專利名稱：檢測氣體的方法及用于該方法的氣體檢測器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明總體上涉及氣體檢測領(lǐng)域。具體地，本發(fā)明涉及一種通過在待檢測氣體中傳播的聲波來檢測氣體的方法和氣體檢測器。
背景技術(shù)：
氣體是寶貴的自然資源，從經(jīng)濟方面以及從泄露的氣體可能對于周圍環(huán)境中帶來的危險方面考慮，檢測氣體的泄露都是有益的。當(dāng)前的氣體檢測方法舉例來說可依賴于對例如電磁輻射的波長的吸收(不同的氣體具有不同的吸收頻譜)、依賴于化學(xué)·反應(yīng)、薄膜的導(dǎo)電性或電容的變化。這些方法的缺點是氣體吸收的動力(kinetic)相當(dāng)慢，從而限制這些吸收方法的應(yīng)用領(lǐng)域。更快速的方法是基于各種氣體的物理屬性。在色譜法中針對氣體感測使用導(dǎo)熱性，針對二氧化碳檢測使用頻譜的紅外區(qū)域中的光吸收。針對氫檢測，存在使用催化劑的方法。然而，與其它氣體接觸，催化劑可被污染，檢測器的響應(yīng)顯著降低。一些已知方法利用諧振腔中的諧振現(xiàn)象來檢測諧振腔中氣體的存在。當(dāng)反射壁與例如腔中反射波的振蕩器之間的距離d是半個波長的整數(shù)倍，即，d = —(I),其中，n=l、2、3…時，發(fā)生諧振。因為聲速在不同的氣體中不同，所以氣體中的振動的波長取決于氣體，波長由如下關(guān)系給出
V入二I(2),其中，V是聲速，并且f是振動頻率。在1926年的物理學(xué)會匯編中公布的E. Griffiths的文章“A gas analysisinstrument based on sound velocity measurements”中，描述了利用諧振的超聲波方法。該文章描述了石英晶體和與該石英晶體平行的反射壁，所述石英晶體與所述反射壁一起形成諧振腔。石英晶體可以以40kHz頻率在該腔體中產(chǎn)生機械縱向波。通過增大包括石英晶體的振蕩電路的陽極電流來檢測該腔體中的諧振。通過測量相鄰諧振之間的距離(即，半個波長)，確定不同氣體中的聲速以及氣體混合物中氣體的濃度。然而，以上提到的方法均不能用于測量低氣體濃度。

發(fā)明內(nèi)容
因此，目的在于提供一種用于檢測低濃度氣體的氣體檢測方法和氣體檢測器。本發(fā)明的總的思想在于利用傳播速度，因此在氣體中傳播的聲波的波長取決于氣體的屬性，即，對于不同氣體來說，具有頻率f的波將具有不同的傳播速度，并因而具有不同的波長。因此，根據(jù)本發(fā)明的第一方面，提供一種在氣體檢測器中檢測氣體的方法，所述氣體檢測器具有反射壁以及與所述反射壁相隔距離d的波產(chǎn)生和感測單元，其中，該方法包括以下連續(xù)過程通過所述波產(chǎn)生和感測單元產(chǎn)生聲波，透過所述氣體向所述反射壁發(fā)射所述聲波，其中所述聲波被從所述反射壁向所述波產(chǎn)生和感測單元反射，由此產(chǎn)生沿相反方向傳播的所述聲波之間相消干涉，所述相長和相消干涉取決于所述聲波的波長，所述聲波的波長取決于所述氣體，通過所述波產(chǎn)生和感測單元檢測所述聲波，其中所述波產(chǎn)生和感測單元的動態(tài)電阻由于所述聲波的波長的變化而改變，以及通過確定所述波產(chǎn)生和感測單元的輸出信號的幅度的變化來指示所述氣體的存 在，其中所述輸出信號的幅度的變化與所述動態(tài)電阻的變化有關(guān)。由于所述波產(chǎn)生和感測單元的所述動態(tài)電阻通常取決于諧振并因此取決于在所述波產(chǎn)生和感測單元與所述反射壁之間傳播的波的波長，因此所述輸出信號響應(yīng)于檢測波而改變。因此，隨著動態(tài)電阻改變，所述波產(chǎn)生和感測單元的輸出改變。到此為止，通過本發(fā)明，可在主要包括第二類型氣體(參考?xì)怏w)的環(huán)境中檢測低濃度氣體。所述產(chǎn)生可以包括產(chǎn)生具有在O. 5MHz到500MHz的范圍內(nèi)，優(yōu)選地在O. 5MHz到50MHz的范圍內(nèi)恒定頻率的聲波。通過發(fā)射具有這種短波長的波，氣體檢測的靈敏度提高，這是因為所述(短)波長的任何改變都指示氣體的存在。一個實施方式還可包括在固定位置設(shè)置所述距離d，使得所述輸出信號的幅度小于在所述反射壁與所述波產(chǎn)生和感測單元之間發(fā)生諧振時的輸出信號的幅度。當(dāng)距離d被設(shè)置為使得所述輸出信號的幅度接近諧振峰(即，在諧振峰的斜坡上)時，所述波產(chǎn)生和感測單元的所述輸出信號對于檢測到的波長的任何變化都變得非常靈敏。因此，通過設(shè)置距離d以使得所述輸出信號的幅度在諧振峰的斜坡上，由于氣體取決于透過的波的波長的變化，所以即使在傳感器與反射壁之間非常小濃度的氣體，也將提供輸出信號的增大。因此，氣體檢測器變得非常靈敏，并能夠檢測低濃度的氣體。在參考?xì)怏w中傳播的聲波可發(fā)生諧振。例如，針對在參考?xì)怏w(例如，空氣)中的波的諧振，可以確定所述反射壁與所述波產(chǎn)生和感測單元之間的距離，其中所述距離d被設(shè)置為使得所述波產(chǎn)生和感測單元的輸出信號略小，優(yōu)選地大約為當(dāng)發(fā)生空氣的諧振時的諧振峰的幅度的一半。在諸如氦氣的氣體中，與在空氣中傳播時相比，波具有較長的波長，因此波長在氦氣中比在空氣中長，這樣，當(dāng)存在氦氣時，輸出信號增大，從而指示氦氣的存在。一個實施方式可包括針對氣體檢測器中的溫度變化進行補償。機械縱波的波長取決于溫度，因此對溫度變化的補償可提供更準(zhǔn)確的氣體檢測器。因此，在一個實施方式中，所述補償可以包括沿與所述反射壁的反射表面垂直的X軸移動所述反射表面，由此調(diào)整所述反射壁與所述波產(chǎn)生和感測單元之間的距離d。有益地，所述移動可包括利用被用于構(gòu)造氣體檢測器的材料的熱膨脹屬性來自動地移動所述反射壁。根據(jù)本發(fā)明的第二方面，提供了一種用于檢測氣體的氣體檢測器，該氣體檢測器包括波產(chǎn)生和感測單元；以及與所述波產(chǎn)生和感測單元相對的反射壁，其中所述波產(chǎn)生和感測單元設(shè)置為產(chǎn)生在所述波產(chǎn)生和感測單元與所述反射壁之間傳播的聲波，并檢測被所述反射壁反射的聲波，其中所述反射壁與所述波產(chǎn)生和感測單元被固定地設(shè)置在所述氣體檢測器中。距離d可在大致λ/2到大約50 * λ的范圍內(nèi)，其中λ表示聲波的波長。關(guān)于設(shè)置距離d以使得輸出信號的幅度略小于當(dāng)在反射壁與通過波產(chǎn)生和感測單元的諧振表面限定的相對壁之間發(fā)生諧振時輸出信號的幅度，術(shù)語大約這里被定義為所述距離d可以略小于或大于在諧振方面以上已經(jīng)詳細(xì)闡述的波長的整數(shù)倍。本發(fā)明的進一步特征和優(yōu)點從下面描述將是明顯的。


現(xiàn)在將參照附圖通過實施方式的非限制示例描述本發(fā)明及其進一步優(yōu)點。圖I示出根據(jù)本發(fā)明的氣體檢測器的實施方式的腔體的示意圖。圖2示出當(dāng)圖I的氣體檢測器中存在的氣體是空氣時的諧振的示例。圖3示出當(dāng)圖I的氣體檢測器中存在氦氣時的諧振的另一示例。圖4示出當(dāng)圖I的腔體中存在兩種氣體的混合物時該腔體中的諧振峰的偏移。圖5示出在圖I的氣體檢測器中檢測氣體的方法的流程圖。圖6示出利用圖I中的氣體檢測器的一些實驗結(jié)果。
具體實施例方式在下面的描述中，為了說明的目的而不是為了限制的目的，闡述了特定細(xì)節(jié)(例如，特定技術(shù)和應(yīng)用)，以提供本發(fā)明的透徹理解。然而，對于本領(lǐng)域的技術(shù)人員清楚的是，本發(fā)明可在脫離這些特定細(xì)節(jié)的其它實施方式中被實現(xiàn)。在其它實例中，省略了公知方法和設(shè)備的詳細(xì)描述，以避免因不必要的細(xì)節(jié)而使本發(fā)明的描述不清楚。參照圖I至圖6，將更詳細(xì)地描述根據(jù)本發(fā)明的氣體檢測器I的示例。氣體檢測器I包括波產(chǎn)生和感測單元2以及反射壁3，反射壁3位于與波產(chǎn)生和感測單元2相對的距離d處并且與波產(chǎn)生和感測單元平行。波產(chǎn)生和感測單元2是包括用于連續(xù)產(chǎn)生聲波的電子振蕩器和壓電諧振器的組件。波產(chǎn)生和感測單元2可電連接到如電池的電源(未示出)，以在氣體檢測器I的操作期間向氣體檢測器I供電。在本示例性實施方式中，波產(chǎn)生和感測單元2包括連接到電子振蕩器的壓電諧振器。壓電諧振器可包括例如石英晶體或其它可在周圍氣體中產(chǎn)生聲波的壓電諧振器。壓電諧振器的諧振器表面7與反射壁3形成諧振腔6。通過將電子振蕩器接合到壓電諧振器，諧振器表面7開始振蕩，從而產(chǎn)生聲波，并向反射壁3發(fā)射該聲波。由波產(chǎn)生和感測單元2產(chǎn)生并發(fā)射的波Wt可透過氣體G在諧振腔6中傳播，盡管氣體G通常與參考?xì)怏w&混合，但是在圖I中將氣體G示意性地示出為云。參考?xì)怏wGr被理解為圍繞氣體檢測器I的主導(dǎo)氣體，并且通常不是待檢測的氣體。參考?xì)怏w4通?？梢允强諝狻Ｂ暡ㄍǔＴ谂c反射壁3的反射表面8的垂直的X軸平行的方向上傳播。聲波I被反射壁3反射向波產(chǎn)生和感測單元2，以由波產(chǎn)生和感測單元2對該聲波I進行檢測。由于波產(chǎn)生和感測單元2吸收了振動能量，而且因為來自振蕩器的電流是恒定的，所以檢測到的聲波I增大了波產(chǎn)生和感測單元2的動態(tài)電阻，由此使輸出電壓(即，振蕩器的輸出信號)增大。因此作為確定輸出信號的變化的結(jié)果，檢測到參考?xì)怏w4中的氣體G的存在。圖2示出了波產(chǎn)生和感測單元2的輸出信號的響應(yīng)的示例。在圖2的曲線圖中，已經(jīng)沿著X軸連續(xù)移動了反射壁3，由此該曲線圖例示了當(dāng)聲波在空氣中傳播的情況下波產(chǎn)生和感測單元2的諧振器表面7與反射壁3之間的不同距離d的輸出信號。計算了諧振腔中的20°C情況下的6MHz頻率的波的數(shù)值，其中η是干涉級。圖3示出了波產(chǎn)生和感測單元2的輸出信號的響應(yīng)的示例。在圖3的曲線中，已經(jīng)沿著X軸連續(xù)移動了反射壁3，由此該曲線圖例示了當(dāng)聲波在氦氣中傳播的情況下波產(chǎn)生和感測單元2的諧振器表面7與反射壁3之間的不同距離d的輸出信號。計算了諧振腔中20°C的氦氣環(huán)境中6MHz頻率的波的數(shù)字值，n=l。圖4示出了諧振峰(B卩，在諧振腔6中諧振的情況下波產(chǎn)生和感測單元2的輸出信號的幅度)的偏移。在本示例中，在以空氣為例并被包含在諧振腔6中的參考?xì)怏w4中，存 在小濃度的氦氣。因此，以氦氣為例說明氣體G。實線標(biāo)出的曲線Wl示出了在空氣中傳播的聲波的諧振峰，虛線標(biāo)出的曲線W2示出透過包含少量氣體G (氦氣)的空氣傳播的聲波的輕微偏移的諧振峰。從下面的表I可以看出，氦氣中的波傳播速度高于空氣中的波傳播速度。因此，如表I所示并且從上面的等式(2)可以看出，波長較長。因此，曲線W2向較長波長偏移。針對諧振峰的每個數(shù)字η,與曲線Wl相比，曲線W2的平移變得越來越大。可以看出，針對曲線W2，波產(chǎn)生和感測單元的輸出信號01增大至02。此外，由于偏移，氣體檢測的靈敏度隨著每個諧振峰而提高，因此輸出信號01與02之間的差異隨著每個諧振峰而變得更大。下面的表給出在一些氣體中在6MHz和20°C的情況下的聲波傳播速度、波長和半波長的不例。
氣體聲速波長(urn)半波長(um)
空氣342.957.1528.57
CO2268.344.7222.36O2327.454.5727.28 N2 345.6 57.60 28.80 He 999.7 166.62 83.31 H2 1336.4 222.73 111.36表I為了補償波在氣體中傳播時其波長的溫度相關(guān)性，可使用具有不同的熱膨脹屬性的材料來構(gòu)造氣體檢測器1，使用的材料的尺寸被選擇以在經(jīng)受溫度變化時提供距離d的熱補償效應(yīng)。通過下面的公式給出波在氣體中的傳播速度的溫度相關(guān)性 V =V0 "(I + a At)其中a= (1/273. 15) °C 4=0.003661: Λ vQ是在(TC的傳播速度，并且Λ t是溫差(即，減去O的當(dāng)前溫度)。針對發(fā)射的波Wt的恒定頻率，該效應(yīng)被轉(zhuǎn)換為半個波長— = (—)0 -^(l + cxAi)通過利用熱補償效應(yīng)，反射壁3的反射表面8可沿與圖I中示出的X軸平行的方向自動移動，以隨著溫度的變化跟隨波長隨著的增加。由此，可自動地調(diào)整距離d，以實現(xiàn)最佳腔體長度，使得能夠針對不同溫度對非常低氣體濃度進行測量。通過選擇合適的材料和幾何尺寸以利用不同材料的熱膨脹屬性，這是可能的。這種材料例如可以是鋼、鋁、銅、黃銅、玻璃、陶瓷或無定形石英(amorphous quartz )。在使用氣體檢測器I之前，可通過將反射壁3連接至測微器(未示出)來設(shè)置反射壁3與波產(chǎn)生和感測單元2之間的距離d。通過旋轉(zhuǎn)測微器，可以調(diào)整所述距離d。選擇反射壁3關(guān)于波產(chǎn)生和感測單元2的位置，該位置對應(yīng)于諧振峰的幅度的二分之一，即，對應(yīng)于諧振時波產(chǎn)生和感測單元2的輸出信號的幅度。另選地，可通過連續(xù)地掃描施加到壓電致動器的電壓，通過該壓電致動器來設(shè)置距離d，由此改變反射壁3的位置。距離d被優(yōu)選地設(shè)置在大約λ/2至大約50 * λ的范圍內(nèi)。換而言之，所述距離d被優(yōu)選地設(shè)置為大約在從第一諧振峰至第100諧振峰的范圍內(nèi)。輸出信號的幅度被定義為與諧振峰的頂部相對應(yīng)的電壓的最大值和與諧振峰的底部相對應(yīng)的電壓之差。諧振峰的幅度可以取決于氣體G的種類，但還取決于諧振的數(shù)量 n=l,2,3…。例如，n=l時,諧振峰具有最大幅度，n=20時,諧振峰非常小。優(yōu)選地與最佳溫度補償相對應(yīng)地選擇諧振的數(shù)量。這主要取決于用于構(gòu)造氣體檢測器I的材料的熱膨脹系數(shù)。下面給出如何設(shè)置距離d的示例。首先，使反射壁3與波產(chǎn)生和感測單元2接觸，并記錄高于諧振峰的輸出電壓。然后，旋轉(zhuǎn)測微器，使得反射壁3沿X軸從波產(chǎn)生和感測單元2移開。在移動期間，揭示了諧振峰。在約特定峰的高度或幅度的二分之一處(通常在其下降斜坡上)停止測微器。參照圖5，示出了在氣體檢測器I中檢測氣體的方法的流程圖。在步驟S0，將距離d設(shè)置在固定位置處，使得輸出信號的幅度小于反射壁與氣體產(chǎn)生和感測單元之間發(fā)生諧振時的輸出信號的幅度。在步驟SI，使用波產(chǎn)生和感測單元2產(chǎn)生聲波。在步驟S2，在因振蕩諧振表面7導(dǎo)致的氣體G和4中的壓力傳播改變時，透過氣體向反射壁3發(fā)射聲波Wt，其中聲波I從反射壁3向波產(chǎn)生和感測單元2反射，由此通過沿相反方向傳播的聲波Wt、之間的相長干涉和相消干涉來產(chǎn)生駐波。在步驟S3，波產(chǎn)生和感測單元2檢測聲波I，其中波產(chǎn)生和感測單元2的動態(tài)電阻由于聲波Wt、Wr的波長的變化而改變。在步驟S4，通過確定波產(chǎn)生和感測單元2的輸出信號的幅度的變化，指示氣體G的存在。至少在確定波產(chǎn)生單元4的輸出信號的任何變化期間，優(yōu)選地固定地設(shè)置波產(chǎn)生和感測單元2和反射壁3。作為示例，可利用電壓表來確定輸出信號的幅度的變化。在額外的步驟S5 (可在任何必要時間執(zhí)行)，補償任何溫度變化。補償?shù)牟襟ES5可包括沿與反射壁3的反射表面8垂直的X軸移動反射表面8，由此調(diào)整反射壁3與波產(chǎn)生和感測單元2之間的距離d。該移動可包括通過用于構(gòu)造氣體檢測器I的材料的熱膨脹屬性來自動地移動反射壁3。圖6示出了當(dāng)利用氣體檢測器I的上述實施方式在空氣環(huán)境中檢測氦氣時的測量結(jié)果。波產(chǎn)生和感測單元2的輸出信號的增大與空氣中氦氣濃度在量上快速增加到1200ppm的情況相對應(yīng)。通常，氣體檢測器I的檢測極限大約為空氣中40ppm的氦氣量。
本文提出的方法和氣體檢測器I的應(yīng)用可包括但不限于內(nèi)部環(huán)境、外部環(huán)境的氣體檢測，包括但不限于固定氣體檢測器和便攜式氣體檢測器。顯而易見，本發(fā)明可以按照多個方式改變。這種改變不視為脫離所附權(quán) 利要求限定的本發(fā)明的范圍。對于本領(lǐng)域技術(shù)人員很明顯，旨在將所有這些改變包括在由所附權(quán)利要求書限定的本發(fā)明的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種在氣體檢測器(I)中檢測氣體(G)的方法，所述氣體檢測器(I)具有反射壁(3)以及與所述反射壁(3)相隔距離d的波產(chǎn)生和感測單元(2)，其中該方法包括以下連續(xù)處理 通過所述波產(chǎn)生和感測單元(2)產(chǎn)生(SI)聲波， 透過所述氣體(G)向所述反射壁(3)發(fā)射(S2)聲波(Wt)，其中聲波(WJ從所述反射壁(3)向所述波產(chǎn)生和感測單元(2)反射，由此產(chǎn)生沿相反方向傳播的聲波(Wt，Wr)之間的相長和相消干涉，所述相長和相消干涉取決于聲波(Wt，Wr)的波長，所述波長取決于所述氣體(G), 通過所述波產(chǎn)生和感測單元(2)檢測(S3)聲波(I)，其中所述波產(chǎn)生和感測單元(2)的動態(tài)電阻由于聲波(Wt，Wr)的波長的變化而改變，以及 通過確定所述波產(chǎn)生和感測單元(2)的輸出信號的幅度的變化，指示(S4)所述氣體(G)的存在，其中所述輸出信號的幅度的變化與所述動態(tài)電阻的變化相關(guān)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的方法，其中所述產(chǎn)生(SO)包括產(chǎn)生具有恒定頻率的聲波。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其中所述恒定頻率在O.5MHz到500MHz的范圍內(nèi)。
4.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項所述的方法，該方法還包括將所述距離d設(shè)置(SO)在固定位置處，使得所述輸出信號的幅度小于所述輸出信號在所述反射壁(3)與所述波產(chǎn)生和感測單元(2)之間發(fā)生諧振時的幅度。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法,其中在參考?xì)怏w(G1J中傳播的聲波發(fā)生諧振。
6.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的方法，其中設(shè)置所述距離d包括通過測微器或壓電致動器沿軸(X)調(diào)整所述反射壁的位置。
7.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項所述的方法，該方法還包括補償(S6)所述氣體檢測器Cl)中的溫度變化。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其中所述補償(S6)包括沿與所述反射壁(3)的反射表面(8)垂直的軸(X)移動所述反射表面(8)，由此調(diào)整所述反射壁(3)與所述波氣體產(chǎn)生和感測單元(2)之間的所述距離d。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其中，所述移動包括利用被用于構(gòu)造所述氣體檢測器(O的材料的熱膨脹屬性來自動地移動所述反射壁(3)。
10.一種氣體檢測器(1)，該氣體檢測器(I)被設(shè)置為檢測氣體(G)，該氣體檢測器(I)包括 波產(chǎn)生和感測單元(2)，以及 反射壁(3)，其與所述波產(chǎn)生和感測單元(2)相對，其中所述波產(chǎn)生和感測單元(2)被設(shè)置為產(chǎn)生在所述波產(chǎn)生和感測單元(2)與所述反射壁(3)之間傳播的聲波并檢測所述反射壁(3)反射的聲波， 其中所述反射壁(3)與所述波產(chǎn)生和感測單元(2)固定地設(shè)置在所述氣體檢測器(I)中。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的氣體檢測器(1)，其中所述波產(chǎn)生和感測單元(2)被設(shè)置為產(chǎn)生具有恒定頻率的聲波。
12.根據(jù)權(quán)利要求10或11所述的氣體檢測器(1)，其中所述波產(chǎn)生和感測單元(2)被設(shè)置為產(chǎn)生具有O. 5MHz到500MHz的范圍內(nèi)的頻率的聲波。
13.根據(jù)權(quán)利要求10至12中任一項所述的氣體檢測器(1)，其中所述反射壁(3)被設(shè)置為與所述波產(chǎn)生和感測單元(2)相距距離d，使得所述波產(chǎn)生和感測單元(2)產(chǎn)生的聲波的輸出信號的幅度小于當(dāng)在所述反射壁(3)與所述波產(chǎn)生和感測單元(2)之間發(fā)生諧振時由所述波產(chǎn)生和感測單元(2)產(chǎn)生的聲波的輸出信號的幅度。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的氣體檢測器(I)，其中所述距離d基于在參考?xì)怏w(GJ中傳播的聲波的諧振。
15.根據(jù)權(quán)利要求10至14中任一項所述的氣體檢測器(1)，其中所述反射壁(3)與所述波產(chǎn)生和感測單元(2)形成諧振腔(6)。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的氣體檢測器(1)，其中所述氣體檢測器(I)包括熱膨脹材料，所述熱膨脹材料的尺寸使得能夠在所述氣體檢測器(I)中獲得熱補償。
17.根據(jù)權(quán)利要求10至16中任一項所述的氣體檢測器(I)，其中所述波產(chǎn)生和感測單元(2)包括壓電諧振器。
18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的氣體檢測器(1)，其中所述壓電諧振器包括石英或其它任何壓電材料。
19.根據(jù)權(quán)利要求10至18中任一項所述的氣體檢測器(1)，其中所述距離d在大約λ/2到大約50* λ的范圍內(nèi)，其中λ表示聲波(Wt，Wj皮長。
全文摘要
提出了一種檢測氣體(G)的方法。聲波(Wt)經(jīng)由波產(chǎn)生和感測單元(2)產(chǎn)生向反射壁(3)發(fā)射(S2)，之后波產(chǎn)生和感測單元(2)檢測到反射的聲波(Wt)，其中通過確定所述波產(chǎn)生和感測單元(2)的輸出信號的變化來檢測氣體(G)的存在。還提出了一種氣體檢測器(1)。
文檔編號G01N29/024GK102844657SQ201080066187
公開日2012年12月26日 申請日期2010年4月15日 優(yōu)先權(quán)日2010年4月15日
發(fā)明者V·梅賽 申請人:G&M諾登公司