專利名稱：一種表面粗糙度測(cè)量裝置及其測(cè)量工作臺(tái)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種表面粗糙度測(cè)量裝置。
背景技術(shù)：
表面粗糙度對(duì)零件的裝配性、密封性、疲勞、磨損、腐蝕、噪聲等均有較大影響，它是評(píng)定表面質(zhì)量的重要內(nèi)容之一，因此，對(duì)工件表面粗糙度進(jìn)行客觀、科學(xué)的檢測(cè)和評(píng)定，早已成為加工領(lǐng)域中的一個(gè)重要課題。目前，國(guó)內(nèi)外粗糙度的檢測(cè)大部分還是采用接觸式觸針輪廓儀，接觸式測(cè)量?jī)x缺點(diǎn)是
(I)金剛石測(cè)量頭的硬度一般很高，這樣測(cè)量頭不易很快磨損，但其測(cè)量工件表面時(shí)容 易劃傷工件，所以不適宜測(cè)量高質(zhì)量和軟質(zhì)材料表面。(2)為滿足測(cè)量頭頭部的耐磨性和剛度要求，測(cè)量頭不能做的過于細(xì)小和尖銳，如果測(cè)量頭部曲率半徑大于被測(cè)表面微觀凹坑的半徑，那么將使得該處測(cè)量數(shù)據(jù)產(chǎn)生偏差，測(cè)量形貌與實(shí)際形貌不符，從而影響測(cè)量精度。(3)測(cè)量微觀表面輪廓時(shí)，為了保證掃描路徑方向上的精度和橫向分辨率，進(jìn)給步距很小，所以測(cè)量速度不高。接觸式測(cè)量?jī)x的測(cè)量工作臺(tái)主要是上下滾珠絲杠和直線導(dǎo)軌實(shí)現(xiàn)，因?yàn)榛瑝K與導(dǎo)軌間的摩擦，使得測(cè)量工作臺(tái)具有以下缺點(diǎn)
(I)滑塊與導(dǎo)軌間的摩擦使得測(cè)量工作臺(tái)響應(yīng)速度慢，移動(dòng)速度低。(2)滑塊與導(dǎo)軌間的摩擦使得測(cè)量工作臺(tái)精度降低，不能滿足高精密測(cè)量的需求。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種表面粗糙度測(cè)量裝置，以解決現(xiàn)有技術(shù)中的測(cè)量裝置的測(cè)量工作臺(tái)響應(yīng)速度慢、移動(dòng)速度低且控制精度低的問題，同時(shí)還提供一種測(cè)量工作臺(tái)。為了解決上述問題，本發(fā)明的一種表面粗糙度測(cè)量裝置，包括測(cè)量機(jī)構(gòu)和用于驅(qū)動(dòng)工件移動(dòng)的測(cè)量工作臺(tái)，所述測(cè)量工作臺(tái)包括上下兩層臺(tái)架，每層所述臺(tái)架均包括直線導(dǎo)向移動(dòng)副，所述直線導(dǎo)向移動(dòng)副包括定導(dǎo)軌和與所述定導(dǎo)軌導(dǎo)向配合的氣浮導(dǎo)軌，所述氣浮導(dǎo)軌由上氣浮塊、與所述上氣浮塊底部?jī)蓚?cè)密封固連的兩個(gè)側(cè)氣浮塊以及分別與所述兩個(gè)側(cè)氣浮塊底部密封固連并相向延伸的底氣浮塊構(gòu)成，所述氣浮導(dǎo)軌的內(nèi)表面由各所述氣浮塊的出氣面構(gòu)成，所述出氣面與所述定導(dǎo)軌正對(duì)的位置上設(shè)有出氣孔，各氣浮塊的出氣孔在所述氣浮導(dǎo)軌內(nèi)部通過氣體通道相互連通并共用一個(gè)進(jìn)氣孔。所述上層臺(tái)架具有一套所述直線導(dǎo)向移動(dòng)副，所述下層臺(tái)架具有平行設(shè)置的兩套直線導(dǎo)向移動(dòng)副，所述下層臺(tái)架還包括一個(gè)架設(shè)在該下層臺(tái)架的兩所述氣浮導(dǎo)軌上的支撐平臺(tái)，所述上層臺(tái)架固設(shè)在該支撐平臺(tái)上并和該下層臺(tái)架一起構(gòu)成“工”字型結(jié)構(gòu)。每層臺(tái)架上均設(shè)有一個(gè)驅(qū)動(dòng)氣浮導(dǎo)軌沿對(duì)應(yīng)定導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)的直線電機(jī)。所述支撐板與所述下層臺(tái)架的兩氣浮導(dǎo)軌之間均設(shè)有橫截面為Z形支撐板，該支撐板的縱向兩端均固設(shè)有防止所述支撐平臺(tái)縱向竄動(dòng)的擋位結(jié)構(gòu)。該測(cè)量裝置還包括設(shè)于所述測(cè)量工作臺(tái)一側(cè)的立柱，所述測(cè)量機(jī)構(gòu)為設(shè)于所述立柱上的激光測(cè)量機(jī)構(gòu)，所述激光測(cè)量機(jī)構(gòu)通過進(jìn)步電機(jī)驅(qū)動(dòng)的滾珠絲杠在所述立柱上沿豎直方向上下運(yùn)動(dòng)。該激光測(cè)量機(jī)構(gòu)包括在所述立柱沿上沿豎直方向上下運(yùn)動(dòng)的測(cè)量臺(tái)、固連在該測(cè)量臺(tái)上的傳感器支架及固連在該傳感器支架端部的激光傳感器。一種測(cè)量工作臺(tái)，所述測(cè)量工作臺(tái)包括上下兩層臺(tái)架，每層所述臺(tái)架均包括直線導(dǎo)向移動(dòng)副，所述直線導(dǎo)向移動(dòng)副包括定導(dǎo)軌和 與所述定導(dǎo)軌導(dǎo)向配合的氣浮導(dǎo)軌，所述氣浮導(dǎo)軌由上氣浮塊、與所述上氣浮塊底部?jī)蓚?cè)密封固連的兩個(gè)側(cè)氣浮塊以及分別與所述兩個(gè)側(cè)氣浮塊底部密封固連并相向延伸的底氣浮塊構(gòu)成，所述氣浮導(dǎo)軌的內(nèi)表面由各所述氣浮塊的出氣面構(gòu)成，所述出氣面與所述定導(dǎo)軌正對(duì)的位置上設(shè)有出氣孔，各氣浮塊的出氣孔在所述氣浮導(dǎo)軌內(nèi)部通過氣體通道相互連通并共用一個(gè)進(jìn)氣孔。所述上層臺(tái)架具有一套所述直線導(dǎo)向移動(dòng)副，所述下層臺(tái)架具有平行設(shè)置的兩套直線導(dǎo)向移動(dòng)副，所述下層臺(tái)架還包括一個(gè)架設(shè)在該下層臺(tái)架的兩所述氣浮導(dǎo)軌上的支撐平臺(tái)，所述上層臺(tái)架固設(shè)在該支撐平臺(tái)上并和該下層臺(tái)架一起構(gòu)成“工”字型結(jié)構(gòu)。每層臺(tái)架上均設(shè)有一個(gè)驅(qū)動(dòng)氣浮導(dǎo)軌沿對(duì)應(yīng)定導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)的直線電機(jī)。所述支撐板與所述下層臺(tái)架的兩氣浮導(dǎo)軌之間均設(shè)有橫截面為Z形支撐板，該支撐板的縱向兩端均固設(shè)有防止所述支撐平臺(tái)縱向竄動(dòng)的擋位結(jié)構(gòu)。本發(fā)明構(gòu)成測(cè)量工作臺(tái)的導(dǎo)軌為氣浮導(dǎo)軌，這樣氣浮導(dǎo)軌可沿定導(dǎo)軌無摩擦運(yùn)動(dòng)解決了現(xiàn)有技術(shù)中測(cè)量工作臺(tái)響應(yīng)速度慢、移動(dòng)速度低且控制精度低的問題。更進(jìn)一步的，氣浮導(dǎo)軌由氣浮塊固定構(gòu)成，各所述氣浮塊的出氣孔通過氣體通道相互連通并共用一個(gè)進(jìn)氣孔，這樣可以通過一個(gè)進(jìn)氣口對(duì)各個(gè)氣浮塊統(tǒng)一供氣，減少了各個(gè)氣浮塊分別供氣造成的積累誤差。更進(jìn)一步的，在所述立柱上設(shè)置沿豎直方向上下運(yùn)動(dòng)的激光測(cè)量機(jī)構(gòu)，對(duì)工件進(jìn)行三維全方位測(cè)量，從整體上對(duì)工件的表面特征進(jìn)行描述，具有全局性，同時(shí)激光測(cè)量與傳統(tǒng)的接觸式測(cè)量相比，不存在劃傷工件、測(cè)量頭部曲率半徑大造成測(cè)量偏差以及測(cè)量速度低的問題。


圖I是本發(fā)明實(shí)施例測(cè)量裝置的主視 圖2是圖I的左視 圖3是圖I的俯視 圖4是氣浮導(dǎo)軌與定導(dǎo)軌的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式一種表面粗糙度測(cè)量裝置實(shí)施例，如圖廣4所示，包括大理石底座12、固設(shè)于底座12上表面測(cè)量工作臺(tái)、固設(shè)于底座12上表面并位于維測(cè)量工作臺(tái)一側(cè)中部的大理石立柱2及在立柱上沿豎直方向上下運(yùn)動(dòng)的激光測(cè)量機(jī)構(gòu)，測(cè)量工作臺(tái)包括上下兩層臺(tái)架，每層所述臺(tái)架均包括直線導(dǎo)向移動(dòng)副，所述上層臺(tái)架具有一套所述直線導(dǎo)向移動(dòng)副，包括一個(gè)定導(dǎo)軌13和與對(duì)應(yīng)定導(dǎo)軌13導(dǎo)向配合的氣浮導(dǎo)軌11，氣浮導(dǎo)軌11上設(shè)有工件固定臺(tái)5，下層臺(tái)架具有平行設(shè)置的兩套直線導(dǎo)向移動(dòng)副，包括兩個(gè)定導(dǎo)軌8、8’和與對(duì)應(yīng)定導(dǎo)軌8、8’導(dǎo)向配合的兩個(gè)氣浮導(dǎo)軌4、4’，下層臺(tái)架還包括一個(gè)架設(shè)在該下層臺(tái)架的兩氣浮導(dǎo)軌上的大理石支撐平臺(tái)10，上層臺(tái)架固設(shè)在該支撐平臺(tái)10上并和該下層臺(tái)架一起構(gòu)成“工”字型結(jié)構(gòu)，支撐平臺(tái)10與兩氣浮導(dǎo)軌之間均設(shè)有橫截面為Z形支撐板6、6’，該支撐板6、6’的縱向兩端均固設(shè)有防止支撐平臺(tái)縱向竄動(dòng)的擋位結(jié)構(gòu)，該擋位結(jié)構(gòu)為擋位板9，該氣浮導(dǎo)軌均由上氣浮塊16，與上氣浮塊16底部?jī)蓚?cè)密封固連的兩個(gè)側(cè)氣浮塊17、18以及分別與兩個(gè)側(cè)氣浮塊17、18底部密封固連并相向延伸的底氣浮塊19、20構(gòu)成，所述定導(dǎo)軌橫截面的上部為T形，所述氣浮導(dǎo)軌的內(nèi)表面由各所述氣浮塊的出氣面構(gòu)成，所述出氣面與所述定導(dǎo)軌正對(duì)的位置上設(shè)有出氣孔22，各氣浮塊的出氣孔22在所述氣浮導(dǎo)軌內(nèi)部通過氣體通道21相互連通并共用一個(gè)進(jìn)氣孔23，在下層臺(tái)架的定導(dǎo)軌8’上設(shè)有直線電機(jī)支板14，直線電機(jī)支板14上安裝有直線電機(jī)定子15，氣浮導(dǎo)軌4’上安裝拖動(dòng)板24，拖動(dòng)板24與直線電機(jī)動(dòng)子25連接；在下層臺(tái)架的定導(dǎo)軌13上設(shè)有直線電機(jī)支板26，直線電機(jī)支板26上設(shè)有直線電機(jī)定子(未畫出)，在氣浮導(dǎo)軌11上色還有托動(dòng)板27,托動(dòng)板27上設(shè)有直線電機(jī)動(dòng)子(未畫出)，該測(cè)量裝置還包括激光測(cè)量裝置，激光測(cè)量裝置通過步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)的滾珠絲杠3在 所述立柱2上沿豎直方向上下運(yùn)動(dòng)，該激光測(cè)量裝置包括在所述立柱2沿上沿豎直方向上下運(yùn)動(dòng)的測(cè)量臺(tái)I、固連在該測(cè)量臺(tái)I上的傳感器支架7及固連在該傳感器支架7端部的激光傳感器16，所述的激光傳感器為現(xiàn)有技術(shù)，在此不做贅述。工作時(shí)，將工件固定在上層臺(tái)架的氣浮導(dǎo)軌上，然后根據(jù)需要在測(cè)量工作臺(tái)上沿橫向、縱向調(diào)整位置，還可以調(diào)整激光測(cè)量裝置在立柱上沿豎直方向調(diào)整位置，從整體上對(duì)工件的表面特征進(jìn)行描述，具有全局性。本發(fā)明將測(cè)量工作臺(tái)中的氣浮導(dǎo)軌為氣浮導(dǎo)軌，這樣氣浮導(dǎo)軌可沿定導(dǎo)軌無摩擦運(yùn)動(dòng)解決了現(xiàn)有技術(shù)中測(cè)量工作臺(tái)響應(yīng)速度慢、移動(dòng)速度低且控制精度低的問題，氣浮導(dǎo)軌由五個(gè)氣浮塊固定構(gòu)成，各所述氣浮塊的進(jìn)氣孔及出氣孔通過氣體通道相互連通，這樣可以通過一個(gè)進(jìn)氣口對(duì)各個(gè)氣浮塊統(tǒng)一供氣，減少了各個(gè)氣浮塊分別供氣造成的積累誤差誤差，在立柱上設(shè)置沿豎直方向上下運(yùn)動(dòng)的激光測(cè)量機(jī)構(gòu)，與傳統(tǒng)的接觸式測(cè)量裝置相比，不存在劃傷工件、測(cè)量頭部曲率半徑大造成測(cè)量偏差以及測(cè)量速度低的問題。在本發(fā)明一種表面粗糙度測(cè)量裝置的其他實(shí)施例中，與上述實(shí)施例不同的是，所述上層臺(tái)架由兩套直線導(dǎo)向移動(dòng)副以及一個(gè)架設(shè)在兩移動(dòng)副上的支撐平臺(tái)構(gòu)成，支撐平臺(tái)用于支撐固定工件；在本發(fā)明一種表面粗糙度測(cè)量裝置的其他實(shí)施例中，與上述實(shí)施例不同的是，所述的擋位結(jié)構(gòu)還可以為擋位塊、擋位臺(tái)階，所述直線電機(jī)動(dòng)子、定子還可以根據(jù)需要互換的設(shè)置位置。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，測(cè)量速度快，具有實(shí)時(shí)在線測(cè)量能力并且使用靈活，用于機(jī)器人視覺、實(shí)物仿形、自動(dòng)加工、工業(yè)檢測(cè)等領(lǐng)域。一種測(cè)量工作臺(tái)的實(shí)施例，如圖廣4所示，測(cè)量工作臺(tái)包括上下兩層臺(tái)架，每層所述臺(tái)架均包括直線導(dǎo)向移動(dòng)副，上層臺(tái)架具有一套所述直線導(dǎo)向移動(dòng)副，包括一個(gè)定導(dǎo)軌13和與對(duì)應(yīng)定導(dǎo)軌13導(dǎo)向配合的氣浮導(dǎo)軌11，氣浮導(dǎo)軌11上設(shè)有工件固定臺(tái)5，下層臺(tái)架具有平行設(shè)置的兩套直線導(dǎo)向移動(dòng)副，包括兩個(gè)定導(dǎo)軌8、8’和與對(duì)應(yīng)定導(dǎo)軌8、8’導(dǎo)向配合的兩個(gè)氣浮導(dǎo)軌4、4’，下層臺(tái)架還包括一個(gè)架設(shè)在該下層臺(tái)架的兩氣浮導(dǎo)軌上的大理石支撐平臺(tái)10，上層臺(tái)架固設(shè)在該支撐平臺(tái)10上并和該下層臺(tái)架一起構(gòu)成“工”字型結(jié)構(gòu)，支撐平臺(tái)10與兩氣浮導(dǎo)軌之間均設(shè)有橫截面為Z形支撐板6、6’，該支撐板6、6’的縱向兩端均固設(shè)有防止支撐平臺(tái)縱向竄動(dòng)的擋位結(jié)構(gòu)，該擋位結(jié)構(gòu)為擋位板9，該氣浮導(dǎo)軌均由上氣浮塊16，與上氣浮塊16底部?jī)蓚?cè)密封固連的兩個(gè)側(cè)氣浮塊17、18以及分別與兩個(gè)側(cè)氣浮塊17、18底部密封固連并相向延伸的底氣浮塊19、20構(gòu)成，所述定導(dǎo)軌橫截面的上部為T形，所述氣浮導(dǎo)軌的內(nèi)表面由各所述氣浮塊的出氣面構(gòu)成，所述出氣面與所述定導(dǎo)軌正對(duì)的位置上設(shè)有出氣孔22，各氣浮塊的出氣孔22在所述氣浮導(dǎo)軌內(nèi)部通過氣體通道21相互連通并共用一個(gè)進(jìn)氣孔23，在下層臺(tái)架的定導(dǎo)軌8’上設(shè)有直線電機(jī)支板14，直線電機(jī)支板14上安裝有直線電機(jī)定子15，氣浮導(dǎo)軌4’上安 裝拖動(dòng)板24，拖動(dòng)板24與直線電機(jī)動(dòng)子25連接；在下層臺(tái)架的定導(dǎo)軌13上設(shè)有直線電機(jī)支板26,直線電機(jī)支板26上設(shè)有直線電機(jī)定子(未畫出)，在氣浮導(dǎo)軌11上色還有托動(dòng)板27，托動(dòng)板27上設(shè)有直線電機(jī)動(dòng)子(未畫出)。在本發(fā)明一種測(cè)量工作臺(tái)的其他實(shí)施例中，與上述實(shí)施例不同的是，所述上層臺(tái)架由兩套直線導(dǎo)向移動(dòng)副以及一個(gè)架設(shè)在兩移動(dòng)副上的支撐平臺(tái)構(gòu)成，支撐平臺(tái)用于支撐固定工件；在本發(fā)明的其他實(shí)施例中，與上述實(shí)施例不同的是，所述的擋位結(jié)構(gòu)還可以為擋位塊、擋位臺(tái)階，所述直線電機(jī)動(dòng)子、定子還可以根據(jù)需要互換的設(shè)置位置。
權(quán)利要求
1.一種表面粗糙度測(cè)量裝置，包括測(cè)量機(jī)構(gòu)和用于驅(qū)動(dòng)工件移動(dòng)的測(cè)量工作臺(tái)，其特征在于所述測(cè)量工作臺(tái)包括上下兩層臺(tái)架，每層所述臺(tái)架均包括直線導(dǎo)向移動(dòng)副，所述直線導(dǎo)向移動(dòng)副包括定導(dǎo)軌和與所述定導(dǎo)軌導(dǎo)向配合的氣浮導(dǎo)軌，所述氣浮導(dǎo)軌由上氣浮塊、與所述上氣浮塊底部?jī)蓚?cè)密封固連的兩個(gè)側(cè)氣浮塊以及分別與所述兩個(gè)側(cè)氣浮塊底部密封固連并相向延伸的底氣浮塊構(gòu)成，所述氣浮導(dǎo)軌的內(nèi)表面由各所述氣浮塊的出氣面構(gòu)成，所述出氣面與所述定導(dǎo)軌正對(duì)的位置上設(shè)有出氣孔，各氣浮塊的出氣孔在所述氣浮導(dǎo)軌內(nèi)部通過氣體通道相互連通并共用一個(gè)進(jìn)氣孔。
2.根據(jù)權(quán)利要求書I所述的一種表面粗糙度測(cè)量裝置，其特征在于所述上層臺(tái)架具有一套所述直線導(dǎo)向移動(dòng)副，所述下層臺(tái)架具有平行設(shè)置的兩套直線導(dǎo)向移動(dòng)副，所述下層臺(tái)架還包括一個(gè)架設(shè)在該下層臺(tái)架的兩所述氣浮導(dǎo)軌上的支撐平臺(tái)，所述上層臺(tái)架固設(shè)在該支撐平臺(tái)上并和該下層臺(tái)架一起構(gòu)成“工”字型結(jié)構(gòu)。
3.根據(jù)權(quán)利要求書I或2所述的一種表面粗糙度測(cè)量裝置，其特征在于每層臺(tái)架上均設(shè)有一個(gè)驅(qū)動(dòng)氣浮導(dǎo)軌沿對(duì)應(yīng)定導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)的直線電機(jī)。
4.根據(jù)權(quán)利要求書3所述的一種表面粗糙度測(cè)量裝置，其特征在于所述支撐板與所述下層臺(tái)架的兩氣浮導(dǎo)軌之間均設(shè)有橫截面為Z形支撐板，該支撐板的縱向兩端均固設(shè)有防止所述支撐平臺(tái)縱向竄動(dòng)的擋位結(jié)構(gòu)。
5.根據(jù)權(quán)利要求書I或2或4所述的一種表面粗糙度測(cè)量裝置，其特征在于該測(cè)量裝置還包括設(shè)于所述測(cè)量工作臺(tái)一側(cè)的立柱，所述測(cè)量機(jī)構(gòu)為設(shè)于所述立柱上的激光測(cè)量機(jī)構(gòu)，所述激光測(cè)量機(jī)構(gòu)通過進(jìn)步電機(jī)驅(qū)動(dòng)的滾珠絲杠在所述立柱上沿豎直方向上下運(yùn)動(dòng)。
6.根據(jù)權(quán)利要求書5所述的一種表面粗糙度測(cè)量裝置，其特征在于該激光測(cè)量機(jī)構(gòu)包括在所述立柱沿上沿豎直方向上下運(yùn)動(dòng)的測(cè)量臺(tái)、固連在該測(cè)量臺(tái)上的傳感器支架及固連在該傳感器支架端部的激光傳感器。
7.一種測(cè)量工作臺(tái)，其特征在于所述測(cè)量工作臺(tái)包括上下兩層臺(tái)架，每層所述臺(tái)架均包括直線導(dǎo)向移動(dòng)副，所述直線導(dǎo)向移動(dòng)副包括定導(dǎo)軌和與所述定導(dǎo)軌導(dǎo)向配合的氣浮導(dǎo)軌，所述氣浮導(dǎo)軌由上氣浮塊、與所述上氣浮塊底部?jī)蓚?cè)密封固連的兩個(gè)側(cè)氣浮塊以及分別與所述兩個(gè)側(cè)氣浮塊底部密封固連并相向延伸的底氣浮塊構(gòu)成，所述氣浮導(dǎo)軌的內(nèi)表面由各所述氣浮塊的出氣面構(gòu)成，所述出氣面與所述定導(dǎo)軌正對(duì)的位置上設(shè)有出氣孔，各氣浮塊的出氣孔在所述氣浮導(dǎo)軌內(nèi)部通過氣體通道相互連通并共用一個(gè)進(jìn)氣孔。
8.根據(jù)權(quán)利要求書7所述的一種測(cè)量工作臺(tái)，其特征在于所述上層臺(tái)架具有一套所述直線導(dǎo)向移動(dòng)副，所述下層臺(tái)架具有平行設(shè)置的兩套直線導(dǎo)向移動(dòng)副，所述下層臺(tái)架還包括一個(gè)架設(shè)在該下層臺(tái)架的兩所述氣浮導(dǎo)軌上的支撐平臺(tái)，所述上層臺(tái)架固設(shè)在該支撐平臺(tái)上并和該下層臺(tái)架一起構(gòu)成“工”字型結(jié)構(gòu)。
9.根據(jù)權(quán)利要求書7或8所述的一種測(cè)量工作臺(tái)，其特征在于每層臺(tái)架上均設(shè)有一個(gè)驅(qū)動(dòng)氣浮導(dǎo)軌沿對(duì)應(yīng)定導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)的直線電機(jī)。
10.根據(jù)權(quán)利要求書9所述的一種測(cè)量工作臺(tái)，其特征在于所述支撐板與所述下層臺(tái)架的兩氣浮導(dǎo)軌之間均設(shè)有橫截面為Z形支撐板，該支撐板的縱向兩端均固設(shè)有防止所述支撐平臺(tái)縱向竄動(dòng)的擋位結(jié)構(gòu)。
全文摘要
本發(fā)明的一種表面粗糙度測(cè)量裝置，包括測(cè)量機(jī)構(gòu)和測(cè)量工作臺(tái)，測(cè)量工作臺(tái)由上下兩層臺(tái)架構(gòu)成，每層臺(tái)架均包括直線導(dǎo)向移動(dòng)副，直線導(dǎo)向移動(dòng)副包括定導(dǎo)軌和氣浮導(dǎo)軌，氣浮導(dǎo)軌由上氣浮塊、與上氣浮塊底部?jī)蓚?cè)固連的兩個(gè)側(cè)氣浮塊以及分別與兩個(gè)側(cè)氣浮塊底部固連并相向延伸的底氣浮塊構(gòu)成，氣浮導(dǎo)軌的內(nèi)表面由各氣浮塊的出氣面構(gòu)成，出氣面與定導(dǎo)軌正對(duì)的位置上設(shè)有出氣孔，各氣浮塊的出氣孔在氣浮導(dǎo)軌內(nèi)部通過氣體通道相互連通并共用一個(gè)進(jìn)氣孔；同時(shí)本發(fā)明還提供一種測(cè)量工作臺(tái)。本發(fā)明構(gòu)成測(cè)量工作臺(tái)的氣浮導(dǎo)軌可沿定導(dǎo)軌無摩擦運(yùn)動(dòng)，解決了現(xiàn)有技術(shù)中測(cè)量工作臺(tái)響應(yīng)速度慢、移動(dòng)速度低且控制精度低的問題。
文檔編號(hào)G01B11/30GK102679916SQ20121000883
公開日2012年9月19日 申請(qǐng)日期2012年1月12日 優(yōu)先權(quán)日2012年1月12日
發(fā)明者崔鳳奎, 張豐收, 徐紅玉, 王曉強(qiáng), 薛進(jìn)學(xué), 高樂 申請(qǐng)人:河南科技大學(xué)