專利名稱：具有探針框架的檢測(cè)設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及TFT-LCD (薄膜晶體管液晶顯示器)陣列基板檢測(cè)技術(shù)，特別涉及一種具有探針框架的檢測(cè)設(shè)備，該檢測(cè)設(shè)備用于檢測(cè)TFT-LCD陣列基板。
背景技術(shù)：
在薄膜晶體管液晶顯示裝置(ThinFilm Transistor Liquid crystal Display,以下簡(jiǎn)稱TFT-IXD)制造工藝中，陣列電路的形成是基礎(chǔ)環(huán)節(jié)。陣列電路是通過半導(dǎo)體中常用的掩膜-曝光工藝在基板上形成的，在陣列電路中加入信號(hào)，以驅(qū)動(dòng)表面的液晶，形成顯示矩陣。由于陣列電路的優(yōu)劣直接決定了 TFT-LCD裝置的品質(zhì)，因此對(duì)陣列電路的檢測(cè)就成為TFT-IXD制造流程中的重要工序。陣列電路的檢測(cè)主要是通過陣列測(cè)試機(jī)臺(tái)(Array tester)來實(shí)現(xiàn)。檢測(cè)過程中，測(cè)試信號(hào)通過探針框架(Probe Frame)上的探針(pin)加載到陣列電路中。探針框架內(nèi)部的電路將信號(hào)輸入端和安裝在探針框架(Probe Frame)上固定位置的探針連接在一起，檢測(cè)時(shí)探針頭與陣列基板上的pad(面板檢測(cè)信號(hào)輸入端)一一對(duì)應(yīng)接觸。在實(shí)際應(yīng)用中，由于TFT-LCD的陣列電路的設(shè)計(jì)多樣性，探針框架的設(shè)計(jì)也就多種多樣，探針的分布可以為左右排列方式、上下排列方式，特殊地，某些探針框架中央部位也存在橫梁或豎梁，上面安裝有一定數(shù)量的探針，以滿足測(cè)試不同電路的需要。上述每一個(gè)探針即是一個(gè)用于為陣列基板上某一固定接入點(diǎn)提供檢測(cè)信號(hào)的信號(hào)提供單元。實(shí)際測(cè)試時(shí)，上述探針與陣列基板相接觸，探針本身是具有彈性的可伸縮裝置，在一定的外部壓力和自身的彈力共同作用下實(shí)現(xiàn)接觸。探針在使用過程中由于氧化、磨損、或折斷等原因，當(dāng)需要更換探針時(shí)，需要讓設(shè)備關(guān)機(jī)，更換后再復(fù)機(jī)整個(gè)過程花費(fèi)了大量時(shí)間，尤其是真空機(jī)臺(tái)設(shè)備，從開腔到復(fù)機(jī)量產(chǎn)至少要花費(fèi)幾個(gè)小時(shí)，大大影響了設(shè)備的工作效率。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供一種具有探針框架的檢測(cè)設(shè)備。本實(shí)用新型的具有探針框架的檢測(cè)設(shè)備可以減少為更換探針而關(guān)機(jī)的次數(shù)，提高設(shè)備的工作效率。本實(shí)用新型的具有探針框架的檢測(cè)設(shè)備，所述檢測(cè)設(shè)備用于檢測(cè)陣列基板，所述探針框架包括架體以及用于為所述陣列基板上一接入點(diǎn)提供檢測(cè)信號(hào)的信號(hào)提供單元，所述架體上設(shè)置有可旋轉(zhuǎn)裝置，所述信號(hào)提供單元包括多個(gè)與信號(hào)源電連接的探針，所述多個(gè)探針中的一部分安裝于所述可旋轉(zhuǎn)裝置上并處于工作位置為所述陣列基板提供檢測(cè)信號(hào)，所述多個(gè)探針中的另一部分安裝于所述可旋轉(zhuǎn)裝置上并可以通過所述可旋轉(zhuǎn)裝置的旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)至所述工作位置為所述陣列基板提供檢測(cè)信號(hào)。本實(shí)用新型的具有探針框架的檢測(cè)設(shè)備，其中，所述可旋轉(zhuǎn)裝置為可旋轉(zhuǎn)設(shè)置于所述架體上的轉(zhuǎn)軸，所述轉(zhuǎn)軸平行于所述架體與所述待檢測(cè)陣列基板結(jié)合的結(jié)合面，所述多個(gè)探針垂直于所述轉(zhuǎn)軸的中心軸線并沿所述轉(zhuǎn)軸的軸周向分布設(shè)置于所述轉(zhuǎn)軸上。[0009]本實(shí)用新型的具有探針框架的檢測(cè)設(shè)備，其中，所述探針沿所述轉(zhuǎn)軸周向均勻分布設(shè)置于所述轉(zhuǎn)軸上。本實(shí)用新型的具有探針框架的檢測(cè)設(shè)備，其中，所述多個(gè)探針通過旋轉(zhuǎn)座體固定于所述轉(zhuǎn)軸上，所述旋轉(zhuǎn)座體固定套置于所述轉(zhuǎn)軸上，所述探針可插拔的設(shè)置于所述旋轉(zhuǎn)座體上。本實(shí)用新型的具有探針框架的檢測(cè)設(shè)備，其中，所述探針通過所述旋轉(zhuǎn)座體與所述信號(hào)源電連接，所述探針與所述旋轉(zhuǎn)座體電連接，所述旋轉(zhuǎn)座體包括信號(hào)端，所述信號(hào)端與所述信號(hào)源通過電刷電連接。本實(shí)用新型的具有探針框架的檢測(cè)設(shè)備，其中，所述信號(hào)端套置于所述轉(zhuǎn)軸上，與所述信號(hào)端保持接觸的所述電刷通過電刷支架固定于所述架體上，所述信號(hào)源與所述電刷電連接。本實(shí)用新型的具有探針框架的檢測(cè)設(shè)備，其中，所述旋轉(zhuǎn)座體為立方體狀，所述旋 轉(zhuǎn)座體的四個(gè)側(cè)面上分別設(shè)置有一所述探針。本實(shí)用新型的具有探針框架的檢測(cè)設(shè)備，其中，所述探針框架還包括用于為所述轉(zhuǎn)軸提供旋轉(zhuǎn)動(dòng)力的電機(jī)，所述電機(jī)的輸出軸與所述轉(zhuǎn)軸的一端連接。本實(shí)用新型的具有探針框架的檢測(cè)設(shè)備，其中，所述探針框架還包括用于控制所述轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)的控制器，所述控制器與所述電機(jī)電連接。當(dāng)本實(shí)用新型的檢測(cè)設(shè)備中的探針框架中的探針在使用過程中不能工作時(shí)，不需要讓設(shè)備關(guān)機(jī)，只需通過人力或電機(jī)帶動(dòng)可旋轉(zhuǎn)裝置旋轉(zhuǎn)，即可很方便的輪換探針，保證設(shè)備繼續(xù)工作。由此本實(shí)用新型的具有探針框架的檢測(cè)設(shè)備可以減少為更換探針而關(guān)機(jī)的次數(shù)，大幅提高設(shè)備的工作效率。

圖I為本實(shí)用新型的檢測(cè)設(shè)備中的探針框架的結(jié)構(gòu)示意圖的俯視圖；圖2為圖I的A-A剖視圖；圖3為圖I的B-B剖視圖；圖4為圖3的C-C剖面圖。
具體實(shí)施方式
本實(shí)用新型的檢測(cè)設(shè)備中的探針框架將傳統(tǒng)插入式更換探針的方式用旋轉(zhuǎn)探針的方式代替，有效的減少了關(guān)機(jī)更換探針的次數(shù)，尤其對(duì)真空檢測(cè)機(jī)臺(tái)效果顯著，有效提高設(shè)備的生產(chǎn)效率。如圖I、圖2、圖3、圖4所示，TFT-IXD基板檢測(cè)設(shè)備用于檢測(cè)陣列基板。本實(shí)用新型的具有探針框架的TFT-LCD基板檢測(cè)設(shè)備中的探針框架，包括架體I以及安裝于架體I上用于為陣列基板上一接入點(diǎn)提供檢測(cè)信號(hào)的信號(hào)提供單元20。其中，信號(hào)提供單元20有多個(gè)，每個(gè)信號(hào)提供單元20為陣列基板上某一固定接入點(diǎn)提供檢測(cè)信號(hào)。架體I上設(shè)置有可旋轉(zhuǎn)裝置。每個(gè)信號(hào)提供單元20包括多個(gè)與信號(hào)源8電連接的探針2，多個(gè)探針2中的一部分安裝于上述可旋轉(zhuǎn)裝置上并處于工作位置(圖2中E位置)為陣列基板提供檢測(cè)信號(hào)，多個(gè)探針2中的另一部分安裝于上述可旋轉(zhuǎn)裝置上并可以通過上述可旋轉(zhuǎn)裝置的旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)至上述工作位置為陣列基板提供檢測(cè)信號(hào)。當(dāng)本實(shí)用新型的具有探針框架的檢測(cè)設(shè)備工作時(shí)，架體與待檢測(cè)陣列基板結(jié)合，安裝于上述可旋轉(zhuǎn)裝置上并處于工作位置的探針向上伸出并與陣列基板相接觸，為其提供檢測(cè)信號(hào)。當(dāng)這部分探針在使用過程中由于氧化、磨損、或折斷等原因不能工作時(shí)，不需要讓設(shè)備關(guān)機(jī)，只需通過人力或電機(jī)帶動(dòng)上述可旋轉(zhuǎn)裝置旋轉(zhuǎn)，安裝于上述可旋轉(zhuǎn)裝置上的另一部分探針即可以旋轉(zhuǎn)至工作位置為陣列基板提供檢測(cè)信號(hào)。具體來說，本實(shí)施例中，上述可旋轉(zhuǎn)裝置為可旋轉(zhuǎn)設(shè)置于架體I上的轉(zhuǎn)軸3，架體I包括多個(gè)豎直設(shè)置的立板10，轉(zhuǎn)軸3可旋轉(zhuǎn)的設(shè)置與相對(duì)的立板10之間。轉(zhuǎn)軸3平行于架體I與待檢測(cè)陣列基板結(jié)合的結(jié)合面9，即轉(zhuǎn)軸3平行于架體I的上表面。多個(gè)探針2垂直于轉(zhuǎn)軸3的中心軸線并沿轉(zhuǎn)軸3的軸周向分布設(shè)置于轉(zhuǎn)軸3上。這樣當(dāng)轉(zhuǎn)軸3旋轉(zhuǎn)，一部分探針2即可旋轉(zhuǎn)至工作位置(即圖2中E位置)，并垂直于結(jié)合面9，同時(shí)垂直于待檢測(cè)陣列基板。當(dāng)架體I與待檢測(cè)陣列基板結(jié)合，工作位置的探針2與待檢測(cè)陣列基板垂直接觸，為其提供檢測(cè)信號(hào)。當(dāng)這部分探針不能工作時(shí)，通過人 力或電機(jī)帶動(dòng)轉(zhuǎn)軸3旋轉(zhuǎn)，安裝于轉(zhuǎn)軸3上的另一部分探針(即圖2中F位置、H位置或G位置的探針2)，都可以旋轉(zhuǎn)至工作位置為陣列基板提供檢測(cè)信號(hào)。為避免電信號(hào)外泄，轉(zhuǎn)軸3采用絕緣材料制成。本實(shí)施例中，本實(shí)用新型的具有探針框架的檢測(cè)設(shè)備的探針框架還包括用于為轉(zhuǎn)軸3提供動(dòng)力的電機(jī)4，電機(jī)4的輸出軸與轉(zhuǎn)軸3的一端連接。電機(jī)4可以固定于架體I的立板10上。本實(shí)施例中，本實(shí)用新型的具有探針框架的檢測(cè)設(shè)備的探針框架還包括用于控制轉(zhuǎn)軸3旋轉(zhuǎn)的控制器(圖中未示出)，上述控制器與電機(jī)4電連接，用以控制轉(zhuǎn)軸3的旋轉(zhuǎn)角度。本實(shí)施例中，多個(gè)信號(hào)提供單元20安裝于同一轉(zhuǎn)軸3上，這樣當(dāng)某一個(gè)信號(hào)提供單元上的處于工作位置的探針不能工作時(shí)，轉(zhuǎn)軸3上其他信號(hào)提供單元上的處于工作位置的探針也要隨之轉(zhuǎn)動(dòng)。作為本實(shí)施例的改進(jìn)，每一轉(zhuǎn)軸上可以只安裝一個(gè)信號(hào)提供單元，一個(gè)信號(hào)提供單元輪換探針時(shí)，其他信號(hào)提供單元不必隨之旋轉(zhuǎn)。為使轉(zhuǎn)軸3受力平衡，本實(shí)施例中，探針2沿轉(zhuǎn)軸3的周向均勻分布設(shè)置于轉(zhuǎn)軸3上。為方便轉(zhuǎn)軸3上探針2的維修、更換，本實(shí)施例中，探針2通過旋轉(zhuǎn)座體5固定于轉(zhuǎn)軸3上。旋轉(zhuǎn)座體5固定套置于轉(zhuǎn)軸3上，探針2可插拔的設(shè)置于旋轉(zhuǎn)座體5上。為保證在轉(zhuǎn)軸3的旋轉(zhuǎn)過程中，探針2始終與信號(hào)源8電連接，本實(shí)施例中，探針2通過旋轉(zhuǎn)座體5與信號(hào)源8電連接，探針2與旋轉(zhuǎn)座體5電連接，旋轉(zhuǎn)座體5包括套置于轉(zhuǎn)軸3上的信號(hào)端51，信號(hào)端51與信號(hào)源8通過電刷6電連接。本實(shí)施例中，與信號(hào)端51保持接觸的電刷6通過電刷支架7固定于架體2上，信號(hào)源8與電刷6電連接。具體來說，電刷6 —端與信號(hào)端51保持接觸，另一端固定于電刷支架7上。電刷支架7固定于架體I上。本實(shí)施例中，旋轉(zhuǎn)座體5為立方體狀。旋轉(zhuǎn)座體5的四個(gè)側(cè)面上分別垂直設(shè)置有一個(gè)探針2，四個(gè)探針2中，彼此相鄰的探針2的夾角成90度。[0036]在本實(shí)用新型的其他實(shí)施例中，旋轉(zhuǎn)座體5可以為橫截面為正八邊形的塊體。旋轉(zhuǎn)座體5的八個(gè)側(cè)面上分別垂直設(shè)置有一個(gè)探針2，八個(gè)探針2中，彼此相鄰的探針2的夾角成45度。以上所述僅是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技 術(shù)人員來說，在不脫離本實(shí)用新型原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和潤飾，這些改進(jìn)和潤飾也應(yīng)視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求1.一種具有探針框架的檢測(cè)設(shè)備，所述檢測(cè)設(shè)備用于檢測(cè)陣列基板，所述探針框架包括架體以及用于為所述陣列基板上一接入點(diǎn)提供檢測(cè)信號(hào)的信號(hào)提供單元，其特征在于，所述架體上設(shè)置有可旋轉(zhuǎn)裝置，所述信號(hào)提供單元包括多個(gè)與信號(hào)源電連接的探針，所述多個(gè)探針中的一部分安裝于所述可旋轉(zhuǎn)裝置上并處于工作位置為所述陣列基板提供檢測(cè)信號(hào)，所述多個(gè)探針中的另一部分安裝于所述可旋轉(zhuǎn)裝置上并可以通過所述可旋轉(zhuǎn)裝置的旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)至所述工作位置為所述陣列基板提供檢測(cè)信號(hào)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的具有探針框架的檢測(cè)設(shè)備，其特征在于，所述可旋轉(zhuǎn)裝置為可旋轉(zhuǎn)設(shè)置于所述架體上的轉(zhuǎn)軸，所述轉(zhuǎn)軸平行于所述架體與所述待檢測(cè)陣列基板結(jié)合的結(jié)合面，所述多個(gè)探針垂直于所述轉(zhuǎn)軸的中心軸線并沿所述轉(zhuǎn)軸的軸周向分布設(shè)置于所述轉(zhuǎn)軸上。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的具有探針框架的檢測(cè)設(shè)備，其特征在于，所述探針沿所述轉(zhuǎn)軸周向均勻分布設(shè)置于所述轉(zhuǎn)軸上。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的具有探針框架的檢測(cè)設(shè)備，其特征在于，所述多個(gè)探針通過旋轉(zhuǎn)座體固定于所述轉(zhuǎn)軸上，所述旋轉(zhuǎn)座體固定套置于所述轉(zhuǎn)軸上，所述探針可插拔的設(shè)置于所述旋轉(zhuǎn)座體上。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的具有探針框架的檢測(cè)設(shè)備，其特征在于，所述探針通過所述旋轉(zhuǎn)座體與所述信號(hào)源電連接，所述探針與所述旋轉(zhuǎn)座體電連接，所述旋轉(zhuǎn)座體包括信號(hào)端，所述信號(hào)端與所述信號(hào)源通過電刷電連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的具有探針框架的檢測(cè)設(shè)備，其特征在于，所述信號(hào)端套置于所述轉(zhuǎn)軸上，與所述信號(hào)端保持接觸的所述電刷通過電刷支架固定于所述架體上，所述信號(hào)源與所述電刷電連接。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的具有探針框架的檢測(cè)設(shè)備，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)座體為立方體狀，所述旋轉(zhuǎn)座體的四個(gè)側(cè)面上分別設(shè)置有一所述探針。
8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的具有探針框架的檢測(cè)設(shè)備，其特征在于，所述探針框架還包括用于為所述轉(zhuǎn)軸提供旋轉(zhuǎn)動(dòng)力的電機(jī)，所述電機(jī)的輸出軸與所述轉(zhuǎn)軸的一端連接。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的具有探針框架的檢測(cè)設(shè)備，其特征在于，所述探針框架還包括用于控制所述轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)的控制器，所述控制器與所述電機(jī)電連接。
專利摘要本實(shí)用新型提供的具有探針框架的檢測(cè)設(shè)備，檢測(cè)設(shè)備用于檢測(cè)陣列基板，探針框架包括架體以及用于為所述陣列基板上一接入點(diǎn)提供檢測(cè)信號(hào)的信號(hào)提供單元，架體上設(shè)置有可旋轉(zhuǎn)裝置，信號(hào)提供單元包括多個(gè)與信號(hào)源電連接的探針，多個(gè)探針中的一部分安裝于可旋轉(zhuǎn)裝置上并處于工作位置為陣列基板提供檢測(cè)信號(hào)，多個(gè)探針中的另一部分安裝于可旋轉(zhuǎn)裝置上并可以通過可旋轉(zhuǎn)裝置的旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)至工作位置為陣列基板提供檢測(cè)信號(hào)。本實(shí)用新型的檢測(cè)設(shè)備，用于檢測(cè)陣列電路，可以減少為更換探針而關(guān)機(jī)的次數(shù)，提高設(shè)備的工作效率。
文檔編號(hào)G01R31/28GK202486284SQ20122011776
公開日2012年10月10日 申請(qǐng)日期2012年3月26日 優(yōu)先權(quán)日2012年3月26日
發(fā)明者何歡, 孟慶超, 楊瀟宇, 羅強(qiáng)強(qiáng) 申請(qǐng)人:京東方科技集團(tuán)股份有限公司, 合肥京東方光電科技有限公司