專利名稱：一種超聲掃描顯微鏡用夾具及其用于產(chǎn)品掃描的方法
技術領域：
本發(fā)明涉及失效分析領域，特別是涉及一種使用輔助夾具及使用該夾具進行超聲掃描顯微鏡產(chǎn)品掃描的方法。
背景技術：
即超聲掃描顯微鏡，是業(yè)內(nèi)很重要的一種無損檢測方法。超聲波有直線傳播，在不同物質(zhì)界面處產(chǎn)生反射以及穿透信號，與遇到空氣全反射的特性，可以對樣品進行無損害檢驗。超聲波在電子元器件封裝內(nèi)部傳遞時，遇到空洞，剝離，脫層等異常點或區(qū)域，會產(chǎn)生全反射現(xiàn)象，該反射訊號會與超聲波正常接收質(zhì)界面的反射訊號明顯不同。超聲掃描顯微鏡機臺正是利用這偵測原理，對半導體元器件的封裝質(zhì)量，進行測試與評估，是目前半導體及元器件封裝產(chǎn)業(yè)界必要的無損檢驗手法。該測試涉獵的范圍有元器件封裝質(zhì)量檢測， 元件封裝濕氣敏感度等級測試認證，其他Pre-condition測試樣品元器件前后封裝異常轉(zhuǎn)變檢測，異常元件篩選等。超聲波只能在水里傳播，通常進行產(chǎn)品掃描時將需要掃描的產(chǎn)品放入待測區(qū)，然后要加入去離子水，產(chǎn)品置于水中進行測量。但是有些樣品不能接觸水，因此需要一種新的方法來進行產(chǎn)品的超聲掃描顯微鏡的檢測。

發(fā)明內(nèi)容
為解決現(xiàn)有技術中產(chǎn)品進行超聲掃描顯微鏡掃描時需要將產(chǎn)品放入水中，而有些產(chǎn)品又不能接觸水的問題，本發(fā)明提供以下技術方案
一種超聲掃描顯微鏡用夾具，該夾具包括具有長方體結構的本體，所述本體的上部和底部分別開設有第一凹槽和第二凹槽，所述第一凹槽和所述第二凹槽之間為隔離層。作為本發(fā)明的一種優(yōu)選方案，所述本體的材質(zhì)為環(huán)氧樹脂。作為本發(fā)明的另一種優(yōu)選方案，所述隔離層的厚度小于2mm。超聲掃描顯微鏡用夾具用于產(chǎn)品掃描的方法，包括以下步驟
A、將需要掃描的產(chǎn)品粘貼于所述第二凹槽的底部，即粘貼于所述隔離層的下表面；
B、將夾具放置于超聲掃描顯微鏡的待測區(qū)，所述第二凹槽朝下，所述第一凹槽朝上；
C、向所述第一凹槽中加入去離子水，即可進行掃描檢測。本發(fā)明有如下優(yōu)點
1、本發(fā)明夾具結構簡單，制作方便，成本低；
2、本發(fā)明夾具使用步驟少，操作簡單，檢測效率高；
3、本發(fā)明方法通過使用夾具，有效解決了產(chǎn)品需要放入水中才能進行超聲掃描顯微鏡掃描的問題，實現(xiàn)產(chǎn)品不接觸水的超聲掃描顯微鏡掃描。


圖1本發(fā)明夾具結構示意圖。圖中標號為
1 一本體21—第一凹槽22—第二凹槽
3—隔尚層。
具體實施例方式下面對該工藝實施例作詳細闡述，以使本發(fā)明的優(yōu)點和特征能更易于被本領域技術人員理解，從而對本發(fā)明的保護范圍作出更為清楚明確的界定。如圖1本發(fā)明夾具結構示意圖所示，一種超聲掃描顯微鏡用夾具，該夾具包括具有長方體結構的本體1，本體ι的上部和底部分別開設有第一凹槽21和第二凹槽22，第一凹槽21和第二凹槽22之間為隔離層3。其中，本體1的材質(zhì)為環(huán)氧樹脂。隔離層3的厚度小于2mm，本實施例中的夾具厚度為1mm。超聲掃描顯微鏡用夾具用于產(chǎn)品掃描的方法，包括以下步驟
A、將需要掃描的產(chǎn)品粘貼于第二凹槽22的底部，即粘貼于隔離層3的下表面；
B、將夾具放置于超聲掃描顯微鏡的待測區(qū)，第二凹槽22朝下，第一凹槽21朝上；
C、向第一凹槽21中加入去離子水，即可進行掃描檢測。以上所述，僅為本發(fā)明的具體實施方式
之一，但本發(fā)明的保護范圍并不局限于此， 任何熟悉本領域的技術人員在本發(fā)明所揭露的技術范圍內(nèi)，可不經(jīng)過創(chuàng)造性勞動想到的變化或替換，都應涵蓋在本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。因此，本發(fā)明的保護范圍應該以權利要求書所限定的保護范圍為準。
權利要求
1.一種超聲掃描顯微鏡用夾具，其特征在于該夾具包括具有長方體結構的本體(1)， 所述本體(1)的上部和底部分別開設有第一凹槽(21)和第二凹槽(22)，所述第一凹槽(21) 和所述第二凹槽(22)之間為隔離層(3)。
2.根據(jù)權利要求1所述的一種超聲掃描顯微鏡用夾具，其特征在于所述本體(1)的材質(zhì)為環(huán)氧樹脂。
3.根據(jù)權利要求1所述的一種超聲掃描顯微鏡用夾具，其特征在于所述隔離層(3)的厚度小于2mm。
4.權利要求1所述夾具用于產(chǎn)品掃描的方法，其特征在于所述方法包括以下步驟A、將需要掃描的產(chǎn)品粘貼于所述第二凹槽(22)的底部，即粘貼于所述隔離層(3)的下表面；B、將夾具放置于超聲掃描顯微鏡的待測區(qū)，所述第二凹槽(22)朝下，所述第一凹槽 (21)朝上；C、向所述第一凹槽(21)中加入去離子水，即可進行掃描檢測。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種超聲掃描顯微鏡用夾具，包括具有長方體結構的本體，所述本體的上部和底部分別開設有第一凹槽和第二凹槽，所述第一凹槽和所述第二凹槽之間為隔離層。超聲掃描顯微鏡用夾具用于產(chǎn)品掃描的方法，包括以下步驟A、將需要掃描的產(chǎn)品粘貼于所述第二凹槽的底部，即粘貼于所述隔離層的下表面；B、將夾具放置于超聲掃描顯微鏡的待測區(qū)，所述第二凹槽朝下，所述第一凹槽朝上；C、向所述第一凹槽中加入去離子水，即可進行掃描檢測。本發(fā)明夾具結構簡單，制作方便，成本低；本發(fā)明夾具使用步驟少，操作簡單，檢測效率高；本發(fā)明方法通有效解決了產(chǎn)品需要放入水中進行超聲掃描顯微鏡掃描的問題，實現(xiàn)產(chǎn)品不接觸水的超聲掃描顯微鏡掃描。
文檔編號G01N29/06GK102364337SQ20111023054
公開日2012年2月29日 申請日期2011年8月11日 優(yōu)先權日2011年8月11日
發(fā)明者杜澤明 申請人:上海華碧檢測技術有限公司