專利名稱：油壓致動器和油壓振動試驗裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種能高速反轉(zhuǎn)驅(qū)動的油壓致動器和油壓式振動試驗裝置。
背景技術(shù)：
作為通過油壓缸使被檢體振動的振動試驗裝置，例如已知有如日本特開 2000-2617所記載的、使用容積式泵(positive displacement pump)和伺服閥的裝置。這種振動試驗裝置能將大負荷施加給被檢體，同時以高頻率使被檢體振動。圖5表示使用伺服閥的油壓振動試驗裝置的回路圖的一例。圖5所示的油壓振動試驗裝置101具有泵單元110、作動油槽120、油壓缸單元 130、伺服閥140、和振動工作臺150。在振動工作臺150上固定工件W，使振動工作臺150往復(fù)移動，由此對工件W施加振動。泵單元110利用馬達112驅(qū)動容積式泵主體111，在作動油槽120與伺服閥140之間與油壓回路連接。此外，馬達112的旋轉(zhuǎn)方向限定于一個方向，即馬達112僅能正轉(zhuǎn)。此外，馬達112的旋轉(zhuǎn)速度大致保持一定。泵單元110只具有將作動油從作動油槽120送到伺服閥140的功能，且其流量大致保持一定。油壓缸單元130具有套筒131、在該套筒131內(nèi)能移動的活塞132以及從活塞132 的一側(cè)突出到套筒131外部的活塞桿133。在活塞桿133的前端固定振動工作臺150。套筒131的內(nèi)部被活塞132劃分為第一壓力室131a和第二壓力室131b。第一壓力室131a和第二壓力室131b中填充作動油。此外，第一壓力室131a和第二壓力室131b分別透過配管 161、162連接到伺服閥140。伺服閥140用以切換將從泵單元110送來的作動油送到配管161、162其中之一， 并且控制送到配管的作動油的油壓。此外，伺服閥140將未傳遞作動油的配管連接到與作動油槽120連通的配管164。伺服閥140的切換動作和油壓調(diào)整動作由控制器102控制。當以將作動油從泵單元110送往配管161的方式構(gòu)成油壓回路時，作動油被供給到第一壓力室131a，第一壓力室131a的內(nèi)壓上升。由此，活塞132向第二壓力室131b被推下，振動工作臺150下降。此時，第二壓力室131b內(nèi)的作動油經(jīng)由配管162和伺服閥140 返回到作動油槽120。另一方面，當以將作動油從泵單元110送往配管162的方式構(gòu)成油壓回路時，作動油被供給到第二壓力室131b，第二壓力室131b的內(nèi)壓上升。由此，活塞132 向第一壓力室131a被推上，振動工作臺150上升。此時，第一壓力室131a內(nèi)的作動油經(jīng)由配管161和伺服閥140返回到作動油槽120。此外，如圖5所示，從泵單元110到伺服閥140的配管163、與從伺服閥140到作動油槽120的配管164通過總管165而連結(jié)。泵單元110所供給的作動油不會全部前往油壓缸單元130，有一部分是經(jīng)由該總管165送回到作動油槽120。此外，為了在配管163和 164內(nèi)防止作動油的逆流，在各配管分別設(shè)有單向閥166、167。這樣，在伺服閥式振動試驗裝置中，控制器102控制伺服閥140，周期性切換將作動油送到第一壓力室131a和第二壓力室131b其中之一，使振動工作臺150往復(fù)移動。伺服
4閥式油壓振動試驗裝置，由于利用伺服閥140將以高壓、大流量循環(huán)的作動油的一部分送到油壓缸單元130，所以當進行切換將作動油送到第一壓力室131a與第二壓力室131b其中之一時，送到作動油的壓力室的壓力瞬間上升到高壓，沒有時間延遲地切換振動工作臺150 的移動方向。因此，能以高頻率對振動工作臺施加振動。在振動工作臺150設(shè)有加速度傳感器103，加速度傳感器103檢測到的表示加速度的信號被供給到控制器102?？刂破?02能根據(jù)加速度傳感器103的檢測結(jié)果，計算振動工作臺150的位移、速度或加速度，并控制伺服閥140，使得振動工作臺150以所期望的位移、 速度或加速度波形進行振動。

發(fā)明內(nèi)容
使用伺服閥的油壓致動器為了將所期望的壓力瞬間且穩(wěn)定地供給到油壓缸，而采用如下結(jié)構(gòu)，即，連續(xù)驅(qū)動流量充分大的泵，并僅將泵所供給的油壓能量的一部分供給到油壓缸。因此，使用這種油壓致動器的振動試驗裝置所需的能量消耗量遠超過對被檢體施加振動所需要的能量，造成能量浪費。此外，為了通過這種泵使作動油循環(huán)而需要大容量的作動油槽。本發(fā)明是為了解決上述問題而創(chuàng)作，其目的在于提供一種油壓致動器，不需要大型泵或作動油槽，有高輸出且能高速反應(yīng)，還提供一種振動試驗裝置，能對被檢體施加大負荷，同時以高頻對被檢體施加振動。依據(jù)本發(fā)明的實施方式提供一種致動器，具備能反轉(zhuǎn)動作的油壓泵、油壓缸單元、 第一配管和第二配管，該油壓缸單元具備活塞、內(nèi)部空間被活塞劃分為第一壓力室和第二壓力室的套筒以及與活塞連結(jié)并且前端突出到套筒外部的活塞桿，該第一配管將第一壓力室連接到第一吸排口，第二配管將第二壓力室連接到第二吸排口，油壓泵反轉(zhuǎn)動作，由此對于第一和第二壓力室交替施加油壓，使活塞上下運動。該致動器還具備連結(jié)第一和第二配管的總管、以及蓄壓器(accumulator)，該蓄壓器設(shè)于總管中途，對第一和第二壓力室施加反壓力。本發(fā)明的實施方式的致動器中使用往正反兩方向反轉(zhuǎn)動作的油壓泵。該油壓泵并不會經(jīng)由伺服閥，而是直接與油壓缸單元連接，以驅(qū)動油壓缸單元。本發(fā)明實施方式的致動器，由于根據(jù)從泵輸出的作動油的流量和方向驅(qū)動油壓缸單元，所以不需要伺服閥式致動器所使用大型泵或作動油槽。此外，依據(jù)上述的理由，本發(fā)明實施方式的致動器所需的能量消耗量相較于對被檢體施加振動所需的能量并不那樣大，所以相較于伺服閥式致動器能夠大幅抑制能量消耗量。反轉(zhuǎn)動作的油壓泵的特征之一，是使泵的作動方向反轉(zhuǎn)時，作動油的壓力降低，該壓力充分上升之前會發(fā)生數(shù)十毫秒左右的時間延遲。因此，如果單純只有將泵連接到油壓缸單元，則使泵的驅(qū)動方向反轉(zhuǎn)以切換振動工作臺的移動方向時，上述的時間延遲會發(fā)生， 在這期間無法移動上述振動工作臺。因此，不能以高頻率(數(shù)十Hz以上)使被檢體振動， 在該高頻率下的時間延遲會造成不能忽視的影響。然而，本發(fā)明實施方式的致動器，由于蓄壓器經(jīng)由總管對油壓缸單元的第一壓力室和第二壓力室施加規(guī)定的壓力，所以即使使泵的動作方向反轉(zhuǎn)，作動油壓力幾乎不會降低，上述的時間延遲非常小。因此，本發(fā)明實施方式的致動器能夠以高頻使被檢體振動。
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蓄壓器對第一壓力室和第二壓力室施加的反壓力的大小優(yōu)選為設(shè)定為比油壓缸單元的驅(qū)動所需要的最低壓力更大。在此情況，幾乎沒有油壓系統(tǒng)所引起的響應(yīng)延遲。本發(fā)明實施方式的油壓致動器所使用的典型油壓泵是活塞式泵。致動器優(yōu)選為還具備伺服馬達以作為油壓泵的驅(qū)動源。此外，本發(fā)明實施方式的油壓致動器也可以還具備檢測油壓致動器可動部(或油壓致動器的驅(qū)動對象)的動作的傳感器、以及控制伺服馬達的控制器。在此情況，控制器能夠根據(jù)傳感器的檢測結(jié)果來控制伺服馬達。此外，傳感器優(yōu)選為包括位移傳感器、速度傳感器、加速度傳感器和負荷傳感器中的任一個。在此情況，控制器能根據(jù)傳感器的檢測結(jié)果控制伺服馬達，由以按照規(guī)定的位移、速度或加速度的波形驅(qū)動活塞。傳感器可拆裝地安裝在油壓致動器(具體來說是控制器)上。傳感器也可以包括負荷傳感器。在此情況，控制器能根據(jù)傳感器的檢測結(jié)果控制伺服馬達，使由負荷傳感器檢測的負荷按照規(guī)定的波形改變。此外，依據(jù)本發(fā)明的實施方式，提供一種振動試驗裝置，具備上述的油壓致動器、 以及設(shè)于活塞桿前端的振動工作臺。本發(fā)明實施方式的振動試驗裝置優(yōu)選為還具備設(shè)于振動工作臺的傳感器、以及控制伺服馬達的控制器。此外，設(shè)于振動工作臺的傳感器也可以包括測量振動工作臺的位移、速度或加速度的傳感器。在此情況，控制器能根據(jù)傳感器的檢測結(jié)果控制伺服馬達，以按照位移、速度或加速度的規(guī)定波形驅(qū)動振動工作臺。此外，傳感器也可以包括測量施加于被檢體的負荷的負荷傳感器。在此情況，控制器能根據(jù)傳感器的檢測結(jié)果控制伺服馬達，以按照規(guī)定的波形對被檢體施加負荷。


圖1是本發(fā)明實施方式的振動試驗裝置的概略回路圖。圖2是表示本發(fā)明實施方式的振動試驗裝置的用以對被檢體施加靜負荷的概略結(jié)構(gòu)的圖。圖3是本發(fā)明實施例的振動工作臺的加速度和位移的曲線圖。圖4是比較例的振動工作臺的加速度和位移的曲線圖。圖5是使用伺服閥的現(xiàn)有的油壓式振動試驗裝置的概略回路圖。
具體實施例方式以下，使用

本發(fā)明的實施方式。圖1是本實施方式的振動試驗裝置的回路圖。如圖1所示，本實施方式的振動試驗裝置1具有泵單元10、作動油槽20、油壓缸單元 30、振動工作臺50和蓄壓器70。通過油壓缸單元30供給的油壓使得振動工作臺50上下移動，由此固定于振動工作臺50上的被檢體W被施加振動。泵單元10具有泵主體11和伺服馬達12。伺服馬達12通過從伺服放大器4輸出的交流電流被驅(qū)動。伺服馬達12構(gòu)成味，能使其驅(qū)動軸12a向正反兩方向旋轉(zhuǎn)，且能精密調(diào)整驅(qū)動軸1 的旋轉(zhuǎn)速度。此外，伺服馬達12是低慣性AC伺服馬達，這種馬達有高輸出， 能進行高重復(fù)率的反轉(zhuǎn)驅(qū)動。
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此外，泵主體11是活塞式泵，能將作動油從第一吸排口 Ila送往第二吸排口 11b， 或是將作動油從第二吸排口 lib送往第一吸排口 11a。通過伺服馬達12驅(qū)動泵主體11，由此能改變泵主體11所供給的作動油的流量和方向。例如當以一定的周期反轉(zhuǎn)驅(qū)動伺服馬達12時，流過第一吸排口 Ila與第二吸排口 lib之間的作動油的流量和方向會周期性地改變化。油壓缸單元30具有套筒31、在套筒31內(nèi)能夠移動的活塞32、以及從活塞32的一面突出到套筒31外部的活塞桿33在活塞桿33的前端固定著振動工作臺50。套筒31的內(nèi)部被活塞32劃分為第一壓力室31a和第二壓力室31b。在第一壓力室31a和第二壓力室 31b填充有作動油。此外，第一壓力室31a和第二壓力室31b分別經(jīng)由配管61、62與泵主體 11的第一吸排口 Ila和第二吸排口 lib連接。此外，使用高壓軟管等作為配管61、62，該高壓軟管等能夠抵抗在使振動工作臺50移動時發(fā)生的作動油的壓力上升(約數(shù)十MPa)(不引起彈性變形)。作動油槽20分別經(jīng)由單向閥63、64與第一壓力室31a和第二壓力室31b連接。 各單向閥63、64分別在第一壓力室31a和第二壓力室31b的內(nèi)壓比作動油槽20內(nèi)的油壓 (例如大氣壓)小的情況打開，將作動油從作動油槽20供給到配管61、62。本實施方式中， 對第一壓力室31a(或第二壓力室31b)填充作動油時，單向閥63(或單向閥64)打開，作動油從作動油槽20移動到壓力室31a(或壓力室31b)。具體而言，作動油對各壓力室31a、31b的填充是以如下方式進行。在第一壓力室 31a和第二壓力室31b設(shè)有抽空氣用的未圖示的閥。首先，打開第一壓力室31a的閥且關(guān)閉第二壓力室31b的閥，在此狀態(tài)下，驅(qū)動泵單元10以使作動油和空氣從第二吸排口 lib送到第一吸排口 11a。于是，第二壓力室31b和配管62內(nèi)的空氣經(jīng)由配管61從第一壓力室 31a的閥逸出。不久，第二壓力室31b和配管62的壓力變得比作動油槽20內(nèi)的壓力更低， 所以單向閥64打開，作動油槽20內(nèi)的作動油經(jīng)由配管62、61填充到第一壓力室31a。作動油填充到第一壓力室31a后，關(guān)閉第一壓力室31a的閥，打開第二壓力室31b 的閥，驅(qū)動泵單元10以使作動油從第一吸排口 Ila送到第二吸排口 lib。于是，第二壓力室 31b和配管62內(nèi)的空氣從第二壓力室31b的閥逸出，此外，活塞32上升，填充于第一壓力室 31a側(cè)的作動油被推出到配管61?；钊?2上升到上死點時，第一壓力室31a和配管61內(nèi)的作動油的壓力變得比作動油槽20內(nèi)的壓力更低，所以單向閥63打開，作動油槽20內(nèi)的作動油經(jīng)由配管61、62移動到第二壓力室31b。作動油填充于第二壓力室31b后，關(guān)閉第二壓力室31b的閥。下面，說明本實施方式的振動試驗裝置1中使振動工作臺50振動的機構(gòu)。在使振動工作臺50上升時，驅(qū)動泵單元10以使作動油從第一吸排口 Ila移動到第二吸排口 lib。 于是，作動油經(jīng)由配管62供給到第二壓力室31b，活塞32被推到第一壓力室31a側(cè)，活塞桿 33和振動工作臺50上升。第一壓力室31a內(nèi)的作動油隨著活塞32的移動經(jīng)由配管61移動到泵單元10，從泵單元10經(jīng)由配管62送到第二壓力室31b。使振動工作臺50下降時，驅(qū)動泵單元10以使作動油從第二吸排口 lib往第一吸排口 Ila移動。此時，作動油經(jīng)由配管61供給到第一壓力室31a，所以活塞32被推到第二壓力室31b側(cè)，活塞桿33和振動工作臺50下降。第二壓力室31b內(nèi)的作動油隨著活塞32 的移動透過配管62往泵單元10移動，再從泵單元10透過配管61送往第一壓力室31a。
如圖1所示，在本實施方式的振動試驗裝置1的振動工作臺50安裝有加速度傳感器3。加速度傳感器3與控制器2連接，加速度傳感器3所檢測出表示加速度的信號供給到控制器2?？刂破?根據(jù)加速度傳感器3的檢測結(jié)果來計算振動工作臺50的位移、速度或加速度，根據(jù)該計算結(jié)果來設(shè)定提供給伺服放大器4的目標值，將此目標值送到伺服放大器4。伺服放大器4從電源5所供給的電力生成具有根據(jù)控制器2指定的目標值所設(shè)定的周期和振幅的交流電流，將此交流電流輸出到伺服馬達12。根據(jù)上述的處理能夠以例如規(guī)定的位移、速度或加速度振幅對振動工作臺50施加振動。此外，也可以使用位移傳感器或速度傳感器來代替加速度傳感器3。這樣，本實施方式的振動試驗裝置1構(gòu)成為，通過能夠向正反兩方向驅(qū)動的泵單元10將作動油供給到油壓缸單元30的第一壓力室31a或第二壓力室31b，由此使振動工作臺50沿上下方向移動，使固定于該振動工作臺50上的被檢體W振動。另外，本實施方式的振動試驗裝置1具備使配管61和62匯總的總管65、以及設(shè)于總管65中途的蓄壓器70。蓄壓器70是壓力容器，其內(nèi)部形成有規(guī)定壓力的氣體(干燥氮氣等)層，蓄壓器70經(jīng)由配管61和62以一定的壓力對油壓缸單元30的第一壓力室31a 或第二壓力室31b加壓。有關(guān)不具備總管65和蓄壓器70的結(jié)構(gòu)，不供給作動油的這一側(cè)的配管(振動工作臺50上升時是配管61，下降時是配管6 成為接近大氣壓程度的低壓力。因此，振動工作臺50的上升和下降剛切換后之后，使供給作動油的這一側(cè)的配管和壓力室的壓力從該低壓力上升到足以移動活塞32的高壓力(十 數(shù)十MPa)，需要數(shù)十毫秒左右的時間。此期間為振動工作臺50不移動的時間延遲。該時間延遲成為相對于振動周期來說無法忽視的大小，所以在這樣結(jié)構(gòu)的油壓系統(tǒng)，無法以數(shù)十Hz以上的高頻率對振動工作臺50施加振動。本實施方式的振動試驗裝置1中，蓄壓器70進行加壓，以使配管61、62和壓力室 31a、31b的壓力始終維持在高壓力，在該高壓力下，作動油能將足夠的驅(qū)動力傳遞給活塞 32。換言之，蓄壓器70對第一壓力室31a和第二壓力室31b提供高的反壓力，由此使壓力室31a、31b和配管61、62內(nèi)的作動始終常保持在可傳遞必要負荷的狀態(tài)。因此，幾乎不發(fā)生無蓄壓器70的結(jié)構(gòu)時的時間延遲，能以數(shù)十Hz以上的頻率對振動工作臺50施加振動。 此外，為了盡可能縮短時間延遲，將蓄壓器70的氣體層的壓力亦即蓄壓器70對作動油施加的壓力的大小設(shè)定成比活塞32的移動所需的最低壓力更大。此外，使用高壓軟管等作為總管65，該高壓軟管等能充分抵抗蓄壓器70對作動油施加的壓力。此外，泵單元10的泵主體11所使用的活塞式泵在驅(qū)動時容易發(fā)生脈動。本實施方式中，通過設(shè)于泵單元10與油壓缸單元30之間的蓄壓器70來吸收脈動。這個特征在進行圖2(a)所示的壓縮試驗時是有用的，在該壓縮試驗中，在支架52與振動工作臺50之間夾著被檢體W使振動工作臺50上升，對被檢體W施加上下方向的壓縮靜負荷。上述特征同樣地在圖2(b)所示的拉伸試驗時也是有用的，該拉伸試驗中，將安裝于振動工作臺50和支架52’的夾具53、54固定于被檢體W，使振動工作臺50下降，對被檢體W施加上下方向的拉伸靜負荷。此外，也可以進行如下振動試驗，S卩，如圖2(a)和(b)的結(jié)構(gòu)，在支架與振動工作臺之間配置被檢體W，使振動工作臺往復(fù)移動，周期性地改變對被檢體W施加的負荷。在此
8情況，也可以在支架或振動工作臺設(shè)置測力器(load cell)等負荷傳感器，控制器2根據(jù)該負荷傳感器的測量結(jié)果來控制泵單元。例如可以進行疲勞試驗，以對被檢體W施加的負荷的振幅為一定的方式，對被檢體W反復(fù)施加周期性負荷。[實施例]下面，對于使用以上說明的本實施方式的振動試驗裝置1進行振動試驗得到的結(jié)果、以及使用不具備蓄壓器的振動試驗裝置進行振動試驗得到的結(jié)果進行說明。圖3是測量到的振動工作臺的加速度和位移的曲線圖，該測量是在對本實施方式的振動試驗裝置 1 (實施例)提供頻率50Hz的正弦波的目標波形，使被檢體W振動時進行的。此外，圖4是測量到的振動工作臺的加速度和位移的曲線圖，該測量是在對不具備蓄壓器的振動試驗裝置 (比較例)提供頻率50Hz的正弦波的目標波形，使被檢體W振動時進行的。此外，實施例的振動試驗裝置與比較例的振動試驗裝置，除了蓄壓器的有無以外在結(jié)構(gòu)上并沒有差異。此外，從伺服放大器4送到伺服馬達12的交流電流的振幅和頻率在實施例與比較例之間也沒有差異。如圖3所示，實施例中，測量得到的振動工作臺的加速度和位移的波形呈現(xiàn)正弦波狀，因而得知己忠實依照50Hz的目標波形對工件W施加振動。另一方面，如圖4所示，比較例中，測量得到的振動工作臺的加速度波形和正弦波大不相同，此外，其振幅也不到實施例的十分之一。此外，比較例中，振動工作臺的位移幾乎未改變。如此，本實施方式的振動試驗裝置能以高頻率對被檢體施加振動。本發(fā)明的技術(shù)范圍不限定于上述的例示的實施方式和實施例的具體形式。上述實施方式中是使用活塞式泵作為致動器的油壓泵，但是能夠使用活塞式泵以外的各種方式的油壓泵來實施本發(fā)明。本發(fā)明的幾個實施方式中，例如使用齒輪泵或葉片泵等旋轉(zhuǎn)式泵。此外，上述例示的實施方式是一個例子，其中將在本發(fā)明具有特征結(jié)構(gòu)的將致動器搭載于振動試驗裝置，但是這種致動器可以搭載于各種油壓裝置和系統(tǒng)，該各種油壓裝置和系統(tǒng)要求高頻率反應(yīng)性或低振動和低噪音。例如可以將本發(fā)明的結(jié)構(gòu)使用于材料試驗裝置、機械臂等。符號說明
1振動試驗裝置
2控制器
3加速度傳感器
4伺服放大器
5電源
10泵單元
11泵主體
Ila第一吸排口
lib第二吸排口
12伺服馬達
20作動油槽
30油壓缸單元
31套筒
31a 第-一壓力室
31b 第:二壓力室
32活S
33活S
50振動工作臺
65總售
70蓄壓器
權(quán)利要求
1.一種油壓致動器，包括具有第一吸排口和第二吸排口的能夠反轉(zhuǎn)動作的油壓泵；具備活塞、內(nèi)部空間被該活塞劃分為第一壓力室和第二壓力室的套筒、和與該活塞連結(jié)并且前端突出到該套筒外部的活塞桿的油壓缸單元； 連接所述第一壓力室和所述第一吸排口的第一配管；和連接所述第二壓力室和所述第二吸排口的第二配管；所述油壓致動器使通過所述油壓泵反轉(zhuǎn)動作，對所述第一壓力室和第二壓力室交替施加油壓，使所述活塞上下運動，該油壓致動器的特征在于，還包括 連接所述第一配管和第二配管的總管；和設(shè)于所述總管的中途，并對所述第一壓力室和第二壓力室施加反壓力的蓄壓器。
2.如權(quán)利要求1所述的油壓致動器，其特征在于所述蓄壓器對所述第一壓力室和第二壓力室施加的反壓力的大小設(shè)定為比所述油壓缸單元的缸驅(qū)動所需的最低壓力更大。
3.如權(quán)利要求1或2所述的油壓致動器，其特征在于 所述油壓泵是活塞式泵。
4.如權(quán)利要求1至3中任一項所述的油壓致動器，其特征在于 還具備驅(qū)動所述油壓泵的伺服馬達。
5.如權(quán)利要求1至4中任一項所述的油壓致動器，其特征在于還具備設(shè)于油壓致動器的可動部的傳感器、和控制所述伺服馬達的控制器， 所述控制器根據(jù)所述傳感器的檢測結(jié)果控制所述伺服馬達。
6.如權(quán)利要求5所述的油壓致動器，其特征在于所述傳感器包括位移傳感器、速度傳感器、加速度傳感器和負荷傳感器中的任一個， 所述控制器根據(jù)所述傳感器的檢測結(jié)果控制所述伺服馬達，以按照規(guī)定的位移、速度或加速度的波形驅(qū)動所述活塞。
7.如權(quán)利要求5所述的油壓致動器，其特征在于 所述傳感器包括負荷傳感器，所述控制器根據(jù)所述傳感器的檢測結(jié)果控制所述伺服馬達，以使由所述負荷傳感器檢測的負荷按照規(guī)定的波形改變。
8.一種振動試驗裝置，其特征在于，包括 權(quán)利要求1所述的油壓致動器；和設(shè)于所述活塞桿的前端的振動工作臺。
9.如權(quán)利要求8所述的振動試驗裝置，其特征在于所述蓄壓器對所述第一壓力室和第二壓力室施加的反壓力的大小設(shè)定為比所述油壓缸單元的缸驅(qū)動所需的最低壓力更大。
10.如權(quán)利要求8或9所述的振動試驗裝置，其特征在于 所述油壓泵是活塞式泵。
11.如權(quán)利要求8至10中任一項所述的振動試驗裝置，其特征在于 還具備驅(qū)動所述油壓泵的伺服馬達。
12.如權(quán)利要求11所述的振動試驗裝置，其特征在于還具備設(shè)于所述振動工作臺的傳感器、和控制所述伺服馬達的控制器， 所述控制器根據(jù)所述傳感器的檢測結(jié)果控制所述伺服馬達。
13.如權(quán)利要求11或12所述的振動試驗裝置，其特征在于 所述傳感器包括測量振動工作臺的位移、速度或加速度的傳感器，所述控制器根據(jù)所述傳感器的檢測結(jié)果控制所述伺服馬達，以按照位移、速度或加速度的規(guī)定波形驅(qū)動所述振動工作臺。
14.如權(quán)利要求11至13中任一項所述的振動試驗裝置，其特征在于 所述傳感器包括測量施加于被檢體的負荷的負荷傳感器，所述控制器根據(jù)所述傳感器的檢測結(jié)果控制所述伺服馬達，以按照規(guī)定的波形對所述被檢體施加負荷。
全文摘要
本發(fā)明提供一種具備油壓泵和油壓缸單元的油壓致動器。油壓泵具有第一吸排口和第二吸排口，能進行反轉(zhuǎn)動作。油壓缸單元具備活塞、內(nèi)部空間被活塞劃分為第一壓力室和第二壓力室的套筒、以及與活塞連結(jié)并且前端突出到該套筒外部的活塞桿。此外，油壓致動器具備連接第一壓力室與第一吸排口的第一配管、以及連接第二壓力室與第二吸排口的第二配管，油壓泵進行反轉(zhuǎn)動作，由此對第一和第二壓力室交替地施加油壓，使活塞上下運動。油壓致動器還具備連接第一和第二配管的總管、以及設(shè)于總管的中途的對第一和第二壓力室施加規(guī)定壓力的蓄壓器。此外，依據(jù)本發(fā)明的實施方式也提供一種具備該油壓致動器的振動試驗裝置。
文檔編號G01M7/02GK102216750SQ200980146327
公開日2011年10月12日 申請日期2009年7月31日 優(yōu)先權(quán)日2008年11月21日
發(fā)明者宮下博至, 村內(nèi)一宏, 松本繁, 角田光央 申請人:國際計測器株式會社