專利名稱：差動電容式傳感器模塊及使用該模塊的用于顯示面板的檢查設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種差動電容式傳感器模塊及使用該模塊的用于顯示面板的檢查設(shè)備。更具體地說，本發(fā)明涉及一種差動電容式傳感器模塊及使用該模塊的用于顯示面板的檢查設(shè)備，當(dāng)交流電源應(yīng)用到形成在顯示面板上的模式電極的一側(cè)時，該檢查設(shè)備通過非接觸式傳感器測量的電壓和非接觸式差動傳感器測量的差動電壓來檢查所述顯示面板的交叉短路，其中，所述非接觸式傳感器設(shè)置成朝向位于應(yīng)用所述交流電源的所述模式電極的另一側(cè)的所述模式電極，并且在所述模式電極的縱向上將非接觸式差動傳感器設(shè)置成平行于所述非接觸式傳感器。
背景技術(shù)：
近來，隨著顯示面板分辨率的提高，模式電極之間的距離不斷縮短，將有源矩陣式顯示面板配置成在單個基板上具有縱向數(shù)據(jù)模式電極和橫向柵極模式電極。為了檢查故障，比如顯示面板中模式電極的開路、短路和交叉短路，將信號應(yīng)用到模式電極的一端，同時檢測模式電極另一端的信號。如果所檢測的信號幅度與預(yù)設(shè)幅度不同，那么能夠確定顯示面板內(nèi)發(fā)生了故障。應(yīng)當(dāng)注意的是，以上描述用于了解背景技術(shù)，而非描述與本發(fā)明相關(guān)的公知現(xiàn)有技術(shù)。在大顯示面板的故障檢查中，將電源饋入模式電極的一端并且在遠(yuǎn)離該端的位置 (即模式電極的另一端)發(fā)生故障時，該模式電極的線路電阻，隨著與電源饋入的模式電極一端的距離的增大，而使應(yīng)用信號的幅度減小，因此，由于故障而獲得的異常信號的幅度也減小，而難以檢測故障。如此一來，當(dāng)故障信號的幅度小時，不但難以檢測該故障信號，而且難以區(qū)分故障和噪音，在檢查由于交叉短路而造成的故障時，在某些區(qū)域造成檢查誤差和檢查性能明顯
T^ O

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明旨在解決相關(guān)技術(shù)中的這種問題，本發(fā)明的一些方面在于提供差動電容式傳感器模塊和使用該模塊的用于顯示面板的檢查設(shè)備，當(dāng)交流電源應(yīng)用到形成在顯示面板上的模式電極的一側(cè)時，該檢查設(shè)備通過非接觸式傳感器測量的電壓和通過非接觸式差動傳感器測量的差動電壓來檢查所述顯示面板的交叉短路，其中，所述非接觸式傳感器設(shè)置成朝向位于應(yīng)用所述交流電源的所述模式電極的另一側(cè)的所述模式電極，并且在所述模式電極的縱向上將所述非接觸式差動傳感器設(shè)置成平行于所述非接觸式傳感器。根據(jù)本發(fā)明的一方面，一種差動電容式傳感器模塊，包括非接觸式傳感器，設(shè)置成朝向模式電極并輸出檢測電壓；以及非接觸式差動傳感器，設(shè)置成平行于所述非接觸式傳感器并輸出與所述模式電極相鄰的另一模式電極處的差動電壓。
所述非接觸式差動傳感器可以設(shè)置在所述非接觸式傳感器的任一側(cè)。所述非接觸式差動傳感器可以包括多個傳感器電極，設(shè)置成在所述另一模式電極的縱向上朝向所述另一模式電極；和比較器，差動地接收所述多個傳感器電極的檢測電壓并輸出差動電壓。所述多個傳感器電極可以包括排列成一行的第一傳感器電極、第二傳感器電極和第三傳感器電極，所述第一傳感器電極和所述第三傳感器電極連接所述比較器的一端，所述第二傳感器電極連接所述比較器的另一端。根據(jù)本發(fā)明的另一方面，一種差動電容式傳感器模塊，包括多個傳感器電極，設(shè)置成在模式電極的縱向上朝向所述模式電極；以及比較器，差動地接收所述多個傳感器電極的檢測電壓并輸出差動電壓。所述多個傳感器電極可以包括排列成一行的第一傳感器電極、第二傳感器電極和第三傳感器電極，所述第一傳感器電極和所述第三傳感器電極連接所述比較器的一端，所述第二傳感器電極連接所述比較器的另一端。根據(jù)本發(fā)明的又一方面，一種使用差動電容式傳感器的用于顯示面板的檢查設(shè)備，包括饋電探頭，當(dāng)垂直掃描模式電極的一端時，將交流電源應(yīng)用到顯示面板的所述模式電極；差動電容式傳感器模塊，當(dāng)垂直掃描通過所述饋電探頭應(yīng)用所述交流電源的所述模式電極的另一端時，測量所述模式電極處的電壓以及與所述模式電極相鄰的另一模式電極處的差動電壓；以及控制器，當(dāng)控制所述饋電探頭和所述差動電容式傳感器模塊掃描時， 基于通過所述差動電容式傳感器模塊測量的所述電壓和所述差動電壓，確定與所述饋電探頭相接觸的所述模式電極的交叉短路。所述差動電容式傳感器模塊包括非接觸式傳感器，設(shè)置成朝向所述模式電極并輸出檢測電壓；以及非接觸式差動傳感器，設(shè)置成平行于所述非接觸式傳感器并輸出與所述模式電極相鄰的所述另一模式電極處的所述差動電壓。所述非接觸式差動傳感器可以設(shè)置在所述非接觸式傳感器的任一側(cè)。所述非接觸式差動傳感器可以包括多個傳感器電極，設(shè)置成在所述另一模式電極的縱向上朝向所述另一模式電極；和比較器，差動地接收所述多個傳感器電極的檢測電壓并輸出差動電壓。所述多個傳感器電極可以包括排列成一行的第一傳感器電極、第二傳感器電極和第三傳感器電極，所述第一傳感器電極和所述第三傳感器電極連接所述比較器的一端，所述第二傳感器電極連接所述比較器的另一端。根據(jù)本發(fā)明的又一方面，一種使用差動電容式傳感器的用于顯示面板的檢查設(shè)備，包括饋電探頭，當(dāng)垂直掃描模式電極的一端時，將交流電源應(yīng)用到顯示面板的所述模式電極；差動電容式傳感器模塊，當(dāng)垂直掃描通過所述饋電探頭應(yīng)用所述交流電源的所述模式電極的另一端時，測量所述模式電極處的差動電壓；以及控制器，當(dāng)控制所述饋電探頭和所述差動電容式傳感器模塊掃描時，基于通過所述差動電容式傳感器模塊測量的所述差動電壓，確定與所述饋電探頭相接觸的所述模式電極的交叉短路。所述差動電容式傳感器模塊包括多個傳感器電極，設(shè)置成在所述模式電極的縱向上朝向所述模式電極；以及比較器，差動地接收所述多個傳感器電極的檢測電壓并輸出差動電壓。
所述多個傳感器電極可以包括排列成一行的第一傳感器電極、第二傳感器電極和第三傳感器電極，所述第一傳感器電極和所述第三傳感器電極連接所述比較器的一端，所述第二傳感器電極連接所述比較器的另一端。


根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實施例的以下描述并結(jié)合附圖，本發(fā)明的上述和其他方面、特征和優(yōu)點是顯而易見的。圖1為根據(jù)本發(fā)明第一優(yōu)選實施例的差動電容式傳感器模塊的示意圖；圖2為根據(jù)本發(fā)明第一優(yōu)選實施例的差動電容式傳感器模塊的非接觸式差動傳感器的示意圖；圖3為根據(jù)本發(fā)明第二優(yōu)選實施例的差動電容式傳感器模塊的示意圖；圖4為根據(jù)本發(fā)明第三優(yōu)選實施例的差動電容式傳感器模塊的示意圖；圖5為根據(jù)本發(fā)明第三優(yōu)選實施例的差動電容式傳感器模塊的非接觸式差動傳感器的示意圖；圖6為根據(jù)本發(fā)明第四優(yōu)選實施例的差動電容式傳感器模塊的示意圖；圖7為根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實施例的使用差動電容式傳感器模塊的用于顯示面板的檢查設(shè)備的示意圖；及圖8為根據(jù)本發(fā)明另一優(yōu)選實施例的使用差動電容式傳感器模塊的用于顯示面板的檢查設(shè)備的示意圖。
具體實施例方式以下將結(jié)合附圖詳細(xì)闡述本發(fā)明的優(yōu)選實施例。應(yīng)注意的是，附圖的比例并不精確，為了描述方便及清楚，可放大線的厚度或元件的尺寸。而且，考慮到本發(fā)明的功能，限定此文中使用的術(shù)語，并且可根據(jù)用戶或操作人員的習(xí)慣或意圖改變這些術(shù)語。因此，應(yīng)根據(jù)文中整體的公開內(nèi)容來定義這些術(shù)語。圖1為根據(jù)本發(fā)明第一優(yōu)選實施例的差動電容式傳感器模塊的示意圖；圖2為根據(jù)本發(fā)明第一優(yōu)選實施例的差動電容式傳感器模塊的非接觸式差動傳感器的示意圖；圖3 為根據(jù)本發(fā)明第二優(yōu)選實施例的差動電容式傳感器模塊的示意圖。參考圖1，根據(jù)第一優(yōu)選實施例的差動電容式傳感器模塊100包括非接觸式傳感器110和多個非接觸式差動傳感器120。非接觸式傳感器110設(shè)置成朝向多個模式電極10并輸出檢測電壓，多個非接觸式差動傳感器120設(shè)置成平行于非接觸式傳感器110并輸出與朝向非接觸式傳感器110的模式電極10相鄰的其它模式電極10處的差動電壓。即使根據(jù)掃描方向檢查形成在顯示面板的最外面區(qū)域處的模式電極10時，多個非接觸式差動傳感器120設(shè)置在非接觸式傳感器110的相反側(cè)以檢測差動電壓。參照圖2，每個非接觸式差動傳感器120包括第一傳感器電極121、第二傳感器電極122和比較器126。第一傳感器電極121和第二傳感器電極122設(shè)置成在模式電極10的縱向上朝向顯示面板(未示出)的模式電極10。
比較器1 在其非反相終端(+)處連接第一傳感器電極121，在其反相終端㈠處連接第二傳感器電極122，以差動地接收第一傳感器電極121和第二傳感器電極122的電壓并輸出差動電壓Vout。相應(yīng)地，比較器1 不但通過非接觸式傳感器110檢測模式電極10處的電壓，而且通過第一傳感器電極121和第二傳感器電極122檢測其它模式電極10縱向上的差動電壓，因此，正常狀態(tài)下差動電壓輸出為0。參照圖3，根據(jù)第二優(yōu)選實施例的差動電容式傳感器模塊，僅僅由非接觸式差動傳感器120構(gòu)成，該非接觸式差動傳感器120包括第一傳感器電極121、第二傳感器電極122 和比較器126。第一傳感器電極121和第二傳感器電極122設(shè)置成在模式電極10的縱向上朝向顯示面板(未示出)的模式電極10。比較器1 在其非反相終端⑴處連接第一傳感器電極121，在其反相終端㈠處連接第二傳感器電極122，以差動地接收第一傳感器電極121和第二傳感器電極122的電壓并輸出差動電壓Vout。相應(yīng)地，比較器1 通過第一傳感器電極121和第二傳感器電極122檢測模式電極10縱向上的差動電壓，因此，正常狀態(tài)下差動電壓輸出為0。圖4為根據(jù)本發(fā)明第三優(yōu)選實施例的差動電容式傳感器模塊的示意圖；圖5為根據(jù)本發(fā)明第三優(yōu)選實施例的差動電容式傳感器模塊的非接觸式差動傳感器的示意圖；圖6 為根據(jù)本發(fā)明第四優(yōu)選實施例的差動電容式傳感器模塊的示意圖。參考圖4，根據(jù)第三優(yōu)選實施例的差動電容式傳感器模塊100，包括非接觸式傳感器110和多個非接觸式差動傳感器120。此處，非接觸式傳感器110設(shè)置成朝向多個模式電極10并輸出檢測電壓，多個非接觸式差動傳感器120設(shè)置成平行于非接觸式傳感器110輸出與朝向非接觸式傳感器110的模式電極10相鄰的其它模式電極10處的差動電壓。此處，如圖5所示，每個非接觸式差動傳感器120包括第三傳感器電極123、第四傳感器電極124、第五傳感器電極125和比較器126。第三傳感器電極123、第四傳感器電極IM和第五傳感器電極125排列成一行以在模式電極10的縱向上朝向顯示面板(未示出)的模式電極10。比較器1 在其非反相終端(+)處連接第三傳感器電極123和第五傳感器電極 125，在其反相終端(-)處連接第四傳感器電極124，以差動地接收第三傳感器電極123和第五傳感器電極125的電壓并輸出差動電壓Vout。相應(yīng)地，測量相鄰模式電極10處的差動電壓時，設(shè)置在第四傳感器電極IM前后側(cè)的第三傳感器電極123和第五傳感器電極125補(bǔ)償由于模式電極10的不規(guī)則平面度而使第三傳感器電極123到第五傳感器電極125和模式電極10之間的距離變化所造成的誤差，因此，能夠穩(wěn)定地檢查差動電壓。參照圖6，根據(jù)第四優(yōu)選實施例的差動電容式傳感器模塊，僅僅由非接觸式差動傳感器120構(gòu)成，該非接觸式差動傳感器120包括第三傳感器電極123、第四傳感器電極124、 第五傳感器電極125和比較器126。第三到傳感器電極123、第四傳感器電極IM和第五傳感器電極125排列成一行以在模式電極10的縱向上朝向顯示面板(未示出)的模式電極10。
比較器1 在其非反相終端⑴處連接第三傳感器電極123和第五傳感器電極 125，在其反相終端(-)處連接第四傳感器電極124，以差動地接收第三傳感器電極123和第五傳感器電極125的電壓并輸出差動電壓Vout。相應(yīng)地，測量相鄰模式電極10處的差動電壓時，設(shè)置在第四傳感器電極IM前后側(cè)的第三傳感器電極123和第五傳感器電極125補(bǔ)償由于模式電極10的不規(guī)則平面度而使第三傳感器電極123到第五傳感器電極125和模式電極10之間的距離變化所造成的誤差，因此，能夠穩(wěn)定地檢查差動電壓。圖7為根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實施例的使用差動電容式傳感器模塊的用于顯示面板的檢查設(shè)備的示意圖。參照圖7，根據(jù)優(yōu)選實施例的使用差動電容式傳感器模塊的用于顯示面板的檢查設(shè)備，包括接觸式探頭300、差動電容式傳感器模塊100和控制器200。當(dāng)垂直掃描數(shù)據(jù)模式電極30的一端時，接觸式探頭300將交流電源應(yīng)用到顯示面板(未示出)的數(shù)據(jù)模式電極30。在該實施例中，接觸式探頭300可以為本發(fā)明申請人申請的盤輪探頭，該盤輪探頭被韓國專利號0458930(
公開日2004.12.03)所公開，專利名稱為“用于檢查液晶顯示器面板的輪式探頭模塊以及使用該輪式探頭模塊的用于檢查液晶顯示器面板的設(shè)備和方法(Wheel Probe Module for Inspection of LCD Panel and Apparatus and Method for Inspection of LCD Panel using the same) ”，或者接觸式探頭300可以為本發(fā)明申請人申請的球形探頭，該球形探頭被韓國專利號0752938(
公開日2007.08. 30)所公開，專利名稱為“使用球體的接觸式探頭(Contact Type Probe Using Ball)”。當(dāng)垂直掃描通過接觸式探頭300應(yīng)用交流電源的數(shù)據(jù)模式電極30的另一端時，差動電容式傳感器模塊100通過非接觸式傳感器110測量和輸出數(shù)據(jù)模式電極30處的電壓， 通過多個非接觸式差動傳感器120測量和輸出與數(shù)據(jù)模式電極30相鄰的其它數(shù)據(jù)模式電極30的差動電壓。此處，每個非接觸式差動傳感器120的長度可約為數(shù)據(jù)模式電極30長度的20%， 以朝向數(shù)據(jù)模式電極30在縱向上通過測量獲得的電壓為預(yù)設(shè)電壓或預(yù)設(shè)電壓以下的區(qū)域。因此，在單個非接觸式傳感器110難以檢測到由于交流電源的幅度減小而造成故障的區(qū)域內(nèi)，也能夠檢測到故障，而交流電源的幅度減小是由于在包括有源矩陣模式的薄膜晶體管液晶顯示器的顯示面板內(nèi)的數(shù)據(jù)模式電極30的線路電阻所造成的。當(dāng)控制接觸式探頭300和差動電容式傳感器模塊100掃描時，控制器200，基于通過非接觸式傳感器110測量的數(shù)據(jù)模式電極30處的電壓和通過多個非接觸式差動傳感器 120測量的其它數(shù)據(jù)模式電極30處的差動電壓，來確定柵極模式電極40和與接觸式探頭 300相接觸的數(shù)據(jù)模式電極30的交叉短路。進(jìn)一步地，非接觸式傳感器110在朝向多個數(shù)據(jù)模式電極30的狀態(tài)下測量電壓時，在交叉短路發(fā)生在靠近通過接觸式探頭將交流電源應(yīng)用到的部分時，控制器200可以基于通過非接觸式傳感器110測量的電壓來確定交叉短路。接下來，具體描述根據(jù)該實施例的用于顯示面板的檢查設(shè)備的操作。首先，如圖7所示，當(dāng)垂直掃描數(shù)據(jù)模式電極30的一端時，接觸式探頭300將交流電源應(yīng)用于數(shù)據(jù)模式電極30的一端。
然后，當(dāng)垂直掃描應(yīng)用交流電源的數(shù)據(jù)模式電極30的另一端時，差動電容式傳感器模塊100通過非接觸式傳感器110測量數(shù)據(jù)模式電極30處的電壓，通過多個非接觸式差動傳感器120測量與數(shù)據(jù)模式電極30相鄰的其它數(shù)據(jù)模式電極30處的差動電壓。此處，由于將非接觸式差動傳感器120的第一傳感器電極121和第二傳感器電極 122彼此相鄰設(shè)置在同一數(shù)據(jù)模式電極30之上，通過第一傳感器電極121和第二傳感器電極122測量的所有電壓相抵銷，輸出大約為OV的差動電壓。然而，數(shù)據(jù)模式電極30和柵極模式電極40在區(qū)域A處發(fā)生交叉短路時，將非接觸式差動傳感器120的第二傳感器電極122放置成朝向在區(qū)域A進(jìn)行交叉短路的柵極模式電極40。因此，一旦交流電源通過區(qū)域A從數(shù)據(jù)模式電極30傳輸?shù)綎艠O模式電極40，通過第二傳感器電極122測量的電壓基于從柵極模式電極40輸入的信號，而不同于通過第一傳感器電極121測量的電壓，使得非接觸式差動傳感器120的差動電壓明顯變化。相應(yīng)地，當(dāng)控制接觸式探頭300和差動電容式傳感器模塊100掃描時，控制器200， 基于通過非接觸式傳感器110測量的數(shù)據(jù)模式電極30處的電壓和通過多個非接觸式差動傳感器120測量的其它數(shù)據(jù)模式電極30處的差動電壓，可確定柵極模式電極40和與接觸式探頭300相接觸的數(shù)據(jù)模式電極30的交叉短路。圖8為根據(jù)本發(fā)明另一優(yōu)選實施例的使用差動電容式傳感器模塊的用于顯示面板的檢查設(shè)備的示意圖。參照圖8，根據(jù)另一優(yōu)選實施例的使用差動電容式傳感器模塊的用于顯示面板的檢查設(shè)備，包括接觸式探頭300、差動電容式傳感器模塊100和控制器200。當(dāng)垂直掃描數(shù)據(jù)模式電極30的一端時，接觸式探頭300將交流電源應(yīng)用到顯示面板(未示出)的數(shù)據(jù)模式電極30。當(dāng)垂直掃描通過接觸式探頭300應(yīng)用交流電源的數(shù)據(jù)模式電極30的另一端時，差動電容式傳感器模塊100測量和輸出數(shù)據(jù)模式電極30的差動電壓。此處，差動電容式傳感器模塊100的長度可約為數(shù)據(jù)模式電極30長度的20%，以朝向數(shù)據(jù)模式電極30在縱向上通過測量獲得的電壓為預(yù)設(shè)電壓或預(yù)設(shè)電壓以下的區(qū)域。 因此，在單個非接觸式傳感器110難以檢測到由于交流電源的幅度減小而造成故障的區(qū)域內(nèi)，也能夠檢測到故障，而交流電源的幅度減小是由于在包括有源矩陣模式的薄膜晶體管液晶顯示器的顯示面板內(nèi)的數(shù)據(jù)模式電極30的線路電阻所造成的。當(dāng)控制接觸式探頭300和差動電容式傳感器模塊100掃描時，控制器200基于通過差動電容式傳感器模塊100測量的數(shù)據(jù)模式電極30處的差動電壓來確定柵極模式電極 40和與接觸式探頭300相接觸的數(shù)據(jù)模式電極30的交叉短路。接下來，具體描述根據(jù)該實施例的用于顯示面板的檢查設(shè)備的操作。首先，如圖8所示，當(dāng)垂直掃描數(shù)據(jù)模式電極30的一端時，接觸式探頭300將交流電源應(yīng)用于數(shù)據(jù)模式電極30的一端。然后，當(dāng)垂直掃描應(yīng)用交流電源的數(shù)據(jù)模式電極30的另一端時，差動電容式傳感器模塊100測量數(shù)據(jù)模式電極30的差動電壓。此處，由于將差動電容式傳感器模塊100的第一傳感器電極121和第二傳感器電極122彼此相鄰設(shè)置在同一數(shù)據(jù)模式電極30之上，通過第一傳感器電極121和第二傳感器電極122測量的所有電壓相抵銷，輸出大約為OV的差動電壓。
然而，數(shù)據(jù)模式電極30和柵極模式電極40在區(qū)域A處發(fā)生交叉短路時，將差動電容式傳感器模塊100的第二傳感器電極122放置成朝向在區(qū)域A進(jìn)行交叉短路的柵極模式電極40。因此，一旦交流電源通過區(qū)域‘A’從數(shù)據(jù)模式電極30傳輸?shù)綎艠O模式電極40，通過第二傳感器電極122測量的電壓基于從柵極模式電極40輸入的信號，而不同于通過第一傳感器電極121測量的電壓，使得非接觸式差動傳感器120的差動電壓明顯變化。相應(yīng)地，當(dāng)控制接觸式探頭300和差動電容式傳感器模塊100掃描時，控制器200 基于通過差動電容式傳感器模塊100測量的數(shù)據(jù)模式電極30處的差動電壓可確定柵極模式電極40和與接觸式探頭300相接觸的數(shù)據(jù)模式電極30的交叉短路。同樣，根據(jù)優(yōu)選實施例的檢查設(shè)備通過非接觸式傳感器測量的電壓和通過非接觸式差動傳感器測量的差動電壓來檢查顯示面板的交叉短路，同時將交流電源應(yīng)用到形成在顯示面板上的模式電極的一側(cè)，其中在模式電極的另一側(cè)，將該非接觸式傳感器設(shè)置成朝向模式電極，交流電源應(yīng)用到該模式電極的另一側(cè)，在模式電極的縱向上將非接觸式差動傳感器設(shè)置成平行于非接觸式傳感器，由此實現(xiàn)交叉短路的精確檢查。雖然在本發(fā)明中已經(jīng)描述一些實施例，本領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)理解的是，僅僅通過圖解給出這些實施例，并且在不背離本發(fā)明的精神和范圍的情況下，可進(jìn)行各種修改、變化和變更。應(yīng)僅僅通過附圖和其等同物來限制本發(fā)明的范圍。
權(quán)利要求
1.一種差動電容式傳感器模塊，其中，包括非接觸式傳感器，設(shè)置成朝向模式電極并輸出檢測電壓；以及非接觸式差動傳感器，設(shè)置成平行于所述非接觸式傳感器并輸出與所述模式電極相鄰的另一模式電極處的差動電壓。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的差動電容式傳感器模塊，其中，所述非接觸式差動傳感器設(shè)置在所述非接觸式傳感器的任一側(cè)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的差動電容式傳感器模塊，其中，所述非接觸式差動傳感器包括多個傳感器電極，設(shè)置成在所述另一模式電極的縱向上朝向所述另一模式電極；和比較器，差動地接收所述多個傳感器電極的檢測電壓并輸出差動電壓。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的差動電容式傳感器模塊，其中，所述多個傳感器電極包括排列成一行的第一傳感器電極、第二傳感器電極和第三傳感器電極，所述第一傳感器電極和所述第三傳感器電極連接所述比較器的一端，所述第二傳感器電極連接所述比較器的另一端。
5.一種差動電容式傳感器模塊，其中，包括多個傳感器電極，設(shè)置成在模式電極的縱向上朝向所述模式電極；以及比較器，差動地接收所述多個傳感器電極的檢測電壓并輸出差動電壓。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的差動電容式傳感器模塊，其中，所述多個傳感器電極包括排列成一行的第一傳感器電極、第二傳感器電極和第三傳感器電極，所述第一傳感器電極和所述第三傳感器電極連接所述比較器的一端，所述第二傳感器電極連接所述比較器的另一端。
7.一種使用差動電容式傳感器的用于顯示面板的檢查設(shè)備，其中，包括饋電探頭，當(dāng)垂直掃描模式電極的一端時，將交流電源應(yīng)用到顯示面板的所述模式電極；差動電容式傳感器模塊，當(dāng)垂直掃描通過所述饋電探頭應(yīng)用所述交流電源的所述模式電極的另一端時，測量所述模式電極處的電壓以及與所述模式電極相鄰的另一模式電極處的差動電壓；以及控制器，當(dāng)控制所述饋電探頭和所述差動電容式傳感器模塊掃描時，基于通過所述差動電容式傳感器模塊測量的所述電壓和所述差動電壓，確定與所述饋電探頭相接觸的所述模式電極的交叉短路。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的檢查設(shè)備，其中，所述差動電容式傳感器模塊包括非接觸式傳感器，設(shè)置成朝向所述模式電極并輸出檢測電壓；以及非接觸式差動傳感器，設(shè)置成平行于所述非接觸式傳感器并輸出與所述模式電極相鄰的所述另一模式電極處的所述差動電壓。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的檢查設(shè)備，其中，所述非接觸式差動傳感器設(shè)置在所述非接觸式傳感器的任一側(cè)。
10.根據(jù)權(quán)利要求8或9所述的檢查設(shè)備，其中，所述非接觸式差動傳感器包括多個傳感器電極，設(shè)置成在所述另一模式電極的縱向上朝向所述另一模式電極；和比較器，差動地接收所述多個傳感器電極的檢測電壓并輸出差動電壓。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的檢查設(shè)備，其中，所述多個傳感器電極包括排列成一行的第一傳感器電極、第二傳感器電極和第三傳感器電極，所述第一傳感器電極和所述第三傳感器電極連接所述比較器的一端，所述第二傳感器電極連接所述比較器的另一端。
12.一種使用差動電容式傳感器的用于顯示面板的檢查設(shè)備，其中，包括饋電探頭，當(dāng)垂直掃描模式電極的一端時，將交流電源應(yīng)用到顯示面板的所述模式電極；差動電容式傳感器模塊，當(dāng)垂直掃描通過所述饋電探頭應(yīng)用所述交流電源的所述模式電極的另一端時，測量所述模式電極處的差動電壓；以及控制器，當(dāng)控制所述饋電探頭和所述差動電容式傳感器模塊掃描時，基于通過所述差動電容式傳感器模塊測量的所述差動電壓，確定與所述饋電探頭相接觸的所述模式電極的交叉短路。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的檢查設(shè)備，其中，所述差動電容式傳感器模塊包括 多個傳感器電極，設(shè)置成在所述模式電極的縱向上朝向所述模式電極；以及比較器，差動地接收所述多個傳感器電極的檢測電壓并輸出差動電壓。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的檢查設(shè)備，其中，所述多個傳感器電極包括排列成一行的第一傳感器電極、第二傳感器電極和第三傳感器電極，所述第一傳感器電極和所述第三傳感器電極連接所述比較器的一端，所述第二傳感器電極連接所述比較器的另一端。
全文摘要
本發(fā)明提供一種差動電容式傳感器模塊及使用該模塊的用于顯示面板的檢查設(shè)備。當(dāng)交流電源應(yīng)用到形成在顯示面板上的模式電極的一側(cè)時，所述檢查設(shè)備通過非接觸式傳感器測量的電壓和通過非接觸式差動傳感器測量的差動電壓來檢查所述顯示面板的交叉短路，其中，所述非接觸式傳感器設(shè)置成朝向位于應(yīng)用所述交流電源的所述模式電極的另一側(cè)的所述模式電極，并且在所述模式電極的縱向上將所述非接觸式差動傳感器設(shè)置成平行于所述非接觸式傳感器。
文檔編號G01R31/02GK102445629SQ20111029736
公開日2012年5月9日 申請日期2011年10月8日 優(yōu)先權(quán)日2010年10月6日
發(fā)明者宋大雄, 李東俊, 殷琸, 金圣振 申請人:微探測株式會社