專利名稱:反射型光纖-微流控芯片折射率傳感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及基于光纖和微流控芯片的傳感器,特別是涉及折射率檢測(cè)的微量液體生化傳感器。
背景技術(shù):
微流控芯片是當(dāng)今科學(xué)研究熱點(diǎn)領(lǐng)域之一,在生命科學(xué)、化學(xué)、光學(xué)等領(lǐng)域具有廣闊應(yīng)用前景。由于微流控芯片通道尺度通常在數(shù)十至數(shù)百微米量級(jí),能夠大大降低樣品消耗量,提高系統(tǒng)集成度。目前使用的微流控芯片光學(xué)傳感器通常依托于復(fù)雜的光路系統(tǒng)或精密的加工技術(shù),從而嚴(yán)重限制了其在臨床醫(yī)學(xué)診斷、環(huán)境監(jiān)測(cè)和食品安全等領(lǐng)域的實(shí)際應(yīng)用。
折射率是一種常用檢測(cè)指標(biāo),通常用于沒有熒光和特征光吸收的樣品檢測(cè),例如蔗糖濃度的檢測(cè)和無標(biāo)記的生物樣品檢測(cè)。目前廣泛使用的商品化便攜式折射率檢測(cè)儀器多采用棱鏡作為檢測(cè)元件,通過目鏡人為讀取折射率數(shù)值或儀表顯示折射率數(shù)值,這一類型的折射率檢測(cè)儀器的靈敏度通常在10_3-10_4折射率單位量級(jí)。在生命科學(xué)研究中使用的表面等離子體共振(SPR)分析儀其折射率靈敏度能達(dá)到10_6折射率單位量級(jí)以上,但是其價(jià)格非常昂貴,體積較大,對(duì)樣品要求高,難以適應(yīng)現(xiàn)場(chǎng)快速檢測(cè)的需求。
目前報(bào)道的微流控芯片折射率傳感器多是在微流控芯片上集成諧振腔或微加工的干涉儀,通過測(cè)量光譜峰的移動(dòng)信息,獲取被測(cè)樣品的折射率。典型的例子包括將微納光纖制備的微環(huán)諧振腔與微流控芯片集成的折射率傳感器;微加工的馬赫-曾德干涉儀與微流控芯片集成的折射率傳感器等。此類傳感器不僅需要昂貴的加工設(shè)備和復(fù)雜的加工過程,而且難以保證每個(gè)傳感器的性能的一致性,更重要的是其靈敏度依賴于外接光譜儀的分辨率。
通過測(cè)量光強(qiáng)變化是檢測(cè)折射率的另一途徑,例如包埋式的微納光纖微流控芯片折射率傳感器和光纖拉錐尖端折射率傳感器等。樣品折射率的變化將引起微納光纖外圍倏逝場(chǎng)或光纖拉錐尖端光場(chǎng)分布的變化,從而導(dǎo)致輸出光強(qiáng)信號(hào)的改變。這類傳感器不需要依賴于昂貴的高分辨光譜儀,檢測(cè)靈敏度可以達(dá)到10_4折射率單位量級(jí)。但是,微納光纖直徑或拉錐光纖尖端外形的微小變化,會(huì)引起折射率傳感器性能的顯著變化,從而使得這一類型的傳感器難以用于工業(yè)化的大規(guī)模生產(chǎn)。
近期,研究工作者報(bào)到了一種連續(xù)可調(diào)的光衰減器,該衰減器使用一根標(biāo)準(zhǔn)光纖將入射光引入微流控芯片,光線經(jīng)過微透鏡組準(zhǔn)直后在微通道界面發(fā)生反射和折射,反射光經(jīng)過另一透鏡組射入一根出射光纖,通過調(diào)節(jié)微通道內(nèi)溶液的折射率,出射光纖的輸出光強(qiáng)隨之變化。若將此光衰減器直接作為折射率傳感器使用存在兩個(gè)缺陷第一,一個(gè)入射角度只能對(duì)應(yīng)0. 01-0. 02折射率單位的敏感區(qū),例如,當(dāng)入射角為69°時(shí),傳感器只對(duì)折射率在1. 33-1. 34范圍內(nèi)的溶液折射率變化敏感;第二,在微流控芯片上集成微透鏡需要昂貴的加工設(shè)備,加工成本高。
因此,研究一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、折射率檢測(cè)范圍寬的微流控芯片折射率傳感器對(duì)于生命科學(xué)、環(huán)境監(jiān)測(cè)和食品質(zhì)量控制等領(lǐng)域的研究和發(fā)展都具有重要意義。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的之一是提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單的反射型光纖-微流控芯片折射率傳感
ο本發(fā)明的目的之二是提供一種折射率檢測(cè)范圍連續(xù)可調(diào)的反射型光纖-微流控芯片折射率傳感器。為實(shí)現(xiàn)以上目的,本發(fā)明所采取的技術(shù)方案是該反射型光纖-微流控芯片折射率傳感器包括由透明材料制成的微流控芯片,微流控芯片的內(nèi)部設(shè)有檢測(cè)通道,在檢測(cè)通道的同一側(cè)設(shè)有入射光纖通道和出射光纖通道,入射光纖通道的光線出射口、出射光纖通道的光線入射口、檢測(cè)通道相互間隔,且由入射光纖通道出射的光線經(jīng)檢測(cè)通道的側(cè)壁反射后能夠入射到出射光纖通道中,入射光纖通道和出射光纖通道內(nèi)的光纖與各自的通道相匹配,入射光纖通道內(nèi)的光纖的出射端的端面與入射光纖通道的光線出射口的端面齊平, 出射光纖通道內(nèi)的光纖的入射端的端面與出射光纖通道的光線入射口的端面齊平。優(yōu)選地,本發(fā)明從同一個(gè)入射光纖通道出射的光線經(jīng)檢測(cè)通道的側(cè)壁反射后能夠入射到一個(gè)以上出射光纖通道中。優(yōu)選地,本發(fā)明所述檢測(cè)通道的所述側(cè)壁垂直于該檢測(cè)通道的底面。優(yōu)選地,本發(fā)明所述檢測(cè)通道的橫截面呈矩形。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明的有益效果是(1)根據(jù)菲涅爾公式可知,當(dāng)光線在兩種折射率不同的物質(zhì)的界面發(fā)生發(fā)射和折射時(shí),不同的入射角對(duì)應(yīng)不同的折射率敏感范圍。 本發(fā)明在未對(duì)光線進(jìn)行微透鏡準(zhǔn)直的情況下,通過入射光線經(jīng)入射光纖通道內(nèi)的光纖以一定的發(fā)散角射向檢測(cè)通道的側(cè)壁,從而獲得了一組入射角連續(xù)變化的入射光線;而入射光線經(jīng)過檢測(cè)通道的側(cè)壁反射后繼續(xù)發(fā)散,因此,通過在不同的反射角度設(shè)置的一個(gè)或多個(gè)收集反射光的出射光纖通道內(nèi)的光纖便可收集到不同入射光線所產(chǎn)生的反射光線,從而實(shí)現(xiàn)對(duì)不同折射率范圍樣品溶液的折射率檢測(cè)。(2)本發(fā)明傳感器可使用標(biāo)準(zhǔn)商用光纖,可與外圍光源、光強(qiáng)探測(cè)器無縫對(duì)接,實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)檢測(cè)和危險(xiǎn)環(huán)境下的遠(yuǎn)距離傳感,并且可以避免昂貴高分辨率光譜儀的使用。(3)本發(fā)明傳感器結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,無需集成微透鏡,因此不需使用昂貴的加工設(shè)備,加工過程簡(jiǎn)單和加工成本低,傳感器的可重復(fù)性好,便于大規(guī)模生產(chǎn)。
圖1是本發(fā)明具有一個(gè)入射光纖通道和一個(gè)對(duì)應(yīng)的出射光纖通道的反射型光纖-微流控芯片折射率傳感器的結(jié)構(gòu)示意圖2是本發(fā)明具有一個(gè)入射光纖通道和三個(gè)出射光纖通道的反射型光纖-微流控芯片折射率傳感器的結(jié)構(gòu)示意圖3是本發(fā)明傳感器在光線的出射角為69°時(shí),將不同折射率乙二醇溶液引入檢測(cè)通道所測(cè)得的折射率測(cè)量工作曲線;
圖4是本發(fā)明傳感器在光線的出射角分別為71°、72°、74°時(shí),將不同折射率乙二醇溶液引入檢測(cè)通道所測(cè)得的折射率測(cè)量工作曲線。圖中1 一 PDMS基片,2—平板玻璃基片,3-檢測(cè)通道,4 一入射光纖通道,5、5_1、5-2-出射光纖通道,6-入射光纖,7、7-1、7-2_出射光纖,8-光源,9 一光強(qiáng)探測(cè)器,10-檢測(cè)通道的溶液入口,11-檢測(cè)通道的溶液出口,12-檢測(cè)通道的反射區(qū),13-入射光纖通道的光線出射口,14-出射光纖通道的光線入射口,15-入射光纖通道、出射光纖通道的光纖插入具體實(shí)施方式
以下以透明聚合物聚二甲基硅氧烷(PDMS)制作微流控芯片并使用商用單模光纖 (外徑125微米,芯徑10微米)為例來說明本發(fā)明傳感器的結(jié)構(gòu)及其制備方法。需要說明的是,該實(shí)施例并非是對(duì)本發(fā)明技術(shù)方案的限制,本發(fā)明也可使用其他透明材料制作微流控芯片并使用其他光纖,與各通道和光纖有關(guān)的尺寸數(shù)值僅是為說明本發(fā)明之方便而使用, 并不限于以下所舉的具體數(shù)值。
具體地說,微流控芯片可采用SU-8陽模和折射率約為1. 41的PDMS進(jìn)行制備。首先根據(jù)PDMS的折射率和被測(cè)樣品的折射率范圍,依據(jù)如下所示的菲涅爾公式計(jì)算經(jīng)入射光纖通道4射出的不同入射角的光線所對(duì)應(yīng)的反射系數(shù)其中,θ為光線的入射角,Ii1為微流控芯片材f、丨的折射率,η2為被測(cè)樣品的折射率,rs 為s波的振幅反射系數(shù),rp為ρ波的振幅反射系數(shù)K力入射光線的反射系數(shù)。
折射率變化相同時(shí),反射系數(shù)變化越大,折射本檢測(cè)靈敏度越高。因此,通過計(jì)算不同光線入射角對(duì)應(yīng)的反射系數(shù),可以優(yōu)化不同折射率區(qū)間對(duì)應(yīng)的光線入射角θ,從而獲得入射光纖通道4和出射光纖通道5與檢測(cè)通道3的夾角,確定本發(fā)明的傳感器的結(jié)構(gòu)。然后,根據(jù)本發(fā)明傳感器的結(jié)構(gòu)加工SU-8陽模。
在本發(fā)明傳感器中,檢測(cè)通道3利用其與入射光纖通道4和出射光纖通道5處于同一側(cè)的側(cè)壁反射光線;而入射光纖通道4和出射光纖通道5的作用是固定光纖,而入射光纖通道4和出射光纖通道5內(nèi)的光纖則分別用于出射和收集光線。本發(fā)明對(duì)各通道的橫截面形狀并無特別限定,可以是矩形、三角形、梯形、圓形等。但對(duì)于檢測(cè)通道3的用以將由入射光纖通道4出射的光線反射到出射光纖通道5中的側(cè)壁而言,作為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式,該側(cè)壁垂直于檢測(cè)通道3的底面,這樣可以保證光線在同一個(gè)平面上反射;進(jìn)一步地, 檢測(cè)通道3的橫截面優(yōu)選為矩形。而當(dāng)入射光纖通道4和出射光纖通道5的橫截面為矩形B1COS^-H2 Il- —-SBtt^Lb= J時(shí),在工藝上容易確保光纖端面與通道端面齊平。并且,在對(duì)SU-8陽模進(jìn)行加工時(shí),相對(duì)于其他的形狀,將各通道的橫截面加工為矩形更簡(jiǎn)單易行。加工SU-8陽模時(shí),SU-8陽模上對(duì)應(yīng)于檢測(cè)通道3、入射光纖通道4和出射光纖通道5的凸起部分垂直于陽模的底面,從而保證檢測(cè)通道3的橫截面為矩形,入射光纖通道4 和出射光纖通道5的橫截面為矩形。為了保證光線嚴(yán)格按照設(shè)計(jì)的入射和反射角度在微流控芯片內(nèi)傳播,入射光纖通道4和出射光纖通道5應(yīng)分別與插入其中的光纖相匹配,以使當(dāng)光纖插入入射光纖通道4和出射光纖通道5后,通道內(nèi)的光纖相對(duì)于通道位置固定、不滑移。本實(shí)施例采用外徑為125微米的商用單模光纖作為入射光纖和出射光纖,這時(shí)可將 SU-8陽模與入射光纖通道和出射光纖通道對(duì)應(yīng)的凸起部分的高度(對(duì)應(yīng)于矩形橫截面的長(zhǎng)度)設(shè)計(jì)為130微米(該高度也可是其他尺寸,技術(shù)人員可根據(jù)情況自行確定,一般,高度比寬度的尺寸大)、寬度(即對(duì)應(yīng)于矩形橫截面的寬度)設(shè)計(jì)為125微米。由于本實(shí)施例中光纖的外徑和與入射光纖通道和出射光纖通道對(duì)應(yīng)的凸起部分的寬度均為125微米,因此入射光纖通道4和出射光纖通道5內(nèi)的光纖不會(huì)在通道內(nèi)滑移,實(shí)現(xiàn)相對(duì)固定。將未固化的PDMS澆注在SU-8陽模上,在85°C的溫度下固化30分鐘,然后將其與 SU-8陽模剝離,形成具有檢測(cè)通道3、入射光纖通道4和出射光纖通道5的PDMS基片1,由于PDMS精確復(fù)制了 SU-8陽模的構(gòu)型,各通道的橫截面均為矩形,各通道深度均為130微米,入射光纖通道4和出射光纖通道5的寬度為125微米。如圖1所示,本發(fā)明微流控芯片由具有檢測(cè)通道3、入射光纖通道4和出射光纖通道5等微通道的PDMS基片1和平板玻璃基片2經(jīng)等離子體處理后鍵合而成,并且平板玻璃基片2的面積略大于PDMS基片1,以利于光纖在平板玻璃基片2上的固定。本實(shí)施例中,可將檢測(cè)通道3的長(zhǎng)度設(shè)計(jì)為1. 5厘米,寬度設(shè)計(jì)為150微米(但不限于該尺寸),兩端分別設(shè)有溶液入口 10和溶液出口 11 ;入射光纖通道4和出射光纖通道5的長(zhǎng)度可設(shè)計(jì)約2厘米(但不限于該尺寸),入射光纖通道4和出射光纖通道5靠近檢測(cè)通道3的一端分別為入射光纖通道4的光線出射口 13和出射光纖通道5的光線入射口 14,另一端與微流控芯片外部連通,為光纖插入口 15。將商用單模光纖的一段3-4厘米的保護(hù)層剝?nèi)?,然后采用光纖切割刀將光纖端面切割平整;分別將端面平整的入射光纖6和出射光纖7經(jīng)光纖插入口 15插入到入射光纖通道4和出射光纖通道5中,并使入射光纖通道4內(nèi)的光纖的出射端的端面與入射光纖通道 4的光線出射口 13的端面齊平,出射光纖通道5內(nèi)的光纖的入射端的端面與出射光纖通道 5的光線入射口 14的端面齊平。入射光纖6和出射光纖7緊貼平板玻璃基片2。在光纖插入口 15處滴加未固化的PDMS作為密封膠,使其滲入光纖與光纖通道的間隙,在85°C的溫度下固化30分鐘,進(jìn)一步固定光纖通道內(nèi)的光纖,同時(shí),PDMS基片1外側(cè)的入射光纖6和出射光纖7被PDMS固定于平板玻璃基片2的表面。使用本發(fā)明傳感器時(shí),將露在微流控芯片外部的光纖通過裸光纖適配器分別與光源8和探測(cè)器9連接,采用注射泵注入或負(fù)壓吸取的方式驅(qū)動(dòng)溶液從溶液入口 10流入檢測(cè)通道3,經(jīng)溶液出口 11流出。溶液通過檢測(cè)通道3的反射區(qū)12時(shí),光強(qiáng)探測(cè)器9記錄輸出光強(qiáng)的變化,實(shí)現(xiàn)對(duì)被測(cè)樣品溶液的折射率傳感。以下以反射角為69°的具有單根出射光纖的微流控芯片為例進(jìn)一步說明此傳感器的技術(shù)效果(參見圖1)。制備如圖1所示的單根出射光纖的本發(fā)明傳感器,其檢測(cè)通道3的寬度為150微
6米,長(zhǎng)度為1. 5厘米,深度為130微米。入射光纖通道4和出射光纖通道5的寬度均為125 微米,深度為130微米。入射角、反射角和出射角均為69°。采用外徑為125微米,芯徑約為10微米的商用單模光纖作為本發(fā)明傳感器的入射光纖6和出射光纖7,入射光纖6通過裸光纖適配器與波長(zhǎng)為633nm的氦氖激光器(光源8)相連,出射光纖7通過裸光纖適配器與光纖光譜儀(光強(qiáng)探測(cè)器9)相連。
首先將2微升蒸餾水滴在溶液入口 10,在溶液出口 11施加負(fù)壓,使蒸餾水流入檢測(cè)通道3,并經(jīng)過反射區(qū)12,測(cè)量出射光纖7輸出的反射光的光強(qiáng)(IJ。然后將一系列乙二醇溶液按照折射率由低到高的順序分別引入檢測(cè)通道3,并測(cè)量相應(yīng)的出射光纖7輸出的反射光的光強(qiáng)(I ),計(jì)算不同乙二醇溶液對(duì)應(yīng)的反射光的歸一化的透射率T (T=100%X I/ Ι0)ο乙二醇溶液折射率范圍在1. 33-1. 42范圍內(nèi)的折射率與歸一化的透射率的工作曲線如圖3所示。不難看出,當(dāng)出射角為69°時(shí),折射率的敏感區(qū)是1.33-1. 35。
作為本發(fā)明傳感器的另一種實(shí)施方式,也可以是一個(gè)入射光纖通道與兩個(gè)以上的出射光纖通道對(duì)應(yīng),使得從同一個(gè)入射光纖通道4出射的光線經(jīng)檢測(cè)通道3的側(cè)壁反射后能夠入射到多個(gè)出射光纖通道5中。以下以圖2所示結(jié)構(gòu)的本發(fā)明傳感器進(jìn)一步說明此傳感器折射率敏感區(qū)連續(xù)可調(diào)的技術(shù)效果。圖2中,一個(gè)入射光纖通道4與三個(gè)出射光纖通道 5、5-1、5-2 對(duì)應(yīng)。
制備如圖2所示的具有3根出射光纖的本發(fā)明傳感器時(shí),可設(shè)計(jì)檢測(cè)通道3的寬度為150微米,長(zhǎng)度為1. 5厘米,深度為130微米。入射光纖通道4和出射光纖通道5、5-1、 5-2的寬度均為125微米、深度為130微米。入射光纖的入射角為71°,出射光纖7_1、7、 7-2的反射角分別為71°、72°和74°。采用外徑為125微米、芯徑為10微米的商用單模光纖通作為本發(fā)明傳感器的入射光纖6和出射光纖7-1、7、7-2,入射光纖6通過裸光纖適配器與以波長(zhǎng)為633nm的氦氖激光器(光源8)相連,三根出射光纖7、7_1、7_2依次通過裸光纖適配器與光纖光譜儀(光強(qiáng)探測(cè)器9)相連,每次測(cè)量一根出射光纖的信息。折射率范圍在1. 33-1. 42范圍內(nèi)的3種反射角對(duì)應(yīng)的乙二醇溶液折射率與反射光的歸一化的透射率的工作曲線如圖4所示。不難看出,隨著反射角的增加,折射率的敏感區(qū)也向高折射率方向移動(dòng),而且具有相似的靈敏度。以反射角為72°的折射率工作曲線為例,當(dāng)折射率從1.35變化到1. 36時(shí),透射率變化70%,折射率從1. 35變化到1. 351時(shí),透射率變化30%,其對(duì)應(yīng)的折射率靈敏度到達(dá)3X10_5折射率單位。采用直徑125微米的多模商用光纖代替直徑125 微米的單模光纖亦可實(shí)現(xiàn)折射率敏感區(qū)連續(xù)可調(diào)的技術(shù)效果,由于多模光纖能夠收集的反射光線具有更寬的反射角范圍,其折射率的靈敏度較單模光纖作為收集光纖的靈敏度低一個(gè)數(shù)量級(jí)。若采用較大直徑的光纖作為入射光纖和出射光纖,不僅會(huì)導(dǎo)致折射率降低,還將導(dǎo)致微流控芯片通道的尺寸增加,從而導(dǎo)致樣品消耗量的增加。
綜上,本發(fā)明傳感器的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,折射率敏感區(qū)連續(xù)可調(diào),根據(jù)不同的樣品折射率范圍可以選擇不同的出射光纖進(jìn)行測(cè)量。此外,本發(fā)明傳感器的靈敏較普通商用折射率傳感器的靈敏度提高了 1-2個(gè)數(shù)量級(jí),且本發(fā)明傳感器的實(shí)際樣品消耗僅為數(shù)微升,無論從樣品消耗和靈敏度上都可滿足臨床醫(yī)學(xué)檢驗(yàn),環(huán)境監(jiān)測(cè)以及食品安全監(jiān)測(cè)的需要。
權(quán)利要求
1.一種反射型光纖-微流控芯片折射率傳感器,其特征是包括由透明材料制成的微流控芯片,微流控芯片的內(nèi)部設(shè)有檢測(cè)通道(3),在檢測(cè)通道(3)的同一側(cè)設(shè)有入射光纖通道(4)和出射光纖通道(5)等,入射光纖通道(4)的光線出射口(13)、出射光纖通道(5)的光線入射口(14)、檢測(cè)通道(3)之間相互間隔,且由入射光纖通道(4)出射的光線經(jīng)檢測(cè)通道(3)的側(cè)壁反射后能夠入射到出射光纖通道(5)中,入射光纖通道(4)和出射光纖通道 (5)內(nèi)的光纖與各自的通道相匹配,入射光纖通道(4)內(nèi)的光纖的出射端的端面與入射光纖通道(4)的光線出射口(13)的端面齊平,出射光纖通道(5)內(nèi)的光纖的入射端的端面與出射光纖通道(5)的光線入射口(14)的端面齊平。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的反射型光纖-微流控芯片折射率傳感器,其特征是從同一個(gè)入射光纖通道(4)出射的光線經(jīng)檢測(cè)通道(3)的側(cè)壁反射后能夠入射到一個(gè)以上出射光纖通道(5)中。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的反射型光纖-微流控芯片折射率傳感器,其特征是所述檢測(cè)通道(3)的所述側(cè)壁垂直于該檢測(cè)通道(3)的底面。
4.根據(jù)權(quán)利要3所述的反射型光纖-微流控芯片折射率傳感器,其特征是所述檢測(cè)通道(3)的的橫截面呈矩形。
全文摘要
本發(fā)明公開一種反射型光纖-微流控芯片折射率傳感器。微流控芯片設(shè)有檢測(cè)通道、入射光纖通道和出射光纖通道。在檢測(cè)通道的同一側(cè)設(shè)有入射光纖通道和出射光纖通道,入射光纖通道的光線出射口、出射光纖通道的光線入射口和檢測(cè)通道相互間隔,且由入射光纖通道出射的光線經(jīng)檢測(cè)通道的側(cè)壁反射后能夠入射到出射光纖通道中。光纖與光纖通道相匹配,光纖端面與光纖通道端面齊平,光纖通過標(biāo)準(zhǔn)接口與外部光源和光強(qiáng)探測(cè)器相連。改變出射光纖通道與檢測(cè)通道的夾角,可以調(diào)節(jié)此傳感器的折射率檢測(cè)范圍。由于是反射型檢測(cè),此傳感器可以檢測(cè)不透明液體樣品。因此,本發(fā)明能實(shí)現(xiàn)不同折射率范圍的微量液體樣品的折射率測(cè)量。
文檔編號(hào)G01N21/41GK102519907SQ201110423100
公開日2012年6月27日 申請(qǐng)日期2011年12月16日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月16日
發(fā)明者張磊, 方偉, 童利民 申請(qǐng)人:浙江大學(xué)