專利名稱：一種壓力傳感器溫度補(bǔ)償系數(shù)的設(shè)置方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一道壓力傳感器制造過程中的工序，尤其涉及一種壓力傳感器溫度補(bǔ) 償系數(shù)的計(jì)算和設(shè)置方法。
背景技術(shù)：
壓力傳感器是現(xiàn)代信息產(chǎn)業(yè)中一個(gè)十分重要的器件與儀表，它將工業(yè)過程被測(cè)流 體的壓強(qiáng)線性地轉(zhuǎn)化為具有標(biāo)準(zhǔn)輸出的電信號(hào)如0. 5-4. 5V比率輸出，0-5V或1-5V輸出， 4-20mA輸出等。而實(shí)際上傳感器的輸出信號(hào)除了感測(cè)壓強(qiáng)這一參數(shù)外，還存在著許多受外部環(huán)境 影響的因素和由此導(dǎo)致的誤差，其中最常見和最顯著的就是表現(xiàn)為隨著外部溫度改變而產(chǎn) 生的溫度誤差，簡(jiǎn)稱溫漂，主要體現(xiàn)于兩個(gè)方面，即體現(xiàn)于影響零點(diǎn)的零點(diǎn)溫漂和影響靈敏 度的滿度溫漂。這類溫漂盡管隨毫伏級(jí)敏感元件所采用的技術(shù)和工藝而有所不同，但一般 都需經(jīng)過一定的溫度補(bǔ)償措施降低其溫度誤差后方能使用，傳統(tǒng)的辦法是使用串并聯(lián)電阻 網(wǎng)絡(luò)的辦法補(bǔ)償。盡管毫伏級(jí)敏感元件所采用的技術(shù)繁多，但基于電阻應(yīng)變效應(yīng)和半導(dǎo)體壓阻效應(yīng) 原理組成的惠斯登電橋結(jié)構(gòu)輸出差分毫伏信號(hào)的技術(shù)仍然是最主要的技術(shù)。因此將差分的 弱小的毫伏級(jí)信號(hào)調(diào)理為需要的標(biāo)準(zhǔn)電信號(hào)，特別是對(duì)溫度誤差即體現(xiàn)為零點(diǎn)溫漂和滿度 溫漂的補(bǔ)償和修正，一直是決定傳感器性能和水平的最關(guān)鍵技術(shù)和工藝之一，傳統(tǒng)上都是 采用純模擬技術(shù)來處理。隨著現(xiàn)代集成電路技術(shù)及微計(jì)算機(jī)技術(shù)的飛速發(fā)展，數(shù)字式技術(shù)逐漸滲透到原有 的純模擬技術(shù)并與之相結(jié)合，特別是出現(xiàn)了智能化信號(hào)調(diào)理芯片，它將信號(hào)放大調(diào)理及溫 度誤差修正等核心功能集成于一體，實(shí)現(xiàn)了從傳統(tǒng)的純手工模擬補(bǔ)償方式向基于計(jì)算機(jī)的 智能化誤差修正及大規(guī)模一站式集成智能自動(dòng)化生產(chǎn)方式的革命性轉(zhuǎn)變和突破。Maxim公 司推出的MAX1452系列芯片是其中的顯著代表性產(chǎn)品。MAX1452是一種高度集成的智能化傳感器信號(hào)處理器，具有信號(hào)放大，自動(dòng)化校 準(zhǔn)，以及獨(dú)特優(yōu)異的溫度誤差修正功能。毫伏級(jí)敏感元件的零點(diǎn)及滿度溫度誤差，在物理層面可以表達(dá)為一階溫度誤差、 二階溫度誤差及其它高階溫度誤差之和，對(duì)應(yīng)地，MAX1452芯片對(duì)于這些溫度誤差的修正提 供了強(qiáng)大而靈活的應(yīng)用方式。對(duì)于高精度壓力傳感器，其溫度誤差必須優(yōu)于0. 5%的應(yīng)用場(chǎng)合，芯片具有的多點(diǎn) 查表補(bǔ)償邏輯和方式可以實(shí)現(xiàn)對(duì)二階以上的溫度誤差補(bǔ)償。對(duì)于二階溫度誤差補(bǔ)償?shù)挠?jì)算 需要測(cè)定至少三個(gè)溫度點(diǎn)下的數(shù)據(jù)，對(duì)于N階溫度誤差需要測(cè)定N+1個(gè)溫度點(diǎn)下的數(shù)據(jù)。顯 然測(cè)定的溫度點(diǎn)越多，所耗費(fèi)的時(shí)間也越長(zhǎng)。對(duì)于絕大部分工業(yè)應(yīng)用場(chǎng)合，其溫度誤差在-20到85C范圍內(nèi)應(yīng)保證在1%以內(nèi)， 這正是芯片一階溫度誤差補(bǔ)償所對(duì)應(yīng)提供的能力。芯片通過兩個(gè)16位的溫度補(bǔ)償系數(shù)，零 點(diǎn)溫漂補(bǔ)償系數(shù)、和滿度溫漂補(bǔ)償系數(shù)，從傳感器供橋電壓Vb，該電壓隨溫度變化而變化，引入反饋到輸出端，從而實(shí)現(xiàn)了一階溫度誤差補(bǔ)償。很顯然，在生產(chǎn)標(biāo)定過程中如何快速簡(jiǎn)捷準(zhǔn)確地確定零點(diǎn)溫漂補(bǔ)償系數(shù)和滿度溫 漂補(bǔ)償系數(shù)，關(guān)系到傳感器實(shí)際生產(chǎn)的效率與成本，以及生產(chǎn)系統(tǒng)的構(gòu)建。MAX1452的應(yīng)用筆記給出了一種確定兩個(gè)溫度補(bǔ)償系數(shù)的方案，然而該方案在邏 輯上十分復(fù)雜和難于理解，在實(shí)施步驟上十分繁瑣，耗時(shí)過長(zhǎng)，特別是涉及在不同補(bǔ)償溫度 點(diǎn)下的反復(fù)校準(zhǔn)操作，并需進(jìn)行多個(gè)內(nèi)部參數(shù)的測(cè)量切換，使得該方案在生產(chǎn)上不具有切 實(shí)的指導(dǎo)意義，或者說用該方案來指導(dǎo)生產(chǎn)效率低下，過程繁瑣。

發(fā)明內(nèi)容
為了解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述問題，本發(fā)明提出一種壓力傳感器溫度補(bǔ)償系數(shù) 的設(shè)置方法。本發(fā)明從MAX1452參考手冊(cè)提供的總傳遞函數(shù)著手，邏輯上嚴(yán)密地推導(dǎo)出用以分 別反映零點(diǎn)溫漂補(bǔ)償系數(shù)與零點(diǎn)、滿度溫漂補(bǔ)償系數(shù)與滿度之間關(guān)系的兩個(gè)簡(jiǎn)潔的函數(shù)表 達(dá)式，然后本發(fā)明用這兩個(gè)簡(jiǎn)潔的函數(shù)表達(dá)式來設(shè)計(jì)操作流程，據(jù)此本發(fā)明只需簡(jiǎn)單地測(cè) 定兩個(gè)溫度點(diǎn)下的零點(diǎn)及滿壓輸出的數(shù)據(jù)，即可計(jì)算出所需的零點(diǎn)和滿度溫漂補(bǔ)償系數(shù)， 本發(fā)明在實(shí)際生產(chǎn)過程中非常易于實(shí)現(xiàn)，顯著地簡(jiǎn)化了操作，優(yōu)化了流程，提高了生產(chǎn)效 率。本發(fā)明的方法是采用如下步驟實(shí)現(xiàn)的實(shí)施壓力傳感器溫度補(bǔ)償系數(shù)的設(shè)置方法，所述壓力傳感器包括智能傳感模塊，所述 智能傳感模塊包括毫伏級(jí)敏感元件模塊、智能信號(hào)調(diào)理模塊及其內(nèi)含的參數(shù)存儲(chǔ)器；所述 毫伏級(jí)敏感元件模塊的輸出連接智能信號(hào)調(diào)理模塊，所述智能信號(hào)調(diào)理模塊內(nèi)部設(shè)置參數(shù) 存儲(chǔ)器；所述方法基于壓力施加單元、溫度施加單元、測(cè)量計(jì)算及寫操作單元，測(cè)量計(jì)算及 寫操作單元連接智能信號(hào)調(diào)理模塊；所述方法包括步驟A.首先將智能傳感模塊置于由溫度施加單元所建立的第一溫度環(huán)境Tl中，此時(shí)壓力 施加單元對(duì)毫伏級(jí)敏感元件模塊施加的壓力為零；B.此時(shí)向智能信號(hào)調(diào)理模塊中寫入一個(gè)預(yù)置滿度溫補(bǔ)系數(shù)β”然后在智能信號(hào)調(diào)理 模塊輸出Vout處測(cè)得零壓輸出值ZJ β》，將此步驟數(shù)據(jù)在測(cè)量計(jì)算及寫操作單元中暫存；C.接下來，壓力施加單元對(duì)毫伏級(jí)敏感元件模塊施加的壓力為滿壓，在智能信號(hào)調(diào)理 模塊中的預(yù)置滿度溫補(bǔ)系數(shù)保持為β工，然后在智能信號(hào)調(diào)理模塊輸出Vout處測(cè)得滿壓輸 出值FSO1 ( β》，將此步驟數(shù)據(jù)在測(cè)量計(jì)算及寫操作單元中暫存；D.接下來，壓力施加單元對(duì)毫伏級(jí)敏感元件模塊施加的壓力保持滿壓，在智能信號(hào)調(diào) 理模塊中的預(yù)置溫補(bǔ)系數(shù)改為β 2，然后在智能信號(hào)調(diào)理模塊輸出Vout處測(cè)得滿壓輸出值 FSO1 ( β 2)，將此步驟數(shù)據(jù)在測(cè)量計(jì)算及寫操作單元中暫存；Ε.接下來，壓力施加單元對(duì)毫伏級(jí)敏感元件模塊施加的壓力降為零壓，此時(shí)向智能信 號(hào)調(diào)理模塊中寫入的預(yù)置滿度溫補(bǔ)系數(shù)仍為β 2，然后在智能信號(hào)調(diào)理模塊輸出Vout處測(cè) 得零壓輸出值4 ( β 2)，將此步驟數(shù)據(jù)在測(cè)量計(jì)算及寫操作單元中暫存；F.接下來，溫度施加單元將智能傳感模塊的環(huán)境溫度改為第二溫度環(huán)境Τ2并穩(wěn)定，此 時(shí)壓力施加單元對(duì)毫伏級(jí)敏感元件模塊施加的壓力降為零壓；G.接下來，此時(shí)向智能信號(hào)調(diào)理模塊中寫入的預(yù)置滿度溫補(bǔ)系數(shù)為β”然后在智能信號(hào)調(diào)理模塊輸出Vout處測(cè)得零壓輸出值\ ( β》，將此步驟數(shù)據(jù)在測(cè)量計(jì)算及寫操作單元 中暫存；H.接下來，壓力施加單元對(duì)毫伏級(jí)敏感元件模塊施加的壓力為滿壓，在智能信號(hào)調(diào)理 模塊中的預(yù)置溫補(bǔ)系數(shù)保持為β工，然后在智能信號(hào)調(diào)理模塊輸出Vout處測(cè)得滿壓輸出值 FSO2 ( β》，將此步驟數(shù)據(jù)在測(cè)量計(jì)算及寫操作單元中暫存；I.接下來，壓力施加單元對(duì)毫伏級(jí)敏感元件模塊施加的壓力仍為滿壓，在智能信號(hào)調(diào) 理模塊中的預(yù)置溫補(bǔ)系數(shù)改為β 2，然后在智能信號(hào)調(diào)理模塊輸出Vout處測(cè)得滿壓輸出值 FSO2 ( β 2)，將此步驟數(shù)據(jù)在測(cè)量計(jì)算及寫操作單元中暫存；J.接下來，壓力施加單元對(duì)毫伏級(jí)敏感元件模塊施加的壓力降為零，此時(shí)向智能信號(hào) 調(diào)理模塊中寫入的預(yù)置滿度溫補(bǔ)系數(shù)保持為β 2，然后在智能信號(hào)調(diào)理模塊輸出Vout處測(cè) 得零點(diǎn)輸出值( β 2)，將此步驟數(shù)據(jù)在測(cè)量計(jì)算及寫操作單元中暫存；K.根據(jù)以上測(cè)得并存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)，測(cè)量計(jì)算及寫操作單元將計(jì)算求解實(shí)現(xiàn)一階滿度溫漂 所需的補(bǔ)償系數(shù)β，根據(jù)滿度溫漂補(bǔ)償系數(shù)與滿度函數(shù)關(guān)系表達(dá)式 S=a / (b+ β )，式中 S滿度輸出值，隨溫度變化而變化a為滿度溫漂補(bǔ)償系數(shù)計(jì)算因子1，隨溫度變化而變化 b為滿度溫漂補(bǔ)償系數(shù)計(jì)算因子2，隨溫度變化而變化 β 滿度溫度補(bǔ)償系數(shù) 求解合適的β值使得兩個(gè)溫度點(diǎn)下的滿度相等即 S1 ( β ) = S2 ( β )， Tl 溫度下 Sl ( β ) 1/ (bl+β) T2 溫度下 S2 ( β / (b2+i3) 解得 β = ( a2 bl- a 1 b2) / (a 1- a2) 在Tl溫度下Sl (^1)= FSO1 ( β》-Z1 ( β》A1 ( β 2) = FSO1 ( β 2) - Z1 ( β 2) 上述方程組中，β2, Z1 (DJSO1 (^1), Z1 (^2XFSO1 ( β 2)都是Tl溫度下測(cè) 得的數(shù)據(jù)，因此可以解出a 1和bl的值 同理，在T2溫度下S2 ( β》=FSO2 (^1)- Z2 ( β !> ;S2 ( β 2) = FSO2 ( β 2) - Z2 ( β 2) 上述方程組中，β ” β 2，Z2 ( β》、FSO2 (^1), Z2 (β 2)、FSO2 ( β 2)都是Τ2溫度下測(cè) 得的數(shù)據(jù)，因此可以解出a2和1^2的值將β值由測(cè)量計(jì)算及寫操作單元寫入智能信號(hào)理模塊內(nèi)的參數(shù)存儲(chǔ)器，實(shí)現(xiàn)滿度溫漂補(bǔ)償；L.此時(shí)仍在T2溫度下，智能傳感模塊已經(jīng)實(shí)現(xiàn)滿度溫度補(bǔ)償，接下來，壓力施加單元 對(duì)毫伏級(jí)敏感元件模塊施加的壓力為零壓；此時(shí)向智能信號(hào)調(diào)理模塊中寫入一個(gè)預(yù)置零 點(diǎn)溫補(bǔ)系數(shù)δ工，然后在智能信號(hào)調(diào)理模塊輸出Vout處測(cè)得零壓輸出值\ ( δ》，將此步驟 數(shù)據(jù)在測(cè)量計(jì)算及寫操作單元中暫存；M.接下來，向智能信號(hào)調(diào)理模塊中寫入一個(gè)預(yù)置零點(diǎn)溫補(bǔ)系數(shù)δ 2，然后在智能信號(hào)調(diào) 理模塊輸出Vout處測(cè)得零壓輸出值& ( δ 2)，將此步驟數(shù)據(jù)在測(cè)量計(jì)算及寫操作單元中暫 存；N.接下來，降低溫度到第一溫度環(huán)境Tl，穩(wěn)定后，此時(shí)，壓力施加單元對(duì)毫伏級(jí)敏感元 件模塊施加的壓力仍為零，在智能信號(hào)調(diào)理模塊中寫入預(yù)置零點(diǎn)溫補(bǔ)系數(shù)δ工，然后在智能 信號(hào)調(diào)理模塊輸出Vout處測(cè)得零壓輸出值τγ (δ i)，將此步驟數(shù)據(jù)在測(cè)量計(jì)算及寫操作單 元中暫存；0.接下來，智能信號(hào)調(diào)理模塊中的預(yù)置零點(diǎn)溫補(bǔ)系數(shù)改寫為δ 2，然后在智能信號(hào)調(diào)理 模塊輸出Vout處測(cè)得零壓輸出值Zi( δ 2)，將此步驟數(shù)據(jù)在測(cè)量計(jì)算及寫操作單元中暫存； P.根據(jù)以上測(cè)得并存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)，測(cè)量計(jì)算及寫操作單元將計(jì)算求解實(shí)現(xiàn)一階零點(diǎn)溫漂 所需的補(bǔ)償系數(shù)δ，根據(jù)零點(diǎn)溫漂補(bǔ)償系數(shù)與零點(diǎn)函數(shù)關(guān)系表達(dá)式 Z=x + yX δ式中 Z零點(diǎn)輸出值，隨溫度變化而變化X為零點(diǎn)溫漂補(bǔ)償系數(shù)計(jì)算因子1，隨溫度變化而變化 Y為零點(diǎn)溫漂補(bǔ)償系數(shù)計(jì)算因子2，隨溫度變化而變化 δ 零點(diǎn)溫度補(bǔ)償系數(shù) 求解合適的S值使得兩個(gè)溫度點(diǎn)下的零點(diǎn)值相等即Z 1 ( δ ) = Z 2 ( δ ) Tl 溫度下 Z 1 ( δ ) = χ 1+ yl δ Τ2 溫度下 Z 2 ( δ ) = Χ2 + y2 δ 解得 δ = ( Χ2- χ 1)/ (yl- y2) 在Tl溫度下上述方程組中，S S2以及Zl ( S1)及Zl ( δ 2)都是測(cè)得的數(shù)據(jù)，因此可 以解出χ 1禾口 yl的值 同理，在T2溫度下上述方程組中，δ i和δ 2以及Z2 ( δ》及Z2 ( δ 2)都是測(cè)得的數(shù)據(jù)，因此可以解出χ2 和y2的值將S值由測(cè)量計(jì)算及寫操作單元寫入智能信號(hào)調(diào)理模塊內(nèi)的參數(shù)存儲(chǔ)器，實(shí)現(xiàn)零點(diǎn)溫漂補(bǔ)償。步驟B所述的寫入一個(gè)預(yù)置滿度溫補(bǔ)系數(shù)β 是一個(gè)1 65536之間的數(shù)，步驟 D寫入的β 2與β工相差1/6 1/3。步驟L所述的寫入一個(gè)預(yù)置零點(diǎn)溫補(bǔ)系數(shù)S1,是一個(gè)-65535 65536之間的數(shù)， 步驟M寫入的32與S1相差1/6 1/3。所述智能信號(hào)調(diào)理模塊采用MAX1452型號(hào)及其兼容型號(hào)芯片。所述第一溫度環(huán)境Tl在采用室溫25°C時(shí)，第二溫度環(huán)境T2與Tl相差10°C以上。本發(fā)明的方法用兩個(gè)非常簡(jiǎn)潔的函數(shù)確定了零點(diǎn)溫漂補(bǔ)償系數(shù)與零點(diǎn)、滿度溫 漂系數(shù)與滿度之間的關(guān)系，并據(jù)此設(shè)計(jì)和優(yōu)化了操作流程，在室溫到另一溫度點(diǎn)的過程實(shí) 現(xiàn)滿度溫漂補(bǔ)償，再在返回室溫的過程實(shí)現(xiàn)零點(diǎn)溫漂補(bǔ)償，較現(xiàn)有技術(shù)減少了檢測(cè)參數(shù)和 反復(fù)的校準(zhǔn)操作過程，簡(jiǎn)化了計(jì)算，本發(fā)明生產(chǎn)工藝過程由傳統(tǒng)的數(shù)個(gè)小時(shí)縮短到2個(gè)小 時(shí)以內(nèi)，本發(fā)明的工藝所進(jìn)行的滿度溫度補(bǔ)償和零點(diǎn)溫度補(bǔ)償保證了傳感器的溫度誤差 在-2(T85C范圍內(nèi)在+/-1%滿量程以內(nèi)，本發(fā)明優(yōu)點(diǎn)在于使得基于智能信號(hào)芯片的壓力傳 感器溫度補(bǔ)償以及傳感器的標(biāo)定測(cè)試過程大大地優(yōu)化和便捷。本發(fā)明易于批量制造。


圖1是本發(fā)明一種壓力傳感器溫度補(bǔ)償系數(shù)的設(shè)置方法硬件系統(tǒng)示意圖。圖中標(biāo)號(hào) 10智能傳感模塊20毫伏級(jí)敏感元件模塊 22智能信號(hào)調(diào)理模塊 23參數(shù)存儲(chǔ)器 41壓力施加單元 42溫度施加單元 50測(cè)量計(jì)算及寫操作單元。
具體實(shí)施例方式為了進(jìn)一步說明本發(fā)明的壓力傳感器溫度補(bǔ)償系數(shù)的設(shè)置方法的原理，現(xiàn)結(jié)合附 圖對(duì)本發(fā)明壓力傳感器溫度補(bǔ)償系數(shù)的設(shè)置方法的優(yōu)選實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)說明，然而所述實(shí) 施例僅為提供說明與解釋之用，不能用來限制本發(fā)明的專利保護(hù)范圍。如圖1所示，實(shí)施一種壓力傳感器溫度補(bǔ)償系數(shù)的設(shè)置方法，所述壓力傳感器包括智能傳感模塊10，所述智能傳感模塊10包括毫伏級(jí)敏感元件模 塊20、智能信號(hào)調(diào)理模塊22、參數(shù)存儲(chǔ)器23 ；所述毫伏級(jí)敏感元件模塊20的輸出連接智能 信號(hào)調(diào)理模塊22，所述智能信號(hào)調(diào)理模塊22內(nèi)部設(shè)置參數(shù)存儲(chǔ)器23 ；所述方法基于壓力施 加單元41、溫度施加單元42、測(cè)量計(jì)算及寫操作單元50，測(cè)量計(jì)算及寫操作單元50連接智 能信號(hào)調(diào)理模塊22 ；所述方法包括步驟A.首先將智能傳感模塊10置于由溫度施加單元42所建立的第一溫度環(huán)境Tl中，此時(shí) 壓力施加單元41對(duì)毫伏級(jí)敏感元件模塊20施加的壓力為零；B.此時(shí)向智能信號(hào)調(diào)理模塊22中寫入一個(gè)預(yù)置滿度溫補(bǔ)系數(shù)，然后在智能信號(hào)調(diào) 理模塊22輸出Vout處測(cè)得零壓輸出值Z1 ( β》，將此步驟數(shù)據(jù)在測(cè)量計(jì)算及寫操作單元50中暫存；C.接下來，壓力施加單元41對(duì)毫伏級(jí)敏感元件模塊20施加的壓力為滿壓，在智能信號(hào) 調(diào)理模塊22中的預(yù)置滿度溫補(bǔ)系數(shù)保持為β工，然后在智能信號(hào)調(diào)理模塊22輸出Vout處 測(cè)得滿壓輸出值FSO1 ( β》，將此步驟數(shù)據(jù)在測(cè)量計(jì)算及寫操作單元50中暫存；D.接下來，壓力施加單元41對(duì)毫伏級(jí)敏感元件模塊20施加的壓力保持滿壓，在智能信 號(hào)調(diào)理模塊22中的預(yù)置溫補(bǔ)系數(shù)改為β 2，然后在智能信號(hào)調(diào)理模塊22輸出Vout處測(cè)得 滿壓輸出值FSO1 ( β 2)，將此步驟數(shù)據(jù)在測(cè)量計(jì)算及寫操作單元50中暫存；Ε.接下來，壓力施加單元41對(duì)毫伏級(jí)敏感元件模塊20施加的壓力降為零壓，此時(shí)向智 能信號(hào)調(diào)理模塊22中寫入的預(yù)置滿度溫補(bǔ)系數(shù)仍為β 2，然后在智能信號(hào)調(diào)理模塊22輸出 Vout處測(cè)得零壓輸出值\ ( β 2)，將此步驟數(shù)據(jù)在測(cè)量計(jì)算及寫操作單元50中暫存；F.接下來，溫度施加單元42將智能傳感模塊10的環(huán)境溫度改為第二溫度環(huán)境Τ2并穩(wěn) 定，此時(shí)壓力施加單元41對(duì)毫伏級(jí)敏感元件模塊20施加的壓力降為零壓；G.接下來，此時(shí)向智能信號(hào)調(diào)理模塊22中寫入的預(yù)置滿度溫補(bǔ)系數(shù)為，然后在智 能信號(hào)調(diào)理模塊22輸出Vout處測(cè)得零壓輸出值& ( β》，將此步驟數(shù)據(jù)在測(cè)量計(jì)算及寫 操作單元50中暫存；H.接下來，壓力施加單元41對(duì)毫伏級(jí)敏感元件模塊20施加的壓力為滿壓，在智能信號(hào) 調(diào)理模塊22中的預(yù)置溫補(bǔ)系數(shù)保持為β工，然后在智能信號(hào)調(diào)理模塊22輸出Vout處測(cè)得 滿壓輸出值FS& ( β》，將此步驟數(shù)據(jù)在測(cè)量計(jì)算及寫操作單元50中暫存；I.接下來，壓力施加單元41對(duì)毫伏級(jí)敏感元件模塊20施加的壓力仍為滿壓，在智能信 號(hào)調(diào)理模塊22中的預(yù)置溫補(bǔ)系數(shù)改為β 2，然后在智能信號(hào)調(diào)理模塊22輸出Vout處測(cè)得 滿壓輸出值FS& ( β 2)，將此步驟數(shù)據(jù)在測(cè)量計(jì)算及寫操作單元50中暫存；J.接下來，壓力施加單元41對(duì)毫伏級(jí)敏感元件模塊20施加的壓力降為零，此時(shí)向智能 信號(hào)調(diào)理模塊22中寫入的預(yù)置滿度溫補(bǔ)系數(shù)保持為β 2，然后在智能信號(hào)調(diào)理模塊22輸出 Vout處測(cè)得零點(diǎn)輸出值\ ( β 2)，將此步驟數(shù)據(jù)在測(cè)量計(jì)算及寫操作單元50中暫存；K.根據(jù)以上測(cè)得并存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)，測(cè)量計(jì)算及寫操作單元50將計(jì)算求解實(shí)現(xiàn)一階滿度 溫漂所需的補(bǔ)償系數(shù)β，根據(jù)滿度溫漂補(bǔ)償系數(shù)與滿度函數(shù)關(guān)系表達(dá)式 S=a / (b+ β )，式中 S滿度輸出值，隨溫度變化而變化A為滿度溫漂補(bǔ)償系數(shù)計(jì)算因子1，隨溫度變化而變化 B為滿度溫漂補(bǔ)償系數(shù)計(jì)算因子2，隨溫度變化而變化 β 滿度溫度補(bǔ)償系數(shù) 求解合適的β值使得兩個(gè)溫度點(diǎn)下的滿度值相等即 S1 ( β ) = S2 ( β )， Tl 溫度下 Sl ( β ) 1/ (bl+β) T2 溫度下 S2 ( β / (b2+i3) 解得 β = ( a2 bl- a 1 b2) / (a 1- a2) 在Tl溫度下Sl (^1)= FSO1 (^1)- Z1 ( β !> ( β 2) = FSO1 ( β 2) - Z1 ( β 2) 上述方程組中，β2, Z1 (^1XFSO1 (^1), Z1 (^2XFSO1 ( β 2)都是 Tl 溫度下測(cè) 得的數(shù)據(jù)，因此可以解出a 1和bl的值 同理，在T2溫度下S2 (^1)= FSO2 (^1)- Z2 ( β i) ;S2 ( β 2) = FSO2 ( β 2) - Z2 ( β 2) 上述方程組中，β ” β 2，Z2 ( β》、FSO2 (^1), Z2 (β 2)、FSO2 ( β 2)都是Τ2溫度下測(cè) 得的數(shù)據(jù)，因此可以解出a2和1^2的值將β值由測(cè)量計(jì)算及寫操作單元50寫入智能信號(hào)理模塊22內(nèi)的參數(shù)存儲(chǔ)器 23，實(shí)現(xiàn)滿度溫漂補(bǔ)償；L.此時(shí)仍在Τ2溫度下，智能傳感模塊10已經(jīng)實(shí)現(xiàn)滿度溫度補(bǔ)償，接下來，壓力施加 單元41對(duì)毫伏級(jí)敏感元件模塊20施加的壓力為零；此時(shí)向智能信號(hào)調(diào)理模塊22中寫入 一個(gè)預(yù)置零點(diǎn)溫補(bǔ)系數(shù)δ工，然后在智能信號(hào)調(diào)理模塊22輸出Vout處測(cè)得零點(diǎn)輸出值\ (δ》，將此步驟數(shù)據(jù)在測(cè)量計(jì)算及寫操作單元50中暫存；M.接下來，向智能信號(hào)調(diào)理模塊22中寫入一個(gè)預(yù)置零點(diǎn)溫補(bǔ)系數(shù)δ 2，然后在智能信 號(hào)調(diào)理模塊22輸出Vout處測(cè)得零點(diǎn)輸出值& ( δ 2)，將此步驟數(shù)據(jù)在測(cè)量計(jì)算及寫操作 單元50中暫存；N.接下來，降低溫度到第一溫度環(huán)境Tl，穩(wěn)定后，此時(shí)，壓力施加單元41對(duì)毫伏級(jí)敏感 元件模塊20施加的壓力仍為零，在智能信號(hào)調(diào)理模塊22中寫入預(yù)置溫補(bǔ)系數(shù)δ ”然后在 智能信號(hào)調(diào)理模塊22輸出Vout處測(cè)得零點(diǎn)輸出值\ ( δ》，將此步驟數(shù)據(jù)在測(cè)量計(jì)算及 寫操作單元50中暫存；0.接下來，智能信號(hào)調(diào)理模塊22中的預(yù)置零點(diǎn)溫補(bǔ)系數(shù)改寫為δ2，然后在智能信號(hào) 調(diào)理模塊22輸出Vout處測(cè)得零點(diǎn)輸出值\ ( δ 2)，將此步驟數(shù)據(jù)在測(cè)量計(jì)算及寫操作單 元50中暫存；P.根據(jù)以上測(cè)得并存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)，測(cè)量計(jì)算及寫操作單元50將計(jì)算求解實(shí)現(xiàn)一階零點(diǎn) 溫漂所需的補(bǔ)償系數(shù)δ，根據(jù)零點(diǎn)溫漂補(bǔ)償系數(shù)與零點(diǎn)函數(shù)關(guān)系表達(dá)式 Z=x + yX δ式中 Z零點(diǎn)輸出值，隨溫度變化而變化X為零點(diǎn)溫漂補(bǔ)償系數(shù)計(jì)算因子1，隨溫度變化而變化 Y為零點(diǎn)溫漂補(bǔ)償系數(shù)計(jì)算因子2，隨溫度變化而變化 δ 零點(diǎn)溫度補(bǔ)償系數(shù) 求解合適的S值使得兩個(gè)溫度點(diǎn)下的零點(diǎn)值相等即Z 1 ( δ ) = Z 2 ( δ ) Tl 溫度下 Z 1 ( δ ) = χ 1+ yl δT2 溫度下 Z 2 ( δ ) = X2 + y2 δ 解得 δ = ( Χ2- χ 1)/ (yl- y2) 在Tl溫度下上述方程組中，S S2以及Zl (S1)及Zl ( δ 2)都是測(cè)得的數(shù)據(jù)，因此 可以解出χ 1禾口 yl的值 同理，在T2溫度下上述方程組中，δ i和δ 2以及Z2 ( δ》及Z2 ( δ 2)都是測(cè)得的數(shù)據(jù)，因此可 以解出χ2和y2的值將δ值由測(cè)量計(jì)算及寫操作單元50寫入智能信號(hào)調(diào)理模塊22內(nèi)的參數(shù) 存儲(chǔ)器23，實(shí)現(xiàn)零點(diǎn)溫漂補(bǔ)償。上述方法中，步驟B所述的寫入一個(gè)預(yù)置滿度溫補(bǔ)系數(shù)β 是一個(gè)1 65536之 間的數(shù)，步驟D寫入的02與^相差1/6 1/3。上述方法中，步驟L所述的寫入一個(gè)預(yù)置零點(diǎn)溫補(bǔ)系數(shù)δ ρ是一個(gè)-65535 65536之間的數(shù)，步驟M寫入的δ 2與δ i相差1/6 1/3。上述方法中，所述智能信號(hào)調(diào)理模塊22采用MAX1452型號(hào)及其兼容型號(hào)芯片。所述第一溫度環(huán)境Tl在采用室溫25°C時(shí)，第二溫度環(huán)境T2與Tl相差10°C以上 為佳。在本發(fā)明的第一實(shí)施方式中，采用T2比Tl溫度高的方法，為50°C。當(dāng)然可以采用T2比Tl溫度低的方法，如T2為5°C。本發(fā)明的工藝步驟可以調(diào)整。本發(fā)明方法的推導(dǎo)過程MAX1452參考手冊(cè)給出了基于該芯片的壓力傳感器(以下簡(jiǎn)稱系統(tǒng))傳遞函數(shù)表達(dá)式[1]Vout= (Sensor+IRO) X PGA+y XVdd+ δ XVb..................①式中V。ut_系統(tǒng)輸出，隨被測(cè)壓力和環(huán)境溫度變化而變化； Sensor—毫伏級(jí)敏感元件輸出，隨溫度變化而變化； IRO—芯片內(nèi)部用于粗調(diào)零點(diǎn)輸出； PGA—信號(hào)通道增益(或稱放大倍數(shù))； Y —零點(diǎn)設(shè)置參數(shù)(設(shè)置零壓輸出)； VDD_芯片供電電壓；5V+/—0. 5V ； δ 一零點(diǎn)溫漂補(bǔ)償系數(shù)(變量)；Vb—傳感器激勵(lì)電壓(或稱供橋電壓)，隨溫度變化而變化。
注[1]根據(jù) ΜΑΧ1452 用戶參考手冊(cè)(《ΜΑΧ1452 REFERENCE MANUAL)))第 5 章第 8 頁(yè)(Chapter 5, page 8 of 9) ^ ζ 5-21 (Equation 5—21)。
在實(shí)際工作過程中，當(dāng)傳感器系統(tǒng)所受壓力為P=Ptl (最小壓力，一般為零)時(shí)有 Sensor=Vz,此時(shí)V。ut即為系統(tǒng)的零點(diǎn)輸出Z=VzXPGA+IROXPGA+ y XVdd + δ XVb 式中Vz_最小壓力時(shí)，毫伏級(jí)敏感元件輸出，隨溫度變化而變化； Z—系統(tǒng)的零點(diǎn)輸出，隨溫度變化而變化。為簡(jiǎn)化表達(dá)式起見令X= VzXPGA+IROXPGA+y X VDD; Y=Vb,則零點(diǎn)與零點(diǎn)溫漂補(bǔ)償系數(shù)的函數(shù)關(guān)系 式簡(jiǎn)化為 Ζ=Χ+ΥΧ δX為零點(diǎn)溫漂補(bǔ)償系數(shù)計(jì)算因子1，隨溫度變化而變化。Y為零點(diǎn)溫漂補(bǔ)償系數(shù)計(jì)算因子2，隨溫度變化而變化。當(dāng)系統(tǒng)所受壓力為P=Pmax (額定最大壓力)有SenSOr=Vfs，此時(shí)V。ut即為系統(tǒng)的滿 壓輸出FSO=VfsXPGA+IROXPGA+ y XVdd + δ XVb 式中FSO—系統(tǒng)的滿壓輸出，隨溫度變化而變化。Vfs—最大壓力時(shí)，毫伏級(jí)敏感元件輸出，隨溫度變化而變化。由此系統(tǒng)的滿度輸出為S = FSO — Z = (Vfs-Vz) XPGA。其中Vfs-Vz即毫伏級(jí)敏感元件滿度輸出，可以表示為VbXVs。所以式中Vs_毫伏級(jí)敏感元件輸出靈敏度，歸一化到其激勵(lì)電壓，隨溫度變化而變化。
Vb可以用如下公式表述[2]式中α —滿度設(shè)置參數(shù)(用于設(shè)置基本供電電流)； RISRC—用于設(shè)定傳感器電流的電阻； RFTC—設(shè)置溫度補(bǔ)償電流的電阻； AA—電流鏡像放大倍數(shù)； Rb_傳感器橋阻，隨溫度變化而變化； β —滿度溫漂補(bǔ)償系數(shù)。注[2]根據(jù)ΜΑΧ1452 參考手冊(cè)(《ΜΑΧ1452 REFERENCE MANUAL))) (Chapter 5， page 8 of 9) ^ ζ 5-20 (Equation 5—20)。所以S=VhXVsXPGA
權(quán)利要求
1. 一種壓力傳感器溫度補(bǔ)償系數(shù)的設(shè)置方法，所述壓力傳感器包括智能傳感模塊 (10)，所述智能傳感模塊(10)包括毫伏級(jí)敏感元件模塊(20)、智能信號(hào)調(diào)理模塊(22)、及 其內(nèi)的參數(shù)存儲(chǔ)器(23)；所述毫伏級(jí)敏感元件模塊(20)的輸出連接智能信號(hào)調(diào)理模塊 (22)，所述智能信號(hào)調(diào)理模塊(22)內(nèi)部設(shè)置參數(shù)存儲(chǔ)器(23)；所述方法基于壓力施加單元 (41)、溫度施加單元(42)、測(cè)量計(jì)算及寫操作單元(50)，測(cè)量計(jì)算及寫操作單元(50)連接 智能信號(hào)調(diào)理模塊(22)；其特征在于，所述方法包括步驟A.首先將智能傳感模塊(10)置于由溫度施加單元(42)所建立的第一溫度環(huán)境Tl中， 此時(shí)壓力施加單元(41)對(duì)毫伏級(jí)敏感元件模塊(20)施加的壓力為零；B.此時(shí)向智能信號(hào)調(diào)理模塊(22)中寫入一個(gè)預(yù)置滿度溫補(bǔ)系數(shù)，然后在智能信號(hào) 調(diào)理模塊(22)輸出Vout處測(cè)得零壓輸出值\ ( β》，將此步驟數(shù)據(jù)在測(cè)量計(jì)算及寫操作單 元(50)中暫存；C.接下來，壓力施加單元(41)對(duì)毫伏級(jí)敏感元件模塊(20)施加的壓力為滿壓，在智能 信號(hào)調(diào)理模塊(22)中的預(yù)置滿度溫補(bǔ)系數(shù)保持為，然后在智能信號(hào)調(diào)理模塊(22)輸出 Vout處測(cè)得滿壓輸出值FSO1 ( β》，將此步驟數(shù)據(jù)在測(cè)量計(jì)算及寫操作單元(50)中暫存；D.接下來，壓力施加單元(41)對(duì)毫伏級(jí)敏感元件模塊(20)施加的壓力保持滿壓，在智 能信號(hào)調(diào)理模塊(22)中的預(yù)置溫補(bǔ)系數(shù)改為β 2，然后在智能信號(hào)調(diào)理模塊(22)輸出Vout 處測(cè)得滿壓輸出值FSO1 ( β 2)，將此步驟數(shù)據(jù)在測(cè)量計(jì)算及寫操作單元(50)中暫存；Ε.接下來，壓力施加單元(41)對(duì)毫伏級(jí)敏感元件模塊(20)施加的壓力降為零壓，此時(shí) 向智能信號(hào)調(diào)理模塊(22)中寫入的預(yù)置滿度溫補(bǔ)系數(shù)仍為β 2，然后在智能信號(hào)調(diào)理模塊 (22)輸出Vout處測(cè)得零壓輸出值\ ( β 2)，將此步驟數(shù)據(jù)在測(cè)量計(jì)算及寫操作單元(50) 中暫存；F.接下來，溫度施加單元(42)將智能傳感模塊(10)的環(huán)境溫度改為第二溫度環(huán)境Τ2 并穩(wěn)定，此時(shí)壓力施加單元(41)對(duì)毫伏級(jí)敏感元件模塊(20)施加的壓力降為零壓；G.接下來，此時(shí)向智能信號(hào)調(diào)理模塊(22)中寫入的預(yù)置滿度溫補(bǔ)系數(shù)為，然后在智 能信號(hào)調(diào)理模塊(22)輸出Vout處測(cè)得零壓輸出值\ ( β》，將此步驟數(shù)據(jù)在測(cè)量計(jì)算及寫 操作單元(50)中暫存；H.接下來，壓力施加單元(41)對(duì)毫伏級(jí)敏感元件模塊(20)施加的壓力為滿壓，在智能 信號(hào)調(diào)理模塊(22)中的預(yù)置溫補(bǔ)系數(shù)保持為β工，然后在智能信號(hào)調(diào)理模塊(22)輸出Vout 處測(cè)得滿壓輸出值FS& ( β》，將此步驟數(shù)據(jù)在測(cè)量計(jì)算及寫操作單元(50)中暫存；I.接下來，壓力施加單元(41)對(duì)毫伏級(jí)敏感元件模塊(20)施加的壓力仍為滿壓，在智 能信號(hào)調(diào)理模塊(22)中的預(yù)置溫補(bǔ)系數(shù)改為β 2，然后在智能信號(hào)調(diào)理模塊(22)輸出Vout 處測(cè)得滿壓輸出值FS& ( β 2)，將此步驟數(shù)據(jù)在測(cè)量計(jì)算及寫操作單元(50)中暫存；J.接下來，壓力施加單元(41)對(duì)毫伏級(jí)敏感元件模塊(20)施加的壓力降為零點(diǎn)，此時(shí) 向智能信號(hào)調(diào)理模塊(22)中寫入的預(yù)置滿度溫補(bǔ)系數(shù)保持為β2，然后在智能信號(hào)調(diào)理模 塊(22)輸出Vout處測(cè)得零壓輸出值β 2)，將此步驟數(shù)據(jù)在測(cè)量計(jì)算及寫操作單元(50) 中暫存；K.根據(jù)以上測(cè)得并存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)，測(cè)量計(jì)算及寫操作單元(50)將計(jì)算求解實(shí)現(xiàn)一階滿 度溫漂所需的補(bǔ)償系數(shù)β，根據(jù)滿度溫漂補(bǔ)償系數(shù)與滿度函數(shù)關(guān)系表達(dá)式S=a / (b+ β )，式中 S滿度輸出值，隨溫度變化而變化a為滿度溫漂補(bǔ)償系數(shù)計(jì)算因子1，隨溫度變化而變化 b為滿度溫漂補(bǔ)償系數(shù)計(jì)算因子2，隨溫度變化而變化 β 滿度溫度補(bǔ)償系數(shù) 求解合適的β值使得兩個(gè)溫度點(diǎn)下的滿度值相等即 S1 ( β ) = S2 ( β )， Tl 溫度下 Sl ( β )=a 1/ (bl+β) T2 溫度下 S2 ( β )=a2 / (b2+i3) 解得 β = ( a2 bl- a 1 b2) / (a 1- a2) 在Tl溫度下rSl C P1) = 1/ (bl+P,) Isi ( P2) =al/ (bI+P2》51(^1)= FSO1 (^1)- Z1 ( β ) !S1 ( β 2) = FSO1 ( β 2) - Z1 ( β 2)上述方程組中，β2, Z1 (^1XFSO1 (^1), Z1 (^2XFSO1 ( β 2)都是 Tl 溫度下測(cè) 得的數(shù)據(jù)，因此可以解出a 1和bl的值 同理，在T2溫度下rS2 C P1) =a2/ (b2+P,) ls2 C P2) =a2/ (b2+P2)52( β》=FSO2 (^1)- Z2 ( β !> ;S2 ( β 2) = FSO2 ( β 2) _ Z2 ( β 2)上述方程組中，β ” β 2，Z2 ( β》、FSO2 ( β i)，Z2 (β 2)、FSO2 ( β 2)都是Τ2溫度下測(cè) 得的數(shù)據(jù)，因此可以解出a2和b2的值將β值由測(cè)量計(jì)算及寫操作單元(50)寫入智能信號(hào)理模塊(22)內(nèi)的參數(shù)存儲(chǔ) 器(23)，實(shí)現(xiàn)滿度溫漂補(bǔ)償；L.此時(shí)仍在Τ2溫度下，智能傳感模塊(10)已經(jīng)實(shí)現(xiàn)滿度溫度補(bǔ)償，接下來，壓力施加 單元(41)對(duì)毫伏級(jí)敏感元件模塊(20)施加的壓力為零壓；此時(shí)向智能信號(hào)調(diào)理模塊(22) 中寫入一個(gè)預(yù)置零點(diǎn)溫補(bǔ)系數(shù)δ工，然后在智能信號(hào)調(diào)理模塊(22)輸出Vout處測(cè)得零壓輸 出值Z2 ( δ》，將此步驟數(shù)據(jù)在測(cè)量計(jì)算及寫操作單元(50)中暫存；M.接下來，向智能信號(hào)調(diào)理模塊(22)中寫入一個(gè)預(yù)置零點(diǎn)溫補(bǔ)系數(shù)δ 2，然后在智能信 號(hào)調(diào)理模塊(22)輸出Vout處測(cè)得零壓輸出值Z2 ( δ 2)，將此步驟數(shù)據(jù)在測(cè)量計(jì)算及寫操作 單元(50)中暫存；N.接下來，降低溫度到第一溫度環(huán)境Tl，穩(wěn)定后，此時(shí)，壓力施加單元(41)對(duì)毫伏級(jí)敏 感元件模塊(20)施加的壓力仍為零，在智能信號(hào)調(diào)理模塊(22)中寫入預(yù)置溫補(bǔ)系數(shù)δ” 然后在智能信號(hào)調(diào)理模塊(22)輸出Vout處測(cè)得零壓輸出值Z1 ( δ》，將此步驟數(shù)據(jù)在測(cè)量 計(jì)算及寫操作單元(50)中暫存；0.接下來，智能信號(hào)調(diào)理模塊(22)中的預(yù)置零點(diǎn)溫補(bǔ)系數(shù)改寫為δ 2，然后在智能信號(hào)調(diào)理模塊(22)輸出Vout處測(cè)得零壓輸出值Z1 ( δ 2)，將此步驟數(shù)據(jù)在測(cè)量計(jì)算及寫操作單元(50)中暫存；P.根據(jù)以上測(cè)得并存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)，測(cè)量計(jì)算及寫操作單元(50)將計(jì)算求解實(shí)現(xiàn)一階零 點(diǎn)溫漂所需的補(bǔ)償系數(shù)δ，根據(jù)零點(diǎn)溫漂補(bǔ)償系數(shù)與零點(diǎn)函數(shù)關(guān)系表達(dá)式 Z=x + yX δ式中 Z零點(diǎn)輸出值，隨溫度變化而變化X為零點(diǎn)溫漂補(bǔ)償系數(shù)計(jì)算因子1，隨溫度變化而變化 Y為零點(diǎn)溫漂補(bǔ)償系數(shù)計(jì)算因子2，隨溫度變化而變化 δ 零點(diǎn)溫度補(bǔ)償系數(shù) 求解合適的S值使得兩個(gè)溫度點(diǎn)下的零點(diǎn)值相等即Z 1 ( δ )= Z 2 ( δ ) Tl 溫度下 Z 1 ( δ ) = χ 1+ yl δ Τ2 溫度下 Z 2 ( δ ) = Χ2 + y2 δ 解得 δ = ( Χ2- χ 1) / (yl- y2) 在Tl溫度下上方程組中，S工和\以及Zl (S1)及Zl ( δ 2)都是測(cè)得的數(shù)據(jù)，因此可 以解出χ 1禾口 yl的值 同理，在T2溫度下數(shù)存儲(chǔ)器(23)，實(shí)現(xiàn)零點(diǎn)溫漂補(bǔ)償。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力傳感器溫度補(bǔ)償系數(shù)的設(shè)置方法，其特征在于步驟B所述的寫入一個(gè)預(yù)置滿度溫補(bǔ)系數(shù)β 是一個(gè)1 65536之間的數(shù)，步驟D寫 入的旦2與相差1/6 1/3。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力傳感器溫度補(bǔ)償系數(shù)的設(shè)置方法，其 特征在于步驟L所述的寫入一個(gè)預(yù)置零點(diǎn)溫補(bǔ)系數(shù)S1,是一個(gè)-65535 65536之間的數(shù)，步 驟M寫入的52與S1相差1/6 1/3。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力傳感器溫度補(bǔ)償系數(shù)的設(shè)置方法，其 特征在于所述智能信號(hào)調(diào)理模塊(22)采用ΜΑΧ1452型號(hào)及其兼容型號(hào)芯片。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力傳感器溫度補(bǔ)償系數(shù)的設(shè)置方法，其 特征在于上方程組中，S 和S2以及Ζ2 (50及22 ( δ 2)都是測(cè)得的數(shù)據(jù)，因此可以解出χ2和y2的值將S值由測(cè)量計(jì)算及寫操作單元(50)寫入智能信號(hào)調(diào)理模塊(22)內(nèi)的參所述第一溫度環(huán)境Tl在采用室溫25°C時(shí)，第二溫度 環(huán)境T2與Tl相差10°C以上。
全文摘要
一種壓力傳感器溫度補(bǔ)償系數(shù)的設(shè)置方法，所述壓力傳感器中的智能傳感模塊包括毫伏級(jí)敏感元件模塊、智能信號(hào)調(diào)理模塊及其內(nèi)部的參數(shù)存儲(chǔ)器；所述方法由壓力施加單元和溫度施加單元給智能傳感模塊提供工作環(huán)境；并由測(cè)量計(jì)算及寫操作單元連接智能信號(hào)調(diào)理模塊進(jìn)行設(shè)置；本發(fā)明的方法用兩個(gè)簡(jiǎn)潔的函數(shù)表達(dá)了零點(diǎn)溫漂補(bǔ)償系數(shù)與零點(diǎn)、滿度溫漂補(bǔ)償系數(shù)與滿度之間的關(guān)系，并據(jù)此來設(shè)計(jì)操作流程，本發(fā)明的方法只需簡(jiǎn)單地測(cè)定兩個(gè)溫度點(diǎn)下的零點(diǎn)及滿壓輸出的數(shù)據(jù)，即可計(jì)算出所需的零點(diǎn)和滿度溫漂補(bǔ)償系數(shù)并寫入傳感器實(shí)現(xiàn)溫度補(bǔ)償。本發(fā)明在實(shí)際生產(chǎn)過程中非常易于實(shí)現(xiàn)，顯著地簡(jiǎn)化了操作，優(yōu)化了流程，提高了生產(chǎn)效率。
文檔編號(hào)G01L19/04GK102052991SQ20101055541
公開日2011年5月11日 申請(qǐng)日期2010年11月23日 優(yōu)先權(quán)日2010年11月23日
發(fā)明者歐陽(yáng)德利 申請(qǐng)人:東莞市百賽儀器有限公司