專利名稱：帶有帽的介質(zhì)隔離的差動(dòng)壓力傳感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
實(shí)施例大致涉及壓力傳感器。更具體地，實(shí)施例涉及差動(dòng)壓力傳感器，其具有帽以 從聯(lián)結(jié)墊密封介質(zhì)。實(shí)施例還涉及用于測(cè)量流體介質(zhì)等的差動(dòng)壓力的差動(dòng)壓力傳感器。
背景技術(shù)：
許多工藝和設(shè)備可用于壓力感測(cè)應(yīng)用。壓力傳感器或壓力換能器可用在廣泛的感 測(cè)應(yīng)用中。在許多情況下，需要測(cè)量如水、燃料、油、酸、堿、溶劑和腐蝕性氣體這樣的流體介 質(zhì)的壓力。這些流體介質(zhì)還可包括但不限于空氣、氮?dú)?、工業(yè)工藝氣體、水、汽車流體、氣動(dòng) 流體、冷卻劑和工業(yè)化學(xué)制劑。對(duì)于這種應(yīng)用，差動(dòng)壓力傳感器可用于準(zhǔn)確感測(cè)流體介質(zhì)的 壓力。這種差動(dòng)壓力傳感器可采用公知的半導(dǎo)體技術(shù)制成。最常見的差動(dòng)壓力傳感器可為 固態(tài)硅壓力傳感器，其包括響應(yīng)于所施加的壓力而受到應(yīng)力的薄硅隔膜。該應(yīng)力可由硅隔 膜中形成的壓阻元件測(cè)量?？捎?jì)算所測(cè)量的應(yīng)力以測(cè)量流體介質(zhì)的壓力。另外，差動(dòng)壓力傳感器可包含硅壓力傳感器管芯(die)以體現(xiàn)高度的準(zhǔn)確性。差 動(dòng)壓力傳感器還可包括兩個(gè)壓力端口以感測(cè)兩個(gè)端口之間的壓力差以便計(jì)算介質(zhì)壓力。這 種差動(dòng)壓力傳感器通常要求在隔膜的頂側(cè)和底側(cè)上都有流體介質(zhì)，其方式為使得差動(dòng)壓力 傳感器的隔膜可與可能是腐蝕性或有害的介質(zhì)接觸。這種腐蝕性或有害的介質(zhì)會(huì)損壞壓力 傳感器的其它部件，尤其是為將差動(dòng)壓力傳感器線聯(lián)結(jié)到封裝而暴露的聯(lián)結(jié)墊。在許多應(yīng)用中，介質(zhì)會(huì)產(chǎn)生對(duì)于暴露的聯(lián)結(jié)墊而言惡劣的環(huán)境，這會(huì)導(dǎo)致長(zhǎng)期可 靠性失效。因此，差動(dòng)壓力傳感器應(yīng)優(yōu)選地以這種方式構(gòu)造它對(duì)介質(zhì)具有抗性或者與介質(zhì) 物理隔離，以便測(cè)量介質(zhì)壓力。因此，差動(dòng)壓力傳感器要么沒有為了介質(zhì)兼容性而得到充分 地保護(hù)，要么采用額外的硬件而對(duì)于許多應(yīng)用來說成本高得驚人。因此，為了工作可靠，需 要將會(huì)被介質(zhì)暴露損壞的區(qū)域(例如聯(lián)結(jié)墊和線聯(lián)結(jié))隔離以免與介質(zhì)直接接觸。在差動(dòng)壓力傳感器的一些隔離布置中，環(huán)境敏感的硅壓力管芯可被夾在包含在外 殼內(nèi)的彈性介質(zhì)密封和導(dǎo)電彈性墊之間。壓力傳感器可采用預(yù)模制彈性密封以將壓力管芯 與相對(duì)惡劣、潮濕的壓力感測(cè)環(huán)境分離。這種壓力傳感器可獲得真實(shí)的傳感器差動(dòng)操作和 介質(zhì)的準(zhǔn)確壓力，但是可增加傳感器的生產(chǎn)成本。在大部分現(xiàn)有技術(shù)中，差動(dòng)壓力傳感器可提供預(yù)先的介質(zhì)隔離布置，但在構(gòu)造隔 離部時(shí)需要額外的成本。這樣，會(huì)提高壓力傳感器的制造費(fèi)用，并會(huì)減少壓力傳感器的準(zhǔn)確 性。高度期望提供一種介質(zhì)兼容的差動(dòng)壓力傳感器，其可相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)表現(xiàn)出可靠性和 性能的實(shí)質(zhì)性優(yōu)勢(shì)，而不增加生產(chǎn)成本。因此需要一種改進(jìn)的具有高可靠性的差動(dòng)壓力傳感器，該差動(dòng)壓力傳感器可提供 比現(xiàn)在采用的壓力傳感器最終更高效、更堅(jiān)固的介質(zhì)隔離的電連接。這種差動(dòng)壓力傳感器 在下面更詳細(xì)地說明。

發(fā)明內(nèi)容
提供以下發(fā)明內(nèi)容以幫助理解所公開實(shí)施例獨(dú)有的一些創(chuàng)新特征，而不意味著完整說明。可將整個(gè)說明書、權(quán)利要求書、附圖和摘要作為一個(gè)整體獲得實(shí)施例各個(gè)方面的全
面理解。因此，本發(fā)明的一個(gè)方面是提供一種帶有帽的改進(jìn)的差動(dòng)壓力傳感器，其可克服 前述缺點(diǎn)。本發(fā)明的另一方面是提供一種帶有介質(zhì)隔離電連接的改進(jìn)的差動(dòng)壓力傳感器?，F(xiàn)在可如這里所述實(shí)現(xiàn)前述方面以及其它目標(biāo)和優(yōu)點(diǎn)。一種差動(dòng)壓力傳感器包括 兩個(gè)壓力端口以允許介質(zhì)經(jīng)過其內(nèi)形成的腔。硅壓力傳感器管芯可用管芯附接材料附接于 所述壓力端口之一，以感測(cè)介質(zhì)之間的差動(dòng)壓力而評(píng)估介質(zhì)壓力。有開口的帽可放置在硅 壓力管芯內(nèi)形成的隔膜的頂側(cè)上。硅壓力管芯可包括可電連接到隔膜以輸出電信號(hào)的管芯 聯(lián)結(jié)墊。所述帽可將所述管芯聯(lián)結(jié)墊從惡劣的介質(zhì)隔離并使電信號(hào)在帽下面經(jīng)過。介質(zhì)因 此可經(jīng)過端口和帽內(nèi)的開口內(nèi)，使得管芯聯(lián)結(jié)墊不暴露于硅壓力管芯的介質(zhì)路徑，從而提 供長(zhǎng)期的傳感器可靠性。根據(jù)本發(fā)明的另一特征，帽可用本領(lǐng)域技術(shù)人員已知的方法聯(lián)結(jié)在硅壓力管芯的 隔膜上。隔膜可由薄的硅制成?？蓪⒐苄靖浇硬牧鲜┘釉趬毫Χ丝谏?，使得壓力端口分別 被附接到帽和硅壓力管芯。另外，硅壓力管芯聯(lián)結(jié)墊可由硅帽與介質(zhì)隔離。隔膜可根據(jù)由 介質(zhì)施加的壓力而變形。該變形可由摻雜(或涂布)在隔膜表面上的壓阻元件測(cè)量。該壓阻 元件可用公知的壓阻原理將隔膜的變形轉(zhuǎn)換成電信號(hào)，以便計(jì)算介質(zhì)內(nèi)的壓力。差動(dòng)壓力傳感器可用在廣泛的感測(cè)領(lǐng)域以評(píng)估介質(zhì)(包括但不限于水、燃料、油、 酸、堿、溶劑和腐蝕性氣體)中的壓力。本發(fā)明可采用帽來密封介質(zhì)，使得防止介質(zhì)進(jìn)入聯(lián)結(jié) 墊內(nèi)。這樣，可減少由介質(zhì)產(chǎn)生的對(duì)于暴露的聯(lián)結(jié)墊的惡劣環(huán)境。因此，這種差動(dòng)壓力傳感 器可實(shí)現(xiàn)對(duì)介質(zhì)差動(dòng)壓力的高度準(zhǔn)確和可靠的檢測(cè)，并且具有高測(cè)量范圍而不增加制造成 本。


以下附圖中，相似的附圖標(biāo)記指的是在所有獨(dú)立的視圖中相同或功能類似的元 件，并且附圖被合并在說明書中形成說明書的一部分，進(jìn)一步示出實(shí)施例，并與具體實(shí)施方 式一起起到解釋這里所公開的實(shí)施例的作用。這里所述例子是采用聯(lián)結(jié)到硅壓力傳感器晶 片的硅帽晶片熔塊(或玻料，frit)。其它實(shí)施例可采用陽(yáng)極聯(lián)結(jié)到硅壓力傳感器晶片的玻 璃帽晶片。也可采用本領(lǐng)域技術(shù)人員已知的其它帽晶片材料或聯(lián)結(jié)方法。圖1示出差動(dòng)壓力傳感器的裝配視圖，其可適用于實(shí)施優(yōu)選的實(shí)施例。圖2示出如圖1所示的差動(dòng)壓力傳感器的分解視圖，其可根據(jù)優(yōu)選的實(shí)施例來實(shí) 施。圖3示出如圖1所示的差動(dòng)壓力傳感器的剖視圖，其可根據(jù)優(yōu)選的實(shí)施例來實(shí)施。圖4示出另一類型的差動(dòng)壓力傳感器的裝配視圖，其可根據(jù)備選的實(shí)施例來實(shí) 施。圖5示出如圖4所示的差動(dòng)壓力傳感器的分解視圖，其可根據(jù)備選的實(shí)施例來實(shí) 施。圖6示出如圖4所示的差動(dòng)壓力傳感器的剖視圖，其可根據(jù)備選的實(shí)施例來實(shí)施。
具體實(shí)施例方式在這些非限制性例子中討論的具體值和構(gòu)造可被改變，并僅是為了解釋至少一個(gè) 實(shí)施例而引用，并不意味著限制其范圍。這里所述例子是采用聯(lián)結(jié)到硅壓力傳感器晶片的 硅帽晶片熔塊。另一實(shí)施例可采用陽(yáng)極聯(lián)結(jié)到硅壓力傳感器晶片的玻璃帽晶片。也可采用 本領(lǐng)域技術(shù)人員已知的其他帽晶片材料或聯(lián)結(jié)方法。注意在圖1-6中，同樣或相似的部件或元件通常由同樣的附圖標(biāo)記指代。參照?qǐng)D 1，示出適于在實(shí)施優(yōu)選實(shí)施例時(shí)使用的差動(dòng)壓力傳感器100的裝配視圖。差動(dòng)壓力傳感器 100包括可用于允許介質(zhì)從其經(jīng)過的兩個(gè)壓力端口 Iio和120。兩個(gè)壓力端口 110和120 可采用金屬、熱塑性材料或其它材料制成。兩個(gè)壓力端口 110和120也可包括注模塑料部 分。壓力端口 110可用管芯附接材料130粘性連接到硅帽140。帽140保持加壓介質(zhì)離開 聯(lián)結(jié)墊160。在差動(dòng)壓力傳感器100中，壓力端口 110和120中的一個(gè)可附接在硅帽140的 側(cè)面上，使得兩個(gè)壓力端口 110和120可大致成90度角。管芯附接材料130可為粘性的和 /或由硅酮制成。管芯附接材料130可用于隔離差動(dòng)壓力傳感器100中的應(yīng)力并用于將壓 力端口 110和120附接于硅帽140和硅壓力管芯150。每個(gè)壓力端口 110和120可攜帶不同壓力下的介質(zhì)。每個(gè)壓力端口 110和120中 壓力之間的差可通過用硅壓力管芯接觸該介質(zhì)而測(cè)量，從而以差動(dòng)壓力傳感器100可提供 介質(zhì)中的差動(dòng)壓力這樣的方式來計(jì)算介質(zhì)中的壓力。介質(zhì)可包括但不限于水、燃料、油、酸、 堿、溶劑和腐蝕性氣體。參照?qǐng)D2，示出如圖1中所示的差動(dòng)壓力傳感器200的分解視圖。差動(dòng)壓力傳感器 200的兩個(gè)壓力端口 110和120可用管芯附接材料130和220分別密封地聯(lián)結(jié)到硅帽140 和硅壓力管芯150。硅帽140可包括在側(cè)面上的開口或孔230，其方式為使得通過硅帽140 的開口 230施加來自壓力端口 110的介質(zhì)。硅帽140可用熔接玻璃(frit glass) 210在 25°C到550°C之間的溫度范圍下聯(lián)結(jié)到硅壓力管芯150的上表面。在硅壓力管芯150的底 表面中，壓力端口 120可被牢固地附接。熔接玻璃210可在硅帽140與硅壓力管芯150之間形成玻璃熔塊聯(lián)結(jié)。玻璃熔塊 聯(lián)結(jié)可使由陽(yáng)極聯(lián)結(jié)玻璃產(chǎn)生的熱失配最小化。這種玻璃熔塊聯(lián)結(jié)材料對(duì)于高性能設(shè)備， 尤其是差動(dòng)壓力傳感器200來說是高度期望的。取決于具體應(yīng)用，聯(lián)結(jié)方法的質(zhì)量可通過 例如聯(lián)結(jié)精度、機(jī)械強(qiáng)度、光學(xué)性質(zhì)和熱性質(zhì)這樣的標(biāo)準(zhǔn)來判斷。玻璃熔塊聯(lián)結(jié)可在比差動(dòng) 壓力傳感器200的工作溫度高得多的溫度下進(jìn)行，這生成高溫適應(yīng)的界面。如此，差動(dòng)壓力 傳感器200可提高感測(cè)輸出信號(hào)的準(zhǔn)確性。硅壓力管芯150可設(shè)置成矩形管芯的形式，其內(nèi)有開口 ；但是，可理解并不要求具 體的幾何形狀。硅壓力管芯150可通過其上、下表面從各自壓力端口 110和120接收不同的 介質(zhì)。硅壓力管芯150可起到通過測(cè)量來自壓力端口 110與120的不同介質(zhì)之間的差動(dòng)壓 力來計(jì)算介質(zhì)壓力的作用。硅壓力管芯150可由硅帽140保護(hù)以避免介質(zhì)進(jìn)入聯(lián)結(jié)墊160 及硅壓力管芯150的電連接內(nèi)。參照?qǐng)D3，示出如圖1中所示的差動(dòng)壓力傳感器300的剖視圖。在這種差動(dòng)壓力傳 感器300中，硅壓力管芯150可包括隔膜310和其內(nèi)的多個(gè)聯(lián)結(jié)墊160。隔膜310可用于感 測(cè)由介質(zhì)所施加的壓力。隔膜310可具有小于大約0.05 mm的相對(duì)薄的厚度并通常是硅隔 膜。隔膜310可由許多薄材料制成以便測(cè)量介質(zhì)中非常微小的壓力。線或管芯聯(lián)結(jié)墊160可形成在管芯150的頂側(cè)上。聯(lián)結(jié)墊160可根據(jù)半導(dǎo)體處理方法和技術(shù)放置在管芯150上。聯(lián)結(jié)墊160應(yīng)形成 有預(yù)定的長(zhǎng)度以導(dǎo)電。隔膜310可包括有壓阻元件(未示出)，該壓阻元件可對(duì)于施加在隔 膜上的介質(zhì)壓力或應(yīng)力起反應(yīng)。壓阻元件可用公知的壓阻原理將所施加的壓力轉(zhuǎn)換成電信 號(hào)。聯(lián)結(jié)墊160可集成在這種壓阻元件上。聯(lián)結(jié)墊160可為隔膜提供外部電連接。這種聯(lián) 結(jié)墊160可由鋁、金或本領(lǐng)域技術(shù)人員已知的其它材料制成。每個(gè)壓力端口 110和120可包括有金屬或塑料零件330和腔340。腔340可形成 在壓力端口 110和120內(nèi)，并可被內(nèi)部金屬或塑料零件330圍繞。腔340可形成為通過壓 力端口 110和120的金屬或塑料零件330的通路。要被測(cè)量的介質(zhì)可經(jīng)過壓力端口 110和 120的腔340。另外，具有隔膜310和多個(gè)聯(lián)結(jié)墊160的硅壓力管芯150可被硅帽140覆蓋 或罩住。硅帽140可將介質(zhì)與聯(lián)結(jié)墊160密封以避免為暴露的聯(lián)結(jié)墊160造成惡劣的環(huán)境。 這樣，差動(dòng)壓力傳感器300可在介質(zhì)壓力感測(cè)時(shí)產(chǎn)生長(zhǎng)期的可靠性和準(zhǔn)確性。參照?qǐng)D4，示出可根據(jù)備選實(shí)施例實(shí)施的另一構(gòu)造的差動(dòng)壓力傳感器400的裝配 視圖。在這種類型的差動(dòng)壓力傳感器400中，兩個(gè)壓力端口 110和120可以豎向方式放置， 即，壓力端口 110可放置在硅帽140的頂側(cè)上。壓力端口 110和120可為空心管道以提供 介質(zhì)通過壓力端口 110和120中的腔340的自由流動(dòng)。硅帽140和硅壓力傳感器管芯150 可按照邊緣對(duì)準(zhǔn)的方式附接于壓力端口 110和120。參照?qǐng)D5，示出圖4中所示差動(dòng)壓力傳感器500的分解視圖。在差動(dòng)壓力傳感器 500中，硅帽140可在其中央位置設(shè)置有孔或開口 230。由于兩個(gè)壓力端口可以豎向方式對(duì) 準(zhǔn)，介質(zhì)可沿直線經(jīng)過差動(dòng)壓力傳感器500。硅帽140和硅壓力傳感器管芯150可更優(yōu)選地 被設(shè)計(jì)成矩形。硅帽140和硅壓力管芯150可與各自的壓力端口 110和120在相應(yīng)的管芯 附接材料130和220的幫助下粘性聯(lián)結(jié)?？梢赃m當(dāng)?shù)姆绞竭x擇管芯附接材料130和220，使 其應(yīng)當(dāng)不影響硅帽140和硅壓力管芯150的特性。參照?qǐng)D6，示出如圖4中所示的差動(dòng)壓力傳感器600的剖視圖。隔膜310可用公知 的半導(dǎo)體制造技術(shù)放置在硅帽140的底側(cè)上并形成在硅壓力管芯150的上表面上。惡劣介 質(zhì)的壓力可施加在隔膜310的頂側(cè)和底側(cè)上。隔膜310可進(jìn)一步包括預(yù)定的隔膜厚度和長(zhǎng) 度。硅壓力管芯150的尺寸可通過減少隔膜長(zhǎng)度和線路面積而最小化。硅壓力管芯150還可包括形成在其頂表面上的聯(lián)結(jié)墊160。聯(lián)結(jié)墊160可在硅壓 力管芯150的頂側(cè)上的金屬澆道(runner)(未示出)的幫助下電連接到隔膜310中形成的 壓阻元件(未示出)。薄熔接玻璃210可在硅壓力管芯150中在隔膜310上提供密封腔。硅壓力管芯150可模制在硅晶片(未示出)上?？赏ㄟ^用硅帽140罩住隔膜310的 頂側(cè)而封裝聯(lián)結(jié)墊160。管芯聯(lián)結(jié)墊160的電信號(hào)可在硅帽140下經(jīng)過。硅帽140可將聯(lián) 結(jié)墊160與惡劣介質(zhì)完全密封從而提供介質(zhì)隔離的電連接。這樣，差動(dòng)壓力傳感器600可 提供高度可靠的感測(cè)輸出。差動(dòng)壓力傳感器600可將介質(zhì)施加在隔膜310的頂側(cè)和底側(cè)上，用于測(cè)量、記錄和 分析。用于從差動(dòng)壓力傳感器600獲得測(cè)量結(jié)果以進(jìn)一步分析和記錄的電子系統(tǒng)對(duì)于本領(lǐng) 域技術(shù)人員來說是公知的。這種差動(dòng)壓力傳感器100、200、300、400、500或600可采用硅帽 140來使得傳感器壓力管芯150的頂側(cè)，尤其是聯(lián)結(jié)墊160，免于接觸(或暴露于)惡劣或腐 蝕性介質(zhì)，這會(huì)提供更強(qiáng)壯和可靠的感測(cè)輸出。
差動(dòng)壓力傳感器可用半導(dǎo)體技術(shù)來設(shè)計(jì)。應(yīng)理解以上公開的各種變化和其它特征和功能，或其備選方案可按需要組合到許 多其它不同系統(tǒng)或應(yīng)用中。另外，現(xiàn)在無法或不曾預(yù)料的備選方案、其中的修改、變化或改 進(jìn)也可由本領(lǐng)域技術(shù)人員隨后實(shí)施，這些也被認(rèn)為包含在所附權(quán)利要求中。
權(quán)利要求
1.一種差動(dòng)壓力傳感器，包括隔膜，其具有第一側(cè)和第二側(cè)并包括形成在所述第一側(cè)上的多個(gè)管芯聯(lián)結(jié)墊和硅壓力 傳感器管芯；帽，其包括頂部，并適于覆蓋所述硅壓力傳感器并將所述硅壓力傳感器與所述管芯聯(lián) 結(jié)墊隔離，所述帽具有形成所述頂部的開口，其中，所述帽密封所述硅壓力傳感器和測(cè)量介 質(zhì)并將所述聯(lián)結(jié)墊與所述測(cè)量介質(zhì)隔離；以及源自所述帽的第一端口和源自所述隔膜的第二側(cè)的第二端口，其中，所述第一端口和 第二端口適于允許介質(zhì)接觸所述隔膜的所述第一側(cè)和所述第二側(cè)。
2.如權(quán)利要求1所述的差動(dòng)壓力傳感器，進(jìn)一步包括摻雜在所述隔膜的至少一側(cè)上的 壓阻元件。
3.如權(quán)利要求1所述的差動(dòng)壓力傳感器，其中，所述帽在所述硅壓力傳感器管芯上面 被聯(lián)結(jié)到所述隔膜的第一側(cè)。
4.如權(quán)利要求1所述的差動(dòng)壓力傳感器，其中，管芯附接材料分別將所述第一端口和 第二端口附接到所述帽和所述隔膜的第二側(cè)。
5.如權(quán)利要求1所述的差動(dòng)壓力傳感器，其中，介質(zhì)經(jīng)過所述第一端口通過所述帽內(nèi) 的開口，使得所述管芯聯(lián)結(jié)墊不暴露到由此形成的介質(zhì)路徑。
6.如權(quán)利要求1所述的差動(dòng)壓力傳感器，其中，所述隔膜適于根據(jù)由所述介質(zhì)施加的 壓力而發(fā)生變形。
7.一種差動(dòng)壓力傳感器，包括隔膜，其具有第一側(cè)和第二側(cè)并包括形成在所述第一側(cè)上的多個(gè)管芯聯(lián)結(jié)墊和硅壓力 傳感器管芯，所述硅壓力傳感器管芯包括摻雜在其上的壓阻元件；帽，其包括頂部，并適于覆蓋所述硅壓力傳感器并將所述硅壓力傳感器與所述管芯聯(lián) 結(jié)墊隔離，所述帽在所述硅壓力傳感器管芯上面被聯(lián)結(jié)到所述隔膜的第一側(cè)并具有形成所 述頂部的開口，其中，所述帽密封所述硅壓力傳感器和測(cè)量介質(zhì)并將所述聯(lián)結(jié)墊與所述測(cè) 量介質(zhì)隔離；以及源自所述帽的第一端口和源自所述隔膜的第二側(cè)的第二端口，其中，所述第一端口和 第二端口適于允許介質(zhì)接觸所述隔膜的所述第一側(cè)和所述第二側(cè)。
8.如權(quán)利要求7所述的差動(dòng)壓力傳感器，其中，所述帽在所述硅壓力傳感器管芯上面 被聯(lián)結(jié)到所述隔膜的第一側(cè)。
9.如權(quán)利要求7所述的差動(dòng)壓力傳感器，其中，管芯附接材料用于將所述第一端口附 接到所述帽以及將所述第二端口附接到所述隔膜的第二側(cè)。
10.一種差動(dòng)壓力傳感器，包括隔膜，其具有第一側(cè)和第二側(cè)并包括壓力傳感器管芯且適于將差動(dòng)壓力轉(zhuǎn)換成所述電 信號(hào)，以及形成在所述隔膜的第一側(cè)上的多個(gè)管芯聯(lián)結(jié)墊；帽，其包括頂部，并適于覆蓋所述壓力傳感器并將所述壓力傳感器與所述管芯聯(lián)結(jié)墊 隔離，所述管芯聯(lián)結(jié)墊可電連接以從所述差動(dòng)壓力傳感器提供輸出電信號(hào)，所述帽在所述 壓力傳感器管芯上面被聯(lián)結(jié)到所述隔膜的第一側(cè)并具有形成所述頂部的開口 ；以及源自所述帽的第一端口和源自所述隔膜的第二側(cè)的第二端口，其中，所述第一端口和 第二端口適于允許介質(zhì)接觸所述隔膜的所述第一側(cè)和所述第二側(cè)；其中，介質(zhì)經(jīng)過所述第一端口通過所述帽內(nèi)的開口，使得所述管芯聯(lián)結(jié)墊不暴露到由 此形成的介質(zhì)路徑，并且其中，所述帽密封所述壓力傳感器和測(cè)量介質(zhì)并將所述聯(lián)結(jié)墊與 所述測(cè)量介質(zhì)隔離，并且所述隔膜適于根據(jù)由所述介質(zhì)施加的壓力而發(fā)生變形。
全文摘要
一種差動(dòng)壓力傳感器包括兩個(gè)壓力端口以允許介質(zhì)經(jīng)過而與隔膜的頂側(cè)和底側(cè)接觸。硅壓力傳感器管芯可用管芯附接材料附接在所述壓力端口之間以感測(cè)介質(zhì)之間的差動(dòng)壓力而評(píng)估介質(zhì)差動(dòng)壓力。有開口的帽可放置在硅壓力管芯內(nèi)形成的隔膜的頂側(cè)上。硅壓力管芯可包括可電連接到隔膜以輸出電信號(hào)的管芯聯(lián)結(jié)墊。所述帽可將所述管芯聯(lián)結(jié)墊從惡劣介質(zhì)密封并使電信號(hào)經(jīng)過其內(nèi)。介質(zhì)可經(jīng)過帽內(nèi)的開口，使得到隔膜頂部的介質(zhì)路徑不暴露于硅壓力管芯的管芯聯(lián)結(jié)墊以確保長(zhǎng)期的傳感器可靠性。
文檔編號(hào)G01L13/02GK102105769SQ200980128589
公開日2011年6月22日 申請(qǐng)日期2009年5月20日 優(yōu)先權(quán)日2008年5月23日
發(fā)明者C·斯圖爾特, G·莫拉萊斯, R·A·戴維斯 申請(qǐng)人:霍尼韋爾國(guó)際公司