專利名稱：量具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種量測晶圓與點膠機噴嘴之間間距的量具。
背景技術(shù)：
一般，在半導(dǎo)體制程的光刻工藝中，光刻膠用于在晶圓表面上形成圖案。 所述光刻膠通常為光敏性化學(xué)物質(zhì)，并會在特定范圍的光波長下感光。根據(jù) 所使用光刻膠的型態(tài)，曝光后的結(jié)構(gòu)與性質(zhì)的改變通常形成可溶或是不可溶 的狀態(tài)。在個別狀況中，經(jīng)曝光的光刻膠在曝光后被顯影，光刻膠的顯影通 常將可溶部分的光刻膠移除，而殘留的不可溶部分的光刻膠則定義出圖案。
為了在光刻膠中定義出更佳的特征圖案，光刻膠必須均勻地勒著于晶圓 表面，具有均勻的分布及足夠的厚度。 一般光刻膠是通過設(shè)于晶圓上方的噴 嘴將光刻膠噴涂于晶圓的中央，再通過旋轉(zhuǎn)將光刻膠均勻分布至整個晶圓， 經(jīng)過曝光及后續(xù)的顯影而定義出圖案。其中，為確保光刻膠的噴涂效果及后 續(xù)曝光與顯影后的圖案質(zhì)量，噴嘴與晶圓之間的間距是需要考量的 一個重要 因素，所述間距須滿足一定范圍要求。因此，在操作過程中，在噴涂光刻膠 之前，須對噴嘴與晶圓之間的間距進(jìn)行量測，若發(fā)現(xiàn)所量測到間距是在所允 許的范圍之外，則需對噴嘴或晶圓進(jìn)行位置調(diào)整，以使得二者之間的間距滿 足生產(chǎn)規(guī)范的要求。因此，在光刻工藝中包括有量測噴嘴與晶圓之間的間距 的操作。
一般，量測操作是通過量尺或者基本塊來進(jìn)行量測。如圖la所示，使用 量尺100進(jìn)行量測，是將量尺100對應(yīng)地比照于晶圓10與噴嘴12之間，并 通過人眼目視出該量尺的標(biāo)度，顯而易見地，該量測方法因包括有人的主觀 參與(例如目視量尺并判定其標(biāo)度)而易產(chǎn)生差錯(例如因目視角度而誤讀量尺 的標(biāo)度)。另外，如圖lb所示，使用基本塊進(jìn)行量測，是提供有多個不同尺度的基本塊120,且不同基本塊120之間具有一定的尺度差。舉例來講，所述基 本塊120例如為0.5畫、0.3讓、O.l匪、0,05醒等。于測試時，通過某一 個基本塊120或多個相互疊合的基本塊120置于晶圓10與噴嘴12之間來量 測其間距G。然而，該量測方法有其不足 一，所述的多個基本塊具有一定 的規(guī)格，其量測誤差取決于最小的基本塊的規(guī)格(例如為0.05mm),而無法對 小于該最小的基本塊的規(guī)格的尺度進(jìn)行量測，仍無法達(dá)到準(zhǔn)確量測的目的； 二，在將基本塊推入噴嘴與晶圓之間的過程中，無法避免在較小間距狀況下 較大規(guī)格的基本塊推入時對噴嘴的損傷。

實用新型內(nèi)容
本實用新型解決的問題是提供一種用于量測晶圓與點膠機噴嘴之間間距
的量具，避免量測時產(chǎn)生誤差。
為解決上述問題，本實用新型提供一種量具，用于量測晶圓與點膠機噴
嘴之間的間距，所述量具包括底板，量測時位于晶圓與點膠機噴嘴之間；
設(shè)于所述底板的傾斜體，在斜面或沿面標(biāo)有標(biāo)識間距尺度的刻度。 可選地，所述傾斜體包括鍥形結(jié)構(gòu)的截面。 可選地，所述底板與傾斜體可以是一體成型或結(jié)合成型。 可選地，所述底板包括與所述晶圓一致的圓盤，所述傾斜體包括沿所述
底板中心而對稱設(shè)置的二傾斜子體。
可選地，所迷傾斜子體包括四分之一圓的投影范圍。
可選地，所述傾斜子體包括在所述投影范圍內(nèi)自底板表面漸次向上所形
成的斜面。所述傾斜子體包括鍥形結(jié)構(gòu)的截面。
可選地，所述底板與傾斜子體可以是一體成型或結(jié)合成型。 相較于現(xiàn)有技術(shù)，本實用新型提供了量測間距的量具，所述量具包括有
底板與設(shè)于底板上的傾斜體。所述量具可以對不同范圍內(nèi)的間距進(jìn)行量測，
避免量測時產(chǎn)生誤差，提高量測的準(zhǔn)確度。另外，所述量具只需位于晶圓與點膠機噴嘴之間并漸次推動或旋轉(zhuǎn)以使 其抵觸在二者之間即可完成量測，相對現(xiàn)有技術(shù)通過量尺或基本塊量測，操 作簡單，節(jié)省量測的時間。
再有，所述量具的傾斜體的結(jié)構(gòu)特征，可避免出現(xiàn)現(xiàn)有技術(shù)中通過基本 塊量測易在推動過程中對點膠機噴嘴造成損傷情形的產(chǎn)生，可延長點膠機噴 嘴的使用壽命。

圖la及圖lb是顯示利用現(xiàn)有的量尺及基本塊進(jìn)行間距量測的側(cè)視圖2是本實用新型量具的一實施例的斜側(cè)視圖3是本實用新型量具的一實施例應(yīng)用于間距量測的的側(cè)視圖4是本實用新型中量具另一實施例的斜側(cè)視圖5為本實用新型中量具的另一實施例應(yīng)用于間距量測的的側(cè)視圖。
具體實施方式
本實用新型提供一種用于量測晶圓與點膠機噴嘴之間間距的量具，包括 底板以及設(shè)于底板的傾斜體。下面將結(jié)合附圖對本實用新型的實施例進(jìn)行說 明。
圖2為本實用新型量具的一實施例的斜側(cè)視圖，如圖2所示，量具2包 括底板20、以及設(shè)于底板20上的傾斜體22。底板20可例如為矩形面板，并 具有一定的高度，所述高度可根據(jù)一般情況下晶圓與點膠機噴嘴之間的常規(guī) 間距來設(shè)定。在本實施例中，底板20的形狀并不依此為限，其亦可為例如三 角形、圓形、多邊形或其他類似形狀。傾斜體22是設(shè)于底板20上，并在斜 面220或沿面222標(biāo)有標(biāo)識間距尺度的刻度，于本實施例中，傾斜體22具有 鍥形結(jié)構(gòu)的截面。需說明的是，在實際應(yīng)用中，量具2中的底板20與傾斜體 22可包括一體成型制造，也可以是分別制造后再通過例如粘結(jié)，卡合、嵌套 等方式結(jié)合而成，這樣當(dāng)其中的底板20或傾斜體22在使用過程中磨損或毀壞后只需更新被損的部件即可，而無需更換整個量具2，相對節(jié)省成本。另夕卜， 底板20與傾斜體22的材質(zhì)既可以是金屬的，也可以是例如塑膠、有機玻璃 等材質(zhì)。再有，為增加量具2的穩(wěn)定度，底板20與傾斜體22可以是實心的， 但并不以此為限，也可以是空心的，以減輕重量。
一般情況下，假設(shè)晶圓與點膠機噴嘴之間的間距G的規(guī)范尺度為 1.1士0.05mm，則可以將量具2的底板20的高度設(shè)計為0.9mm，傾斜體22 所設(shè)計的尺度范圍為0~0.4mm，且其最小的量測尺度為0.02mm甚至是 O.Olmm。這樣量具2所可以精確量測的間距的尺度范圍為0.9 ~ 1.3mm。但并 不以此為限，實際上，底板40與傾斜體42各自的尺度范圍以及二者疊合后 總的尺度范圍均可根據(jù)晶圓與點膠機噴嘴的規(guī)范尺度而作相應(yīng)的變化。
如圖3所示，當(dāng)通過量具2進(jìn)行間距量測時，首先，將量具2中具有傾 斜體22鍥形尖部的那一端對準(zhǔn)晶圓IO與點膠機噴嘴12之間的間隙；接著， 漸次將量具2推入二者間的間隙，直至量具2的傾斜體22與點膠機噴嘴12 達(dá)成恰好抵觸，此時達(dá)成抵觸的傾斜體22中斜面220的抵觸點處所標(biāo)的刻度 即為所需量測的晶圓10與點膠機噴嘴12之間的間距G。通過本實用新型所 提供的量具2，量測操作簡單便利，相對現(xiàn)有技術(shù)提高了量測的準(zhǔn)確度。
圖4為本實用新型量具的另一實施例的斜側(cè)視圖，如圖4所示，于本實 施例中，量具4的底板40設(shè)計為與晶圓一致的圓盤，并具有一定的高度。傾 斜體42包括沿所述底板中心0而對稱設(shè)置的二傾斜子體42，。特別地，每一 個傾斜子體42，分別占有底板40的四分之一圓的投影范圍，并包括在所述投 影范圍內(nèi)自底板表面漸次向上所形成的斜面420。具體來講，斜面420是通過
以底板半徑R繞著底板圓心(9自投影范圍的起點(假設(shè)為0G度)開始漸次向上
并在投影范圍的終點(假設(shè)為9()G度)終止所形成的結(jié)構(gòu)。另外，傾斜子體42， 包括鍥形結(jié)構(gòu)的截面，所述截面根據(jù)傾斜子體42，的結(jié)構(gòu)特征而具有漸次變大 并在投影范圍的終點為最大的特征。需說明的是，與圖2所示的量具2相類似，在實際應(yīng)用中，本實施例中的底板40與傾斜子體42，可包括一體成型制 造，也可以是分別制造后結(jié)合而成的；另外，所選取的材質(zhì)既可以是金屬的， 也可以是例如塑膠、有機玻璃等。再有，其結(jié)構(gòu)既可以是實心的，也可以是 空心的。
在本實施例中，假設(shè)晶圓與點膠機噴嘴之間的間距G的規(guī)范尺度為 1.1士0.05mm，則可以將量具4的底板40的高度設(shè)計為0.9mm，每一個傾斜 子體42，所設(shè)計的尺度范圍為0-0.4mm，且其最小的量測尺度為0.02mm甚 至是O.Olmm。這樣量具4所可以精確量測的間距的尺度范圍為0.9 ~ 1.3mm。 但并不以此為限，實際上，底板40與傾斜子體42，各自的尺度范圍以及二者 疊合后總的尺度范圍均可根據(jù)晶圓與點膠機噴嘴的規(guī)范尺度而作相應(yīng)的變 化。
如圖5所示，當(dāng)通過量具4進(jìn)行間距量測時，首先，將量具4直接置于 晶圓10與點膠機噴嘴12之間，因量具4與晶圓10尺寸相一致，因此量具4 的底板中心0是與點膠機噴嘴12(—般點膠機噴嘴是正對著晶圓的中心)相對 齊；接著，旋轉(zhuǎn)量具4，使得傾斜子體42，所能呈現(xiàn)的斜面420的高度越來越 高，直至量具40的傾斜子體42，與點膠機噴嘴12達(dá)成恰好抵觸，此時達(dá)成抵 觸的傾斜子體42'中斜面420的抵觸點處所標(biāo)的刻度即為所需量測的晶圓與點 膠機噴嘴之間的間距G。通過本實用新型所提供的量具4，僅需通過旋轉(zhuǎn)即可 完成量測。操作簡單便利，相對現(xiàn)有技術(shù)提高了量測的準(zhǔn)確度。
綜上所述，本實用新型提供了量測晶圓與點膠機噴嘴之間的間距的量具， 所述量具包括有底板與設(shè)于底板上的傾斜體。所述量具可以對不同范圍內(nèi)的 間距進(jìn)行量測，避免量測時產(chǎn)生誤差，提高量測的準(zhǔn)確度。
另外，本實用新型所提供的量具只需將其逐級推入晶圓與點膠機噴嘴之 間的間隙或者之間置于所述間隙后旋轉(zhuǎn)即可，具有操作簡單的優(yōu)點，相對現(xiàn) 有技術(shù)通過量尺或基本塊量測，可節(jié)省量測的時間。再有，根據(jù)本實用新型所提供的量具中傾斜體的結(jié)構(gòu)特征，可避免出現(xiàn) 現(xiàn)有技術(shù)中通過基本塊量測易在推動過程中對點膠機噴嘴造成損傷情形的產(chǎn) 生，可延長點膠機噴嘴的使用壽命。
本實用新型雖然以較佳實施例公開如上，但其并不是用來限定本實用新 型，任何本領(lǐng)域技術(shù)人員在不脫離本實用新型的精神和范圍內(nèi)，都可以做出 可能的變動和修改，因此本實用新型的保護(hù)范圍應(yīng)當(dāng)以本實用新型權(quán)利要求 所界定的范圍為準(zhǔn)。
權(quán)利要求1. 一種量具，用于量測晶圓與點膠機噴嘴之間的間距，所述量具包括底板，量測時位于晶圓與點膠機噴嘴之間；設(shè)于所述底板的傾斜體，在斜面或沿面標(biāo)有標(biāo)識間距尺度的刻度。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的量具，其特征在于，所述傾斜體包括鍥形結(jié)構(gòu)的截 面。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的量具，其特征在于，所述底板與傾斜體一體成型。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的量具，其特征在于，所述底板與傾斜體結(jié)合成型。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的量具，其特征在于，所述底板包括與所述晶圓一致 的圓盤，所述傾斜體包括沿所述底板中心而對稱設(shè)置的二傾斜子體。
6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的量具，其特征在于，所述傾斜子體包括四分之一圓 的投影范圍。
7. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的量具，其特征在于，所述傾斜子體包括在所述投影 范圍內(nèi)自底板表面漸次向上所形成的斜面。
8. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的量具，其特征在于，所述傾斜子體包括鍥形結(jié)構(gòu)的 截面，且所述截面在投影范圍內(nèi)包括漸次變大的特征。
9. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的量具，其特征在于，所述底板與傾斜子體一體成型。
10. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的量具，其特征在于，所述底板與傾斜子體結(jié)合成型。
專利摘要一種用于量測晶圓與點膠機噴嘴之間間距的量具，包括底板及設(shè)于底板的傾斜體，量測時通過將所述量具置于晶圓與點膠機噴嘴之間，可以對不同范圍內(nèi)的間距進(jìn)行量測，提高量測的準(zhǔn)確度，節(jié)省量測的時間。
文檔編號G01B5/14GK201229159SQ20082010841
公開日2009年4月29日 申請日期2008年5月30日 優(yōu)先權(quán)日2008年5月30日
發(fā)明者任林偉, 宋慶海, 非 田 申請人:中芯國際集成電路制造(北京)有限公司