專利名稱：樣品臺的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及半導(dǎo)體行業(yè)的測試分析技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種用于俄歇電子能
譜儀的樣品臺。
背景技術(shù)：
俄歇電子能譜儀是通過高能量的電子束(或X射線)照射固體樣品表面，與樣品的原子發(fā)生碰撞，使樣品內(nèi)的原子內(nèi)殼層電子因電離激發(fā)而留下一個空位，這時較外層電子向這一能級躍遷使原子釋放能量，在這個過程中可以發(fā)射有特征能量的X射線或者也可以將這部分能量交給另外一個外層電子，引起進(jìn)一步電離，從而發(fā)射出具有特征能量的俄歇電子，通過檢測俄歇電子的能量與強度可以獲得有關(guān)表面層化學(xué)成分定性或定量信息。[0003] 俄歇電子能譜儀是常用的一種表面分析類儀器，廣泛地運用于失效分析，由于其束斑小，表面靈敏度高，在表面分析領(lǐng)域具有無法替代的地位。俄歇電子能譜儀主要通過檢測樣品表面5-70A深度范圍內(nèi)的俄歇電子來獲得樣品表面成分信息。 俄歇電子能譜儀的組成部分包括電子光學(xué)系統(tǒng)、電子能量分析器、樣品安放系統(tǒng)、離子槍和超高真空系統(tǒng)。為了獲得盡可能較為準(zhǔn)確的俄歇電子信息，分析人員都期望能獲得信噪比較高，沒有由噪聲或者荷電效應(yīng)所造成干擾的俄歇電子圖譜。但是在實際的分析過程中，由于能量分析種類和構(gòu)造的限制，必須輔助于其他一些手段才能達(dá)到此目的。對于采用半球形能量分析器的俄歇電子能譜儀來說(例如VG Microlab350俄歇電子能譜儀)，由于其樣品臺安裝位置的限制，要想獲得較好的俄歇電子圖譜，必須將樣品臺傾斜一定的角度以使得俄歇電子垂直進(jìn)入能量分析器，從而有效的提高俄歇電子的穿透率，獲得更好的信噪比。 請參考圖1A至圖1B，其中圖1A為樣品臺水平放置，即傾斜O(jiān)度的樣品表面所探測到的俄歇電子強度與俄歇電子動能的關(guān)系圖，圖1B為樣品臺傾斜60度的樣品表面所探測到的俄歇電子強度與俄歇電子動能的關(guān)系圖。由圖中可以看出，相比于水平放置的樣品，傾斜至60度的樣品表面所探測到的俄歇電子信號大為增強，并且當(dāng)樣品水平放置時，荷電效應(yīng)所造成的譜峰(特別是低能量峰)的扭曲或者位移(圖1A中用圓圈標(biāo)識的部分)會干擾譜圖的正常收集和解讀，而當(dāng)樣品傾斜一定角度后，荷電效應(yīng)消失，此時我們得到的譜圖就是完全真實可信的。因此傾斜60度角可以很大程度地提高俄歇電子能譜儀的分析效果。[0006] 為了解決這個問題，目前通常是對樣品臺進(jìn)行手動制動來達(dá)到傾斜的效果。請參考圖2，圖2是現(xiàn)有樣品臺的立體圖，樣品水平放置在樣品臺載物臺11上，再用中間空、邊緣只有2mm厚度的環(huán)狀螺帽壓住樣品的邊緣，確保樣品不能移動。這樣放置在樣品臺載物臺11上的樣品的初始狀態(tài)是水平的，必須傾斜60度才能使俄歇電子垂直進(jìn)入能量分析器。但是由于目前對樣品臺進(jìn)行傾斜都是通過手動制動的，例如通過樣品室內(nèi)的齒輪聯(lián)動調(diào)整樣品臺來實現(xiàn)的，因而難免會使操作程序復(fù)雜，且重復(fù)性不能得到保證。
實用新型內(nèi)容本實用新型提供一種樣品臺，以解決在進(jìn)行俄歇電子能譜儀分析時，樣品臺的傾斜必須靠手動制動，導(dǎo)致操作程序復(fù)雜、重復(fù)性不能得到保證的問題。 為解決上述問題，本實用新型提出一種樣品臺，所述樣品臺包括底座以及設(shè)置于
所述底座上的載物臺，其中，所述載物臺的載物面與水平面具有一夾角。 可選的，所述載物臺的載物面與水平面的夾角范圍為45 60度。 可選的，所述載物臺的載物面具有刻度線，所述刻度線由水平線和豎直線組成。 可選的，所述載物臺的載物面的形狀為矩形或圓形。 可選的，所述載物臺通過銅膠使樣品固定在其載物面上。 可選的，所述載物臺通過螺帽使樣品固定在其載物面上。 可選的，所述樣品臺的材質(zhì)為非磁性材料，其中，所述樣品臺的材質(zhì)為非磁性的金屬。[0015] 與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型所提供的樣品臺包括底座以及設(shè)置于所述底座上的載物臺，所述載物臺的載物面與水平面具有一個夾角，待分析的樣品可以放置在所述載物面上，使得進(jìn)行俄歇電子能譜儀分析時俄歇電子可直接垂直進(jìn)入能量分析器，簡化了操作程序，節(jié)約了工作時間，提高了工作效率，同時能夠保證樣品分析角度的一致性，提高了重復(fù)性。

圖1A為樣品臺傾斜0度的樣品表面所探測到的俄歇電子強度與俄歇電子動能的關(guān)系圖； 圖1B為樣品臺傾斜60度的樣品表面所探測到的俄歇電子強度與俄歇電子動能的
關(guān)系圖；[0018][0019][0020][0021][0022]
圖2為現(xiàn)有的樣品臺的立體圖3A為本實用新型第一個實施例的立體圖圖3B為本實用新型第一個實施例的右視圖圖4A為本實用新型第二個實施例的立體圖圖4B為本實用新型第二個實施例的右視圖。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖和具體實施例對本實用新型提出的樣品臺作進(jìn)一步詳細(xì)說明。根據(jù)下面說明和權(quán)利要求書，本實用新型的優(yōu)點和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比率，僅用以方便、明晰地輔助說明本實用新型實施例的目的。 本實用新型的核心思想在于，提供一種樣品臺，以使進(jìn)行俄歇電子能譜儀分析時，俄歇電子可直接垂直進(jìn)入能量分析器，簡化了操作程序，節(jié)約了工作時間，提高了工作效率，同時能夠保證樣品分析角度的一致性，提高了重復(fù)性。 請參考圖3A和圖3B，其中，圖3A為本實用新型第一個實施例所提供的樣品臺的立體圖，圖3B為本實用新型第一個實施例所提供的樣品臺的右視圖，如圖3A至圖3B所示，該樣品臺包括底座100以及設(shè)置于所述底座100上的載物臺IIO，所述載物臺110的載物面的形狀為矩形，其載物面與水平面的夾角為60度，并且所述載物面具有由水平線和豎直線所
組成的刻度線。待分析的樣品可依據(jù)載物臺iio載物面的刻度線通過銅膠粘在載物面的合
適區(qū)域，所述放在載物面上的樣品在進(jìn)行俄歇電子能譜儀分析時，可以使俄歇電子直接垂直進(jìn)入能量分析器，可簡化操作程序，節(jié)約工作時間，提高工作效率，同時能夠保證樣品分析角度的一致性，提高重復(fù)性。 請繼續(xù)參考圖4A和圖4B，其中，圖4A為本實用新型第二個實施例所提供的樣品臺的立體圖，圖4B為本實用新型第二個實施例所提供的樣品臺的右視圖，如圖4A至圖4B所示，該樣品臺包括底座200以及設(shè)置于所述底座200上的載物臺210，所述載物臺210的載物面的形狀為圓形，其載物面與水平面的夾角為60度，并且所述載物面具有由水平線和豎直線所組成的刻度線。待分析的樣品可依據(jù)載物臺210載物面的刻度線放置在載物面的合適區(qū)域，并通過螺帽鎖住樣品，使其固定在載物面上，所述放在載物臺210載物面上的樣品在進(jìn)行俄歇電子能譜儀分析時，可以使俄歇電子直接垂直進(jìn)入能量分析器，可簡化操作程序，節(jié)約工作時間，提高工作效率，同時能夠保證樣品分析角度的一致性，提高重復(fù)性。[0027] 在本實用新型的具體實施例中，所述載物臺的載物面與水平面的夾角為60度。然而應(yīng)該認(rèn)識到，根據(jù)實際需要，所述夾角還可以是其它數(shù)值，例如45度 60度之間任一數(shù)值均可。 在本實用新型的具體實施例中，所述載物臺的載物面的形狀為矩形或圓形。然而應(yīng)該認(rèn)識到，根據(jù)實際需要，所述載物面還可以是其它形狀，例如，所述載物面還可以是梯形或正方形。 在本實用新型的具體實施例中，所述底座與所述載物臺是一體成型結(jié)構(gòu)，以方便加工制作，當(dāng)然，所述底座與所述載物臺也可以是活動連接。 在上述的具體實施例中，所述樣品臺是描述成用于在俄歇電子能譜儀分析過程中放置樣品的，然而應(yīng)該認(rèn)識到，所述樣品臺還可以用于其它樣品需傾斜放置的分析儀器中，例如可作為X射線光電子能譜儀(XPS)的樣品臺。 綜上所述，本實用新型提供了一種樣品臺，該樣品臺包括底座以及設(shè)置于所述底
座上的載物臺，所述載物臺的載物面與水平面具有一夾角。使用該樣品臺進(jìn)行俄歇電子能
譜儀分析的過程中，俄歇電子可直接垂直進(jìn)入能量分析器，從而簡化了操作程序，節(jié)約了工
作時間，提高了工作效率，同時能夠保證樣品分析角度的一致性，提高了重復(fù)性。 顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對本實用新型進(jìn)行各種改動和變型而不脫離本實用
新型的精神和范圍。這樣，倘若本實用新型的這些修改和變型屬于本實用新型權(quán)利要求及
其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實用新型也意圖包含這些改動和變型在內(nèi)。
權(quán)利要求一種樣品臺，其特征在于，包括底座以及設(shè)置于所述底座上的載物臺，所述載物臺的載物面與水平面具有一夾角。
2. 如權(quán)利要求l所述的樣品臺，其特征在于，所述載物臺的載物面與水平面的夾角范圍為45 60度。
3. 如權(quán)利要求1所述的樣品臺，其特征在于，所述載物臺的載物面具有刻度線，所述刻度線由水平線和豎直線組成。
4. 如權(quán)利要求1所述的樣品臺，其特征在于，所述載物臺的載物面的形狀為矩形或圓形。
5. 如權(quán)利要求1所述的樣品臺，其特征在于，樣品通過銅膠固定在所述載物臺的載物面上。
6. 如權(quán)利要求1所述的樣品臺，其特征在于，樣品通過螺帽固定在所述載物臺的載物面上。
7. 如權(quán)利要求1所述的樣品臺，其特征在于，所述樣品臺的材質(zhì)為非磁性材料。
8. 如權(quán)利要求7所述的樣品臺，其特征在于，所述樣品臺的材質(zhì)為非磁性的金屬材料。
9. 如權(quán)利要求1所述的樣品臺，其特征在于，所述底座與所述載物臺是一體成型結(jié)構(gòu)。
專利摘要本實用新型揭露了一種樣品臺，所述樣品臺包括底座以及設(shè)置于所述底座上的載物臺，所述載物臺的載物面與水平面具有一個夾角。使用本實用新型所提供的樣品臺進(jìn)行俄歇電子能譜儀分析時可使俄歇電子直接垂直進(jìn)入能量分析器，簡化了操作程序，節(jié)約了工作時間，提高了工作效率，同時能夠保證樣品分析角度的一致性，提高了重復(fù)性。
文檔編號G01N23/227GK201532929SQ20092021217
公開日2010年7月21日 申請日期2009年11月10日 優(yōu)先權(quán)日2009年11月10日
發(fā)明者李明, 楊衛(wèi)明, 虞勤琴, 齊瑞娟 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司