為本實(shí)用新型一第一較佳實(shí)施例所提供的利用磁力消除轉(zhuǎn)軸偏擺間隙的尋邊器20,尋邊器20包含有一基座22、一旋轉(zhuǎn)座24、ー轉(zhuǎn)軸26、ニ軸承28、一止付螺絲30、ー懸臂32、ー探針34、一預(yù)カ施加單元36、一導(dǎo)電單元38、一限位件40、一第一磁性件42、一第二磁性件44,以及ー導(dǎo)磁件46。尋邊器20設(shè)于ー進(jìn)給裝置50,以受進(jìn)給裝置50帶動(dòng)而沿三軸向移動(dòng)地調(diào)整其位置。由于進(jìn)給裝置50為一般自動(dòng)化機(jī)械中常見的可沿X、Y及Z三軸線性往復(fù)位移的三軸 位移機(jī)構(gòu),且并非本實(shí)用新型的技術(shù)特征所在,因此其詳細(xì)結(jié)構(gòu)容申請(qǐng)人在此不予贅述。必須說明的是,在本實(shí)施例中尋邊器20是通過進(jìn)給裝置50而沿著Z軸方向相對(duì)ー待測(cè)物60(如圖5所示)下降或上升以點(diǎn)觸或離開待測(cè)物60的導(dǎo)電接點(diǎn)62,以進(jìn)行待測(cè)物60的特性檢測(cè)作業(yè)。然而,本實(shí)用新型所提供的尋邊器20也可不搭配進(jìn)給裝置50來做主動(dòng)進(jìn)給,而是搭配一承載臺(tái)(圖中未示)作被動(dòng)進(jìn)給,也就是,是通過用來承載待測(cè)物60并可作X、Y、Z三軸方向線性位移以及9方向(繞Z軸方向)旋轉(zhuǎn)的承載臺(tái)的上升或下降動(dòng)作,使待測(cè)物60與尋邊器20的探針34相互點(diǎn)觸?;?2固設(shè)于進(jìn)給裝置50,以受進(jìn)給裝置50驅(qū)動(dòng)而沿著X、Y及Z軸方向往復(fù)位移?;?2的前端部具有由ー頂壁221、一右側(cè)壁222及一左側(cè)壁223所定義出且其前側(cè)與底側(cè)成開放狀的一容置槽224、貫穿頂壁221的一穿孔225及ー螺孔226,以及分別貫穿右側(cè)壁222及左側(cè)壁223的ニ軸孔227。旋轉(zhuǎn)座24通過轉(zhuǎn)軸26及ニ軸承28而可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)置于基座22并位于容置槽224內(nèi)。詳而言之,ニ軸承28為分別固設(shè)于基座22的軸孔227,旋轉(zhuǎn)座24具有一貫穿其一右側(cè)面241及一左側(cè)面242的軸孔243,轉(zhuǎn)軸26為穿設(shè)于ニ軸承28及軸孔243。其次,止付螺絲30鎖設(shè)于旋轉(zhuǎn)座24并頂?shù)钟谵D(zhuǎn)軸26 (如圖5所示),使得轉(zhuǎn)軸26與旋轉(zhuǎn)座24相互固定。此外,旋轉(zhuǎn)座24還具有一自其頂部的頂面244凹陷的凹槽245,以及ー貫穿一前側(cè)面246并與軸孔243連通的螺孔247。如圖4及圖5所示,懸臂32是通過螺絲固設(shè)于旋轉(zhuǎn)座24底部的一底面248,位于旋轉(zhuǎn)座24的下方,由此,懸臂32可從ー實(shí)質(zhì)上相對(duì)基座22呈水平的姿態(tài)(如圖4所示),隨著旋轉(zhuǎn)座24的轉(zhuǎn)動(dòng)而旋擺至一實(shí)質(zhì)上相對(duì)基座22呈垂直的姿態(tài)(如圖7所示)。懸臂32具有一位于旋轉(zhuǎn)座24的前側(cè)面246前方的前端部322及一位于基座22下方的后端部324,探針34設(shè)于前端部322。預(yù)カ施加単元36包含有一穿設(shè)于基座22的螺栓362、ー設(shè)于螺栓362底部的磁鐵364,以及一穿設(shè)于懸臂32的后端部324并與磁鐵364相對(duì)的金屬螺絲366。導(dǎo)電單元38包含有一固設(shè)于基座22底部的絕緣件382,以及分別固設(shè)于絕緣件382及懸臂32的后端部324的一第一導(dǎo)電件384及一第二導(dǎo)電件386。磁鐵364與金屬螺絲366相互吸引產(chǎn)生的預(yù)カ使得ニ導(dǎo)電件384、386相互接觸而電性導(dǎo)通,并使得旋轉(zhuǎn)座24維持在一起始位置Pl。[0044]尋邊器20為相對(duì)待測(cè)物60由上而下地以探針34接觸待測(cè)物60的導(dǎo)電接點(diǎn)62,在持續(xù)進(jìn)給的過程中,一旦待測(cè)物60施加給探針34的反作用力克服預(yù)力施加單元36施加的預(yù)力時(shí)(如圖6所示),懸臂32、旋轉(zhuǎn)座24及轉(zhuǎn)軸26將以一預(yù)定方向Dl繞轉(zhuǎn)軸26的中心轉(zhuǎn)動(dòng),使得二導(dǎo)電體384、386相互分離,進(jìn)而送出一斷路訊號(hào)使進(jìn)給裝置50停止前述進(jìn)給動(dòng)作。限位件40為一螺絲,穿設(shè)在位于基座22的頂壁221的螺孔226,并可被轉(zhuǎn)動(dòng)地相對(duì)基座22移動(dòng)。限位件40位于一如圖5及圖6所示的作用位置P2時(shí),為凸伸出頂壁221的一底面221a,使得旋轉(zhuǎn)座24以預(yù)定方向Dl轉(zhuǎn)動(dòng)至一預(yù)定角度時(shí),被限位件40抵頂,而停止在一如圖6所示的極限位置P3,以致無法再以預(yù)定方向Dl繼續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)。當(dāng)限位件40位于一如圖7所示的非作用位置P4時(shí),限位件40為離開旋轉(zhuǎn)座24而不與旋轉(zhuǎn)座24抵觸,以致旋轉(zhuǎn)座24能以預(yù)定方向Dl持續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)至懸臂32略呈垂直的姿態(tài)。如圖4及圖5所示,旋轉(zhuǎn)座24位于起始位置Pl時(shí),其頂面244與基座22的頂壁221相對(duì)。第一磁性件42及第二磁性件44分別嵌設(shè)在位于基座22的頂壁221的穿孔225 及位于旋轉(zhuǎn)座24的頂面244的凹槽245。由此,在探針34點(diǎn)觸待測(cè)物60的過程中,二磁性件42、44為相吸或相斥(取決于其磁性相同或相異),使得旋轉(zhuǎn)座24帶動(dòng)轉(zhuǎn)軸26向上或向下緊抵軸承28,進(jìn)而消除轉(zhuǎn)軸26與軸承28的間隙及軸承28與基座22的間隙。換言之,二磁性件42、44的磁力,可消除轉(zhuǎn)軸26偏擺的間隙,以避免懸臂32產(chǎn)生非預(yù)期的擺動(dòng)而造成探針34在待測(cè)物60上留下過當(dāng)?shù)尼樅?。而且,相比于?xí)知以彈簧消除轉(zhuǎn)軸偏擺間隙的尋邊器,本實(shí)用新型所提供的尋邊器20更具有體積小且不易損壞的優(yōu)點(diǎn)。導(dǎo)磁件46為一由可導(dǎo)磁的材料(例如金屬)制成的螺絲,螺設(shè)在位于旋轉(zhuǎn)座24的前側(cè)面246的螺孔247,導(dǎo)磁件46不但可頂?shù)洲D(zhuǎn)軸26而使轉(zhuǎn)軸26與旋轉(zhuǎn)座24固定得更加穩(wěn)固,更重要的是,當(dāng)旋轉(zhuǎn)座24被轉(zhuǎn)動(dòng)至如圖7所示的狀態(tài)時(shí),導(dǎo)磁件46隨旋轉(zhuǎn)座24轉(zhuǎn)動(dòng)而移動(dòng)至一預(yù)定位置P5,并與第一磁性件42相吸而維持在預(yù)定位置P5,使得尋邊器20維持在圖7所示的狀態(tài),以避免其懸臂32及探針34阻礙鄰近的其他尋邊器進(jìn)行探針更換。本實(shí)用新型的重點(diǎn)在于設(shè)置第一、第二磁性件42、44,以利用磁力消除轉(zhuǎn)軸26偏擺的間隙,因此,尋邊器20不一定要設(shè)置限位件40及導(dǎo)磁件46,限位件40也可固定在作用位置P2而無法相對(duì)基座22移動(dòng),導(dǎo)磁件46也可不頂?shù)钟谵D(zhuǎn)軸26。另外,第一、第二磁性件42、44的設(shè)置位置不以前述實(shí)施例所提供的為限,只要分別設(shè)置于基座22及旋轉(zhuǎn)座24并可在旋轉(zhuǎn)座24位于起始位置Pl時(shí)相吸或相斥即可。如圖8所示的本實(shí)用新型一第二較佳實(shí)施例中,第一磁性件42嵌設(shè)于基座22的一面對(duì)容置槽224的壁面228,第二磁性件44嵌設(shè)于旋轉(zhuǎn)座24的一后側(cè)面249,而與第一磁性件42相對(duì),這種位置安排也可達(dá)到消除轉(zhuǎn)軸26的偏擺間隙的功效。由于懸臂32是與旋轉(zhuǎn)座24固接,第二磁性件44設(shè)置于懸臂32也可通過與第一磁性件42相吸或相斥而帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)座24,進(jìn)而使轉(zhuǎn)軸26緊抵軸承28。如圖9所示的本實(shí)用新型一第三較佳實(shí)施例中,第一磁性件42為設(shè)于基座22的底部,第二磁性件44為設(shè)于懸臂32并與第一磁性件42相對(duì),這種位置安排也可達(dá)到消除轉(zhuǎn)軸26的偏擺間隙的功效。再者,只要第一及第二磁性件42、44的位置設(shè)置適當(dāng),當(dāng)懸臂32旋擺至使得二導(dǎo)電體384、386相互分離的狀態(tài)時(shí)(如圖6所示),一旦迫使懸臂32旋擺的外力消失,例如尋邊器20向上位移而離開待測(cè)物60時(shí),第一、第二磁性件42、44之間的磁性吸引力或斥力,將可作為懸臂32反向旋擺復(fù)歸至ニ導(dǎo)電件384、386重新相互接觸的輔助復(fù)歸力量,即,可以提供額外的復(fù)歸力量幫助預(yù)力施加単元36復(fù)歸懸臂32,以利尋邊器20進(jìn)行下一梯次的點(diǎn)觸作業(yè)。 最后,必須再次說明,本實(shí)用新型在前述實(shí)施例中所掲示的構(gòu)成元件,僅為舉例說明,并非用來限制本案的范圍,其他等效元件的替代或變化,也應(yīng)被本案的專利保護(hù)范圍所 涵蓋。
權(quán)利要求1.一種利用磁力消除轉(zhuǎn)軸偏擺間隙的尋邊器,其特征在于包含有 一基座,裝設(shè)有至少一軸承; 一轉(zhuǎn)軸,穿設(shè)于所述軸承中; 一旋轉(zhuǎn)座,與所述轉(zhuǎn)軸固接而能相對(duì)所述基座轉(zhuǎn)動(dòng); 一懸臂,與所述旋轉(zhuǎn)座固接,用于裝設(shè)一探針; 一第一磁性件,設(shè)置于所述基座; 一第二磁性件,設(shè)置于所述旋轉(zhuǎn)座與所述懸臂二者其中之一,所述第一磁性件與所述第二磁性件為磁性相吸或相斥,以提供一作用于所述轉(zhuǎn)軸的力量。
2.如權(quán)利要求I所述的利用磁力消除轉(zhuǎn)軸偏擺間隙的尋邊器,其特征在于還包含有一能在一作用位置與一非作用位置之間移動(dòng)地設(shè)置于所述基座的限位件;其中,當(dāng)所述限位件位于所述作用位置且所述旋轉(zhuǎn)座以一預(yù)定方向轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí),所述旋轉(zhuǎn)座能受所述限位件抵頂而停定在一極限位置;而當(dāng)所述限位件位于所述非作用位置時(shí),所述限位件離開所述旋轉(zhuǎn)座,使所述旋轉(zhuǎn)座能自所述極限位置再以所述預(yù)定方向轉(zhuǎn)動(dòng)。
3.如權(quán)利要求I或2所述的利用磁力消除轉(zhuǎn)軸偏擺間隙的尋邊器,其特征在于還包含有一設(shè)置于所述旋轉(zhuǎn)座的導(dǎo)磁件,且當(dāng)所述懸臂從一實(shí)質(zhì)上呈水平的姿態(tài)隨著所述旋轉(zhuǎn)座的轉(zhuǎn)動(dòng)而旋擺至一實(shí)質(zhì)上呈垂直的姿態(tài)時(shí),所述導(dǎo)磁件受所述第一磁性件磁性吸引,使所述懸臂保持在所述實(shí)質(zhì)上呈垂直的姿態(tài)。
4.如權(quán)利要求3所述的利用磁力消除轉(zhuǎn)軸偏擺間隙的尋邊器,其特征在于所述導(dǎo)磁件為鎖設(shè)于所述旋轉(zhuǎn)座的一前側(cè)面的螺絲。
5.如權(quán)利要求I所述的利用磁力消除轉(zhuǎn)軸偏擺間隙的尋邊器,其特征在于還包含有一設(shè)置于所述基座的限位件,且所述旋轉(zhuǎn)座以一預(yù)定方向轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí),所述旋轉(zhuǎn)座能受所述限位件抵頂而停定在一極限位置。
6.如權(quán)利要求I所述的利用磁力消除轉(zhuǎn)軸偏擺間隙的尋邊器,其特征在于其中所述基座具有一頂壁、一右側(cè)壁以及一左側(cè)壁,且所述左、右側(cè)壁分別裝設(shè)有一所述軸承;所述旋轉(zhuǎn)座位于左、右側(cè)壁之間而與所述轉(zhuǎn)軸固接,且所述旋轉(zhuǎn)座具有一與所述基座的頂壁對(duì)應(yīng)的頂部,以及一與所述懸臂連接的底部;所述第一磁性件及所述第二磁性件分別設(shè)于所述基座的頂壁及所述旋轉(zhuǎn)座的頂部。
7.如權(quán)利要求6所述的利用磁力消除轉(zhuǎn)軸偏擺間隙的尋邊器,其特征在于還包含有一能在一作用位置與一非作用位置之間移動(dòng)地穿設(shè)于所述基座的頂壁的限位件;其中,所述限位件位于所述作用位置時(shí)為凸伸出所述頂壁的一底面,使得所述旋轉(zhuǎn)座以一預(yù)定方向轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí),所述旋轉(zhuǎn)座能受所述限位件抵頂而停定于一極限位置;而當(dāng)所述限位件位于所述非作用位置時(shí),所述限位件離開所述旋轉(zhuǎn)座,所述旋轉(zhuǎn)座能自所述極限位置再以所述預(yù)定方向轉(zhuǎn)動(dòng)。
8.如權(quán)利要求6或7所述的利用磁力消除轉(zhuǎn)軸偏擺間隙的尋邊器,其特征在于還包含有一設(shè)于所述旋轉(zhuǎn)座的一前側(cè)面的導(dǎo)磁件,且當(dāng)所述懸臂從一實(shí)質(zhì)上呈水平的姿態(tài)隨著所述旋轉(zhuǎn)座的轉(zhuǎn)動(dòng)而旋擺至一實(shí)質(zhì)上呈垂直的姿態(tài)時(shí),所述導(dǎo)磁件受所述第一磁性件磁性吸引,使所述懸臂保持在所述實(shí)質(zhì)上呈垂直的姿態(tài)。
9.如權(quán)利要求8所述的利用磁力消除轉(zhuǎn)軸偏擺間隙的尋邊器,其特征在于所述轉(zhuǎn)軸穿過所述旋轉(zhuǎn)座,所述導(dǎo)磁件為一鎖設(shè)于所述旋轉(zhuǎn)座且尾端頂?shù)钟谒鲛D(zhuǎn)軸的螺絲。
10.如權(quán)利要求6所述的利用磁力消除轉(zhuǎn)軸偏擺間隙的尋邊器,其特征在于還包含有一設(shè)于所述基座的頂壁的限位件,所述限位件凸伸出所述頂壁的一底面,所述旋轉(zhuǎn)座以一預(yù)定方向轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí),所述旋轉(zhuǎn)座能受所述限位件抵頂而停定在一極限位置。
11.如權(quán)利要求I所述的利用磁力消除轉(zhuǎn)軸偏擺間隙的尋邊器,其特征在于所述基座具有一右側(cè)壁、一左側(cè)壁以及一位于所述左、右側(cè)壁之間且前側(cè)及底側(cè)開放的容置槽,且所述左、右側(cè)壁分別裝設(shè)有一所述軸承;所述旋轉(zhuǎn)座為位于所述基座的容置槽中;所述懸臂位于所述旋轉(zhuǎn)座的下方,能從一實(shí)質(zhì)上呈水平的姿態(tài)隨著所述旋轉(zhuǎn)座的轉(zhuǎn)動(dòng)而旋擺至一實(shí)質(zhì)上呈垂直的姿態(tài)。
12.如權(quán)利要求11所述的利用磁力消除轉(zhuǎn)軸偏擺間隙的尋邊器,其特征在于所述基座具有一與所述左、右側(cè)壁連接的頂壁,且所述旋轉(zhuǎn)座具有一與所述基座的頂壁對(duì)應(yīng)的頂部;所述第一磁性件及所述第二磁性件分別設(shè)于所述基座的頂壁及所述旋轉(zhuǎn)座的頂部。
13.如權(quán)利要求11所述的利用磁力消除轉(zhuǎn)軸偏擺間隙的尋邊器,其特征在于所述轉(zhuǎn) 軸穿過所述旋轉(zhuǎn)座,并通過一鎖設(shè)于所述旋轉(zhuǎn)座且抵頂于所述轉(zhuǎn)軸的止付螺絲而使所述轉(zhuǎn)軸與所述旋轉(zhuǎn)座固接。
14.如權(quán)利要求11所述的利用磁力消除轉(zhuǎn)軸偏擺間隙的尋邊器,其特征在于還包含有一設(shè)于所述旋轉(zhuǎn)座的一前側(cè)面的導(dǎo)磁件,且當(dāng)所述懸臂位于所述實(shí)質(zhì)上呈垂直的姿態(tài)時(shí),所述導(dǎo)磁件受所述第一磁性件磁性吸引,使所述懸臂保持在所述實(shí)質(zhì)上呈垂直的姿態(tài)。
15.如權(quán)利要求11所述的利用磁力消除轉(zhuǎn)軸偏擺間隙的尋邊器,其特征在于還包含有一可在一作用位置與一非作用位置之間移動(dòng)地穿設(shè)于所述基座的限位件;其中,當(dāng)所述限位件位于所述作用位置且所述旋轉(zhuǎn)座相對(duì)所述基座旋轉(zhuǎn)時(shí),所述旋轉(zhuǎn)座能受所述限位件抵頂而停定于一極限位置;而當(dāng)所述限位件位于所述非作用位置時(shí),所述限位件離開所述旋轉(zhuǎn)座。
16.如權(quán)利要求I或2或5所述的利用磁力消除轉(zhuǎn)軸偏擺間隙的尋邊器,其特征在于所述基座具有一容置槽,且所述旋轉(zhuǎn)座位于所述容置槽中;所述第一磁性件設(shè)于所述基座的一面對(duì)所述容置槽的壁面,所述第二磁性件設(shè)于所述旋轉(zhuǎn)座的一后側(cè)面與所述第一磁性件相對(duì)。
17.如權(quán)利要求I或2或5所述的利用磁力消除轉(zhuǎn)軸偏擺間隙的尋邊器,其特征在于所述懸臂位于所述基座的一底部下方,所述第一磁性件設(shè)于所述基座的底部,所述第二磁性件設(shè)于所述懸臂并與所述第一磁性件相對(duì)。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種利用磁力消除轉(zhuǎn)軸偏擺間隙的尋邊器,其包含有一基座,裝設(shè)有至少一軸承;一轉(zhuǎn)軸,穿設(shè)于所述軸承中;一旋轉(zhuǎn)座,與所述轉(zhuǎn)軸固接而能相對(duì)所述基座轉(zhuǎn)動(dòng);一懸臂,與所述旋轉(zhuǎn)座固接,用于裝設(shè)一探針;一第一磁性件,設(shè)置于所述基座;一第二磁性件,設(shè)置于所述旋轉(zhuǎn)座與所述懸臂二者其中之一,所述第一磁性件與所述第二磁性件為磁性相吸或相斥,以提供一作用于所述轉(zhuǎn)軸的力量。在探針點(diǎn)觸一待測(cè)物的過程中,二磁性件的磁力可消除轉(zhuǎn)軸偏擺的間隙,以避免懸臂產(chǎn)生非預(yù)期的擺動(dòng)而造成探針在待測(cè)物上留下過當(dāng)?shù)尼樅?,且本?shí)用新型的尋邊器具有體積小且不易損壞的優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號(hào)G01R1/02GK202757957SQ201220377189
公開日2013年2月27日 申請(qǐng)日期2012年8月1日 優(yōu)先權(quán)日2012年8月1日
發(fā)明者廖惇材, 彭柏翰 申請(qǐng)人:旺矽科技股份有限公司